静电卡盘公司「安弧科技」获常春藤资本领投千万天使轮，加速半导体核心零部件国产化

Part 01

国内外头部企业班底

兼具国际视角与创业基因

创始人兼CEO李瀛龙拥有上海交通大学机械工程与密歇根大学（美国）航空航天工程双学士学位，联合创始人兼COO韩绍庭拥有复旦大学数学学士学位，二人作为硕士研究生同学共同毕业于加州大学伯克利分校（美国），毕业后分别在海外半导体设备研发与资本市场投融资头部企业任职十余年。归国后，两人一拍即合决定创业组建团队。

目前，团队成员毕业于上海交通大学、复旦大学、加州大学伯克利分校（美国）、特鲁瓦科学技术大学（法国）、东京工业大学（日本）等国内外顶尖高校，曾就职于ASML、华为等知名企业，在半导体设备零部件领域拥有丰富的研发实战经验。

这样一支专业背景深厚、行业经验丰富的团队，为安弧科技的技术创新与业务发展奠定了坚实基础。

 Part 02

技术稀缺性破局“卡脖子”领域

安弧科技专注于半导体制造关键部件-静电卡盘（ESC, E-CHUCK）的研发与生产。目前我国静电卡盘的研发制造仍处于起步阶段，进口依赖度达95%以上，被日韩美制造商高度垄断，属于“卡脖子”关键零部件，尤其在半导体制裁加剧的背景下，国产替代需求进一步增强。

静电卡盘相较于传统的机械卡盘与真空卡盘，能有效避免传统机械卡盘在使用过程中由于压力、碰撞等机械原因对晶片造成不可修复的损伤，减少颗粒污染，增大晶片的有效加工面积，同时克服了真空卡盘不可应用于低压环境的缺陷。静电卡盘已经取代了传统的机械卡盘与真空卡盘成为半导体装备中非常重要的通用零部件。

在静电卡盘材料选择上，安弧科技聚焦玻璃基，其工艺选择多、材料成本低、难度可灵活适配，热膨胀系数可调且有更加优异的耐压表现，在先进制程等领域具有突出优势 。

此外，公司还提供高稳定性、低电磁干扰的配套器件，涵盖传感、偏压、热控等数字控制和电源模块，与静电卡盘产品形成协同，满足客户的多样化需求。

 Part 03

技术为本，助推国产替代加速

安弧科技致力于打破国外厂商在半导体静电卡盘领域的长期垄断，推动国内半导体设备核心零部件的国产化进程，提升我国半导体产业的自主可控能力。

常春藤资本表示：此次投资安弧科技，正是看中了其在国产替代趋势下的独特优势。安弧科技产品在国内具有稀缺性，团队经过多方验证，具备从 0 到 1 打造完整产品的能力，也展现出强大的技术实力与创新精神。高端静电卡盘的国产化替代虽任重道远，但前途光明。

长投集团表示：集成电路是嘉兴市重点培育壮大的核心产业，公司作为国内稀缺的玻璃静电吸盘供应商，核心团队拥有从设计研发、生产工艺到批量交付的全流程项目管理经验，国产替代市场空间广阔。本次投资安弧科技，也将进一步增强区域产业链韧性，带动嘉兴市半导体产业向高技术、高附加值领域延伸。

常见投资表示：如火如荼的半导体设备国产化替代浪潮，离不开上游核心零部件供应商的不断突破和创新。安弧科技团队具备国际一线大厂的稀缺性know-how，技术路线独特，叠加国内完善的产业链，非常有希望成为具有国际竞争力的半导体设备核心零部件供应商。

文章来源：常春藤投资公众号；https://mp.weixin.qq.com/s/_j2nhGV1eyl7fi7GBWkTlQhttps://mp.weixin.qq.com/s/_j2nhGV1eyl7fi7GBWkTlQ。