静电卡盘电源介绍及16家国内外相关企业盘点

静电卡盘是一种适用于真空环境或等离子体环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持，该产品广泛应用于 PVD、PECVD、ETCH、EUVL、离子注入等高端半导体制造装备。

静电吸盘解决方案采用高压电源系统，其电压范围可从数百伏至数千伏，电流范围在微安至毫安级别。根据所用设备配置及工艺要求的不同，电源需求可能存在显著差异。

存在显著差异。

图源：泰思曼

静电吸盘电源需求的关键要素包括：电压、电流、极性、控制与监测功能、数字接口、外形尺寸以及基于特定工艺的附加要求。

高压电源的输出参数（如电压幅值、频率和波形）都直接影响静电卡盘的吸附力和均匀性。因此，高压电源的设计需满足高稳定性快速响应、安全性、电磁兼容性4个方面的要求。

据不完全统计，国内外有16家静电卡盘电源企业，以下是相关企业盘点（*排名不分先后顺序），欢迎留言补充与指正。

国内企业

1、 四川英杰电气股份有限公司

官网：http://www.injet.cn/profile.html

四川英杰电气股份有限公司成立于1996年，是专业的工业电源设计及制造企业，于2020年2月13日在深交所创业板上市，股票代码：300820。专注于以功率控制电源、特种电源为代表的工业电源设备的研发制造，产品广泛应用于石油、化工、冶金、机械、建材等传统行业以及光伏、核电、半导体、环保等新兴行业。据悉，在2025年3月，英杰电气表示静电卡盘电源等产品已实现批量供应，另有部分产品尚处于样机测试阶段，暂未进入批量供应环节。

ES 系列静电卡盘电源2kV/100mA（图 摄于英杰电气展台）

2、 北京华丞电子有限公司

(原北京七星华创流量计有限公司)

官网：https://www.aurasky.com/about.html

北京华丞电子有限公司（简称：华丞电子）原名北京七星华创流量计有限公司，在传承四十余年流量测控经验技术的基础上，整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力，致力于为半导体、清洁能源、真空工业、生命科学及科学研究五大领域用户，提供精密零部件产品及整体解决方案，形成了流量测控、真空测控、气路系统、射频电源、ESC直流电源、匹配器、晶圆传输系统等系列产品，已布局四大研发生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚主要国家和地区。

产品：单极系列 ESC直流电源（图源：华丞电子官网）

ESC DC Power即ESC直流电源，是一种专用于静电卡盘（ESC）的直流高压静电电源，本产品为单极输出电源，可提供正/负直流电压，通过专用电缆和滤波电路，连接到静电卡盘直流电极上，为静电卡盘提供产生吸力的直流高压。

产品：双极系列 ESC直流电源（图源：华丞电子官网）

ESC DC Power即ESC直流电源，是一种专用于静电卡盘（ESC）的直流高压静电电源，本产品为双极输出电源，可同时提供正和负直流电压，通过专用电缆和滤波电路，连接到静电卡盘直流电极上，为静电卡盘提供产生吸力的直流高压。

3、 吉兆源科技有限公司

官网：http://www.gmpower.cn/About

吉兆源是国内高端射频电源研发生产制造企业，其研发团队2005年组建，拥有北京、天津、成都等多处研发生产中心，产品广泛应用于半导体、光伏设备、LED设备、生物医疗、高端镀膜等领域，现已自主研发出上百款产品。目前公司拥有多项自主发明专利和多项荣誉称号。产品已在多家半导体设备和光伏厂商实现量产，是多家半导体和光伏龙头设备制造企业核心供应商。

 产品：ESC静电卡盘电源（图源：吉兆源官网）

产品特点：

（1）电源寄存能量低，内置电流限制和保护电路设计使设备免受浪涌和电弧的损害。

（2）通过输出极性转换，降低了夹盘上电荷的风险。

（3）短路和开路设计增加了设备的可靠性。

（4）突出的夹紧性能使本产品更适用于半导体晶片生产过程中。

4、大连泰思曼科技有限公司

官网：https://www.teslamanhv.com/list-20-1.html

泰思曼致力于为医疗、半导体、能源、X射线和科研等领域用户提供高效、可靠的数字化智能高压电源产品。自2014年开始，泰思曼启动了智能化高压电源战略，采用全数字控制，进而过渡到以自适应控制、模糊控制等为基础的智能控制，从而完全适应高压电源输出调节范围大，应用范围广，负载类型千变万化的特殊需求。

