10月28日消息,昆山新莱洁净应用材料股份有限公司(以下简称:新莱应材)发布公告,全资子公司昆山方新精密科技有限公司(以下简称“方新精密”)与建设公司签订总造价1.64亿元的建设项目工程合同,用于半导体核心零部件项目投资建设。
△图源:新莱应材2026年10月28日官方公告
在本次最新的建设施工合同的公告中提到,动工建设的主要是匀气盘、电子设备用铝制腔体和静电吸盘研发及制造项目工程,预计2028年6月26日竣工。
△图源:新莱应材2025年10月23日公告
据悉,新莱集团方新精密半导体核心零部件项目,在2025年10月23日签约落户昆山陆家镇,总投资20亿元,主要用于从事匀气盘、半导体铝腔的研发、生产与销售,并为半导体设备、TFT设备、OLED设备提供精密洗净服务,项目达产后预计年产值超15亿元。
静电吸盘/静电卡盘是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物的夹具,适用于真空及等离子体环境,主要作用是吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,还能够调节吸附物的温度。

静电卡盘(图由AI生成)

随着半导体及集成电路制程设备和制程工艺的发展,传统的以有机高分子材料和阳极氧化层为电介质的静电卡盘逐步被陶瓷静电卡盘逐渐替代,陶瓷静电卡盘拥有良好的导热和耐卤素等离子气氛的性能,广泛应用于半导体及集成电路核心制程制作中,在高真空等离子体或特气环境中起到对晶圆的夹持和温度控制等作用,是离子注入、刻蚀等关键制程核心零部件之一。

昆山新莱洁净应用材料股份有限公司是于2000年在江苏省昆山市成立的中外合资企业,经过20多年的发展,已于2011年在中国A股成功上市(代码:300260),主要从事高纯及超高纯应用材料与设备的研发、生产与销售,是国内为数不多覆盖泛半导体、生物医药、食品安全三大领域的高洁净应用材料制造商。

文章内容来源:新莱应材《昆山新莱洁净应用材料股份有限公司关于全资子公司与昆山市陆家镇人民政府签订项目投资框架协议的公告》、《昆山新莱洁净应用材料股份有限公司关于全资子公司签订建设工程施工合同的公告》等公开信息。
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采集来源:新莱应材:推进子公司方新精密总投资20亿元半导体静电吸盘等核心零部件项目落地

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作者 nmx