
功率半导体(IGBT、SiC MOSFET)模块里,有一类基板几乎绕不开——DBC(Direct Bonded Copper,直接覆铜)。它把厚铜箔直接"长"在氧化铝陶瓷上,导热、载流、绝缘三者兼顾。
但它的烧结工艺极其"挑剔":温度窗口只有 约 18°C——低于 1065°C 不键合,高于 1083°C 铜就熔了。本文讲透 DBC 的烧结机理、化学式与工艺流程。
一、什么是 DBC?
DBC 诞生于 20 世纪 60~70 年代,核心思路是利用铜-氧共晶反应实现金属-陶瓷的直接键合,省去中间钎料层。典型结构是:氧化铝(Al₂O₃)陶瓷基片上下各覆一层 0.2~0.4mm 的无氧铜箔,再经光刻、蚀刻做出电路图形。
图1 DBC 覆铜基板:紫铜箔上已蚀刻出规整线路,右侧游标卡尺正在检测尺寸
由于铜层厚(0.2~0.4mm)、无中间钎料层,DBC 基板的载流能力与导热路径远超薄膜/厚膜基板,是目前 IGBT 功率模块最主流的基板方案之一。

二、核心机理:Cu-O 共晶 + 界面化学反应
2.1 关键温度窗口:1065~1083°C
Cu-Cu₂O 共晶点约 1065°C,纯铜熔点 1083°C。只有在两者之间,铜表面才会出现"半熔"的共晶液相——这就是 DBC 只能在 1065~1083°C(实际生产常取 1070°C 附近)烧结的根本原因。温度太低没有液相,太高铜箔熔化报废。
2.2 两步化学反应
第一步:铜表面氧化。N₂ 气氛中微量氧(约 100~500 ppm)使铜箔表面生成一层薄薄的 Cu₂O:
铜氧化生成氧化亚铜(Cu₂O)
第二步:界面反应。共晶液中的 Cu₂O 与氧化铝反应,生成铜铝酸盐(CuAlO₂)——这是键合强度的关键相:
氧化亚铜 + 氧化铝 → 铜铝酸盐(界面键合相)
氧偏多时还会生成尖晶石相:CuO + Al₂O₃ → CuAl₂O₄。研究证实,界面 CuAlO₂ 的形成是获得高结合强度的关键;保温足够时间后,剥离强度可达 10 kg/cm² 以上。
2.3 烧结后的界面结构
冷却后,界面形成典型的三层过渡结构,热膨胀系数(CTE)呈梯度过渡,减小热失配应力:

Cu₂O 颗粒一部分在界面与 Al₂O₃ 反应成 CuAlO₂,另一部分弥散在铜中,形成"锚定"效果——这就是为什么 DBC 不需要钎料也能焊得牢。

图3 DBC 覆铜基板:实物切面照片
|
|
|
|
|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
氧化后的铜箔放置在陶瓷上,然后放进烧结炉中 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
四、四个关键控制点
4.1 温度窗口(±5°C 级别)
1065~1083°C 仅约 18°C 窗口,炉温均匀性要求极高。偏高导致铜熔融流挂,偏低界面反应不充分、剥离强度不足。
4.2 氧含量
氧太少没有 Cu₂O、形不成共晶液;氧太多生成脆性 CuO/CuAl₂O₄ 过多,界面变脆。生产上通过 N₂ 中微量 O₂ 精确控制。
4.3 冷却速率
铜(17 ppm/°C)与氧化铝(7 ppm/°C)CTE 差近 2.5 倍,冷却过快会产生翘曲甚至开裂,需分段控速冷却。
4.4 表面洁净度
任何油污、氧化层厚度不均都会导致局部不键合("空白区")。铜箔与陶瓷的清洗质量直接决定良率。
五、DBC 的得与失(与 AMB 对比)
|
|
|
|
|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
总结
- DBC 的本质
:用 Cu-O 共晶液相(1065~1083°C)替代钎料,把厚铜直接键合到氧化铝上。 - 关键化学式
:4Cu + O₂ → 2Cu₂O;Cu₂O + Al₂O₃ → 2CuAlO₂(界面键合相)。 - 工艺灵魂
:18°C 的温度窗口 + 微量氧控制 + 控速冷却,三者缺一不可。 - 定位
:Al₂O₃ 基板上成本最优的厚铜方案;追求高可靠热循环时,AMB(Si₃N₄/AlN)是更优选择。
长按识别二维码关注公众号,点击下方菜单栏左侧“微信群”,申请加入交流群。

