6月8日，韩国陶瓷技术院（Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology, 简称 KICET）宣布，该院最终被选定为产业通商资源部主导的“半导体设备腔室用材料及零部件制造与验证测试平台构建”公开招募项目的承担机构。该项目旨在龟尾半导体专用园区内建立大规模基础设施，用于半导体设备组件的制造及性能验证，计划在2026年至2030年的五年间总计投入400亿韩元。
韩国陶瓷技术院将斥资400亿韩元构建一站式生态系统：
- 入选韩国产业通商资源部项目，计划到2030年在龟尾投资400亿韩元，建设综合基础设施；
- 为目前高度依赖进口的三大关键组件静电吸盘（ESC）、聚焦环（Focus Ring）和腔体内衬（Chamber Liner）的国产化提供一站式支持；
- 培育连接首尔首都圈的南部枢纽
半导体腔体（Chamber）是晶圆进行实际加工的核心空间。由于腔体内部处于高温、超低温、等离子体及化学反应等极端环境，其内部所用材料与零部件的性能直接决定了半导体工艺的良率及设备利用率。特别是随着半导体工艺向高集成度、微型化方向发展，能够耐受极端环境的高性能陶瓷材料技术已成为决定半导体产业全球竞争力的关键因素。为此，KICET将集中力量推动三大腔体核心零部件的国产化，这些组件属于高附加值产品，此前长期高度依赖进口。这三大零部件分别是静电卡盘、耐等离子体聚焦环以及高功能性腔室内衬。KICET计划在庆北龟尾建设总建筑面积达3,000平方米的技术支持中心和洁净室，建立涵盖从原材料混合、原型制造到测试、评估及获取验证数据全流程的“一站式支持体系”。
在该测试平台上生成的经认证验证数据，预计将成为韩国本土材料、零部件及设备企业与终端用户企业及全球设备制造商合作时的客观依据。此举有望缩短产品商业化周期，提升本土企业的量产能力，并增加其进入全球供应链的机会。
该测试平台的建立是KICET、庆尚北道和龟尾市从规划阶段起紧密合作的成果。庆尚北道和龟尾市以半导体专业产业园区为核心，营造了最优的营商环境；而KICET的量子与半导体研究组则针对先进制造工艺、原型制造、极端环境验证以及面向企业的腔体材料与零部件技术支持，进行了系统性的设计。在此基础上，韩国产业技术试验院（KTL）、韩国半导体产业协会（KSIA）和龟尾电子信息技术研究院（GERI）将展开协作，在从零部件开发到对接客户企业的全过程中系统性地分工合作，从而支持半导体腔体材料与零部件的国产化及进入供应链。
KICET院长尹钟锡表示：“该项目将成为降低对海外核心半导体腔体材料及零部件依赖的关键基石，同时支持本土企业实现技术自立并进入全球供应链。我们将依托陶瓷材料与工艺的专业优势，积极与庆尚北道和龟尾市合作，将该地区打造成为南部地区的半导体材料、零部件及设备制造与验证中心。”KICET是韩国唯一的陶瓷领域综合研究机构，隶属于韩国产业通商资源部。主要从事尖端陶瓷材料的研发、测试分析与认证，以及为企业提供技术支援和孵化服务。
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