艾邦陶瓷展 新产品 | 奥趋光电发布耐超高温、高性能MEMS用AlN单晶衬底基AlScN压电新材料 2022年7月12日 gan, lanjie 1 几十年来,压电薄膜氮化铝(AlN)因其出色的介电性能以及…