近日,电科材料下属山西烁科晶体有限公司成功研制出8英寸碳化硅晶体,实现了8英寸N型碳化硅抛光片小批量生产。

​电科材料成功研制出8英寸碳化硅晶体

碳化硅具有的高硬度、高脆性、低断裂韧性等特点,对温度及压力控制有着极其苛刻的要求,使得在大尺寸碳化硅单晶的制备及切割时成为非常棘手的问题。

烁科公司专业深耕碳化硅材料领域。2021年8月,经过刻苦攻关,研制出8英寸碳化硅晶体,成功解决大尺寸单晶制备的重要难题。2022年1月,再次取得重大突破,实现8英寸N型碳化硅抛光片小批量生产,向8英寸国产N型碳化硅抛光片的批量化生产迈出了关键一步,进一步缩小国内外技术差距,为我国碳化硅事业的自主保障能力、自主创新发展夯基固本。

来源:中电材料
 

原文始发于微信公众号(艾邦半导体网):​电科材料成功研制出8英寸碳化硅晶体

作者 li, meiyong

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