近日，宁波工投集团顺利完成对无锡互创芯微半导体科技有限公司（以下简称“互创芯微”）的战略投资。这是工投集团在半导体设备零部件领域的又一次关键布局，同时也将推动互创芯微的ESC静电卡盘等核心产线落地宁波，实现国有资本与战略性新兴产业的深度联动。
互创芯微成立于2016年，长期深耕半导体设备核心零部件的维修、仿制与自主研发。其产品线覆盖ESC静电卡盘、加热器、匀气盘（涂层）、SiC及陶瓷部件、真空系统等，是国内少数具备7nm及以上先进制程节点零部件供应能力的企业。公司核心团队来自SK海力士、三星电子、三菱化学等国际半导体头部企业，在零部件工艺开发和设备匹配方面经验丰富。目前，其产品已通过国内主流晶圆厂与设备商的验证，并进入规模化采购阶段。
ESC静电卡盘是刻蚀、薄膜沉积、离子注入等关键工序中不可或缺的核心零部件，直接影响晶圆加工的良率与稳定性。然而，该领域的高端设计和制造能力长期被少数海外企业垄断，叠加出口管制与技术封锁，国内供应链在产能和精密制备工艺上存在明显短板，是典型的“卡脖子”环节。此次投资将重点支持互创芯微在宁波落地12英寸ESC基座、12英寸特种匀气盘等产线，旨在提升国产替代能力，缓解下游客户对海外供应的依赖。
互创芯微的独特价值在于，它从零部件维修服务起步，逐步逆向剖析工艺、积累数据，进而实现仿制与正向设计。这一路径使其在理解设备工况、客户需求方面具备扎实基础，也为后续更先进制程零部件的自主研发奠定了基础。
工投集团将依托其在产业资源导入、区域协同和资本运作方面的平台能力，协助互创芯微加速技术迭代、扩产建设及市场开拓。双方目标明确：在3至5年内，将互创芯微打造为具备全球竞争力的半导体核心零部件供应商，助力国内半导体产业链的强链补链与高质量发展。
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