产品：TESC7080（图源：泰思曼官网）

泰思曼 TESC7080 系列静电卡盘专用高压电源，提供±5kV 精准输出（精度±1%，纹波<100mVp-p），漏电流监控保护值 0-40mA 可设置，支持 100nF 内在位电容检测。具备 20ms 快速过零切换能力，集成多重保护功能，支持模拟量/RS485 控制及液晶显示。已应用于半导体离子注入和刻蚀设备中。

产品：TMPS6065（图源：泰思曼官网）

泰思曼 TMPS6065 系列是一款 10W 高压直流电源，模块式结构，最高输出电压可达 10kV。具有低噪声、高效率、紧凑的封装、低纹波和高稳定性等特点。通过 15 针 D 型连接器接口提供远程用户控制调节。紧凑且重量轻，输出极性可选。

典型应用：静电卡盘；光电倍增管；静电印刷；电子束和离子束；电子倍增管检测器；质谱分析；微通道板检测器；静电透镜；原子能仪器；AI 视觉识别。

5、 海拓创新技术（杭州）有限公司

官网：http://www.seatools-tech.com/about.asp

海拓创新是一家专注半导体及显示行业关键零部件进行国产化的技术型公司，在国产化静电卡盘及基于静电卡盘为技术核心设备领域的设计、生产具有领先地位，主营产品包括静电卡盘/加热器、薄片临时键合装备、静电卡盘控制电源、静电卡盘集成设备。

静电卡盘控制电源

SeaTols®高压控制电源（SEM Series）及上位操作软件专为静电卡盘而设计，内置电压、电流、在线检测及反馈装置。SeaTols®SEM Series可根据客户特定需求定制，包括输出电压范围、适用功能、通讯方式。

6、 威思曼高压电源

官网：https://www.wismanhv.com/

陕西威思曼高压电源股份有限公司成立于2022年，是机箱高压电源、高压电源模块、微型高压电源模块、X光射线管高压电源、定制高压电源、高压附件等高压电源产品的研发、制造、销售商，生产销售定制和标准高压电源产品，功率范围从100mW到1000kW，电压范围从60V到600kV，广泛用于半导体，分析仪器，医疗，工业，安全，环境，科研院所等领域。威思曼高压电源销售的产品线包括：微型高压电源模块、高压电源模块、X光射线管高压电源、精密机箱高压电源、便携式机箱高压电源、塔式高压电源、特殊定制高压电源、高压附件等多个系列，多个规格的产品，电压范围从60V到600KV，功率从小于100mW到1000KW。

图源：威思曼官网

威思曼针对性地开发了一系列卡盘电源产品。其中，“EC 卡盘电源” 凭借出色的性能，能够满足各种要求苛刻的应用场景。

7、 沈阳溢沃科技有限公司

沈阳溢沃科技有限公司是一家专注于高端精密电压源和电流源的研发、生产、集成和应用销售的高新技术企业、科技型中小企业，业务涵盖：半导体设备相关--静电卡盘电源、互锁模块、PCBA集成等。静电卡盘电源应用于刻蚀、CMP、镀膜、Thermal ALD 、PEALD等领域，TY-QSHV-C 系列、TY-QSHV 系列、TY-ESC 系列 、TY-BIAS400四大系列产品满足半导体加工环节静电卡盘驱动的各种应用场景。

产品：TY-QSHV 系列

TY-QSHV系列产品可以输出任意波形的电压来解决特殊工艺里晶圆的静电吸附慢，剥离速度慢的问题。

产品：TY-ESC 系列

TY-ESC系列产品是专门为静电卡盘开发的、具备浮动输出的双极性两通道高压电源系统。

8、 成都迪越电子技术有限公司

成都迪越电子技术有限公司2023年4月，为武汉承远电子科技有限公司全资子公司，致力于射频电源、中频电源、直流电源的研发、生产、销售和维护。生产的射频电源和大功率射频功放主要应用于半导体工艺、等离子体工艺、太阳能薄膜电池工艺与电感耦合等离子体等领域。

