2026年4月24日,NGK株式会社宣布已决定在石川县能美市设立一座用于生产半导体制造设备陶瓷部件的新生产基地。该公司计划投资约700亿日元用于建设新工厂,预计于2029年10月开始量产。新工厂的生产将由NGK的制造子公司NGK CERAMIC DEVICE CO., LTD.负责。

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图 石川工厂效果图

NGK目前在包括知多事业所(爱知县半田市)和小牧事业所(爱知县小牧市)在内的基地生产半导体制造设备用陶瓷。为了应对激增的需求,NGK已在石川县能美市其汽车相关产品工厂的相邻地块获取了约104,000平方米的土地,用于建设新的生产基地。新工厂计划于2029年10月开始量产,其投产将使NGK集团的半导体制造设备用陶瓷产能提升约20%。

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新工厂将生产用于承载硅晶圆的陶瓷功能部件(承载台/陶瓷加热器),该材料广泛应用于半导体制造设备。NGK正利用其陶瓷材料的优异特性(包括高强度和耐热性),开发并量产高质量、高性能的承载台。这些承载台即使在暴露于高温腐蚀性气体和等离子体的半导体制造工艺中也能提供稳定的性能,从而为半导体制造领域更高的良品率和生产力的提升做出贡献。

此外,鉴于用于半导体制造设备的陶瓷生产基地目前集中在东海地区,因此,新设石川工厂也被定位为一个重要基地,旨在从加强供应链韧性及BCP(业务连续性计划)的角度提供有力支撑。

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作者 ab, 808