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根据邦瓷科技最新消息，公司将启动年产两百万件MFC压电陶瓷项目扩产，启动仪式将于3天后在景德镇市先进陶瓷产业园A区举行。此次扩产将有望推动国产半导体MFC迈出里程碑式的一步。
压电式MFC（质量流量控制器）凭借响应快、精度高、稳定性好、无磁性、发热小的特点，已成为半导体的蚀刻/气相沉积等多个工艺中流量控制的主流方案。压电式MFC大幅提升了气体流量控制的能力，提升了晶圆的生产良率，成为先进芯片制程的关键组件。
多层压电陶瓷促动器是压电式MFC核心部件，依靠逆压电效应产生纳米级形变驱动阀芯。但因为压电材料配方和烧结极化工艺的技术壁垒较高，相关零配件长期依赖海外进口。上游零部件出现了“卡脖子”情况，国内MFC整机国产化进度也受到了制约。
邦瓷科技于2023年立项开发用于MFC的压电陶瓷促动器。多年来，邦瓷科技与国内数十家MFC制造商建立了密切的联系，并与多家头部企业达成了长期合作。经过多年的技术攻关，邦瓷科技的半导体级压电陶瓷组件已实现下游导入，向国内MFC企业批量供货，为国产压电MFC提供核心零部件支撑。