国外企业

新加坡

XP POWER

官网：https://www.xppower.com/applications/semiconductor-manufacturing-power-solutions

XP POWER是一家领先的电源解决方案供应商，其总部位于新加坡。该公司设计和制造各种电源产品，包括包括高压大功率转换器、静电卡盘 (ESC)、射频发生器、射频匹配网络和直流可编程电源转换器、交流-直流电源、直流-直流转换器、高压电源、射频电源和EMI 滤波器等， XP Power 的产品广泛应用于半导体制造设备、工业科技、医疗保健等行业，并在北美、欧洲和亚洲设有销售办事处。

图源：XP POWER官网

美国

1、斯派曼Spellman

官网：https://www.spellmanhv.com/en/high-voltage-power-supplies/Application-Specific

斯派曼公司成立于1947年，是精密直流高压电源、X射线发生器和Monoblock® X射线源独立的供应商，应用于医疗、工业和科学等领域，在北美、欧洲和亚洲目前有五个设计中心、六个生产中心、八个维修地点。

ESC 系列 静电卡盘高压电源（图源：斯派曼官网）

斯派曼ESC 系列电子吸盘电源为静电吸盘芯片加工应用，提供所需的干净、精确的电压。

2、Advanced Energy

官网：https://www.advancedenergy.com/en-us/products/high-voltage-power-supplies/e-chuck/

Advanced Energy是一家成立于1981年的美国公司，专注于精密电源转换和控制解决方案，其产品广泛应用于半导体设备、数据中心、工业制造、电信、医疗和可再生能源等领域。

双极性（Bipolar）

双极性 C 系列（Dual Polarity C Series）

Advanced Energy 的 Trek 静电卡盘电源可以提升产能，增加设备正常运行时间，几乎完全消除晶圆粘连和晶圆弹跳等问题，并减少背面气体错误。

韩国

PSTECH

官网：https://pstek.co.kr/en/products-2/industrial-power-supplies/electrostatic-chuck-power-supplies/

PSTEK于1998年进入工业电源设计与制造领域。二十年来，PSTEK提供从感应加热系统和工业电源咨询到涵盖设计、制造、安装和后期管理的全方位解决方案的服务，为工业现场提供客户所需的电源解决方案。 

产品：半导体工艺用ESC电源（图源：PSTECH）

PSTEK用于半导体加工的静电吸盘电源系统可以通过实现有效的脱吸来提高加工的生产率，使用自动切换、电容监控等特殊功能，内置射频滤波器和数字电弧调节等各种保护功能不仅可以有效地保护设备和晶圆，还可以最大限度地降低缺陷率。

日本

1、Creative Technology Corporation

官网：https://creative-technology.co.jp/products-e/chuck/

创意科技株式会社/创意科技股份有限公司（以下简称：创意科技）成立于1985年7月，主要业务包括静电吸盘及周边技术、其他吸盘搬运设静电吸盘用电源及传感器的开发、制造和销售。

静电吸盘直流电源：直流高压、双极输出电源

2、松贞精密株式会社Matsusada Precision

官网：https://www.matsusada.com/product/electrostatic-chuck-power-supplies/

松贞精密株式会社成立于1978年，主要业务包括：直流电源、高压电源、双极电源、高压放大器、电子负载、双向直流电源、交流电源的制造和销售；X射线发生器、X射线无损检测设备、数字X射线显微镜及其系统；光半导体器件及光电应用设备。

   台式静电吸盘电源

机架式 E-Chuck 电源

3、P.R.A. CO Ltd   

官网：https://www.pra.jp/en/repair-upgrade/esc

PRA成立于 2004 年 1 月，主要业务包括半导体周边设备设计制造，直流、射频电源维修，匹配网络、电源等规格升级。

产品：静电卡盘电源

德国

ProTec Carrier Systems GmbH

官网：https://protec-carrier.com/

ProTec成立于2014年，ProTec ®静电吸盘电源系列有H³静电吸盘电源、单极静电吸盘电源、适合真空的电池供电静电吸盘电源。

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