17 家半导体设备用陶瓷零部件相关上市企业

半导体设备是半导体产业链的关键支撑，是半导体制造的基石。随着半导体工艺不断进步，半导体的制造工序中存在产生等离子体的恶劣环境，半导体设备对于零部件的要求更高。由于先进陶瓷具有优良的耐等离子体性，半导体设备中采用了各种陶瓷零部件，如陶瓷加热器、静电卡盘、刻蚀环、搬运臂等。目前国内有 17 家上市公司布局半导体设备用陶瓷零部件领域，还有不少企业 IPO 中。下面为大家介绍这些企业。

1.珂玛科技（证券代码:301611）

苏州珂玛材料科技股份有限公司是国内半导体设备用先进陶瓷材料零部件的头部企业。珂玛科技用于半导体设备的先进陶瓷材料零部件产品包括圆环圆筒、气流导向、承重固定和手爪垫片等结构件产品，以及陶瓷加热器、静电卡盘以及超高纯碳化硅套件等高难度“功能-结构”一体模块化产品。

2.国机精工（证券代码:002046）

国机精工在半导体领域精密陶瓷产品上处于行业领先地位，该类产品包括陶瓷载盘、陶瓷吸盘、真空卡盘、静电卡盘等。应用在半导体领域的精密陶瓷制品，技术开发难度大，产品技术壁垒较高，市场前景好，是公司未来几年重点推广的产品，国机精工将加快其市场导入，持续提升市场占有率。在半导体领域，三磨所成功打破国外厂商在陶瓷载盘、吸盘、真空卡盘、划片刀、封装刀、减薄砂轮等关键耗材领域的长期垄断；国机金刚石突破半导体用碳化硅陶瓷吸盘等关键技术。8月26日，国机金刚石(河南)有限公司前沿材料事业部技术部部长宋运运将出席深圳半导体陶瓷产业论坛，并做《陶瓷晶圆承载盘在集成电路关键装备中的应用以及发展方向》主题报告，地址深圳国际会展中心7号馆论坛2区，欢迎莅临交流。

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3.中瓷电子（证券代码:003031）

河北中瓷电子科技股份有限公司是国内电子陶瓷行业的领先企业，中瓷电子持续加大精密陶瓷零部件领域的研发和投入力度，已开发了氧化铝、氮化铝精密陶瓷零部件产品，建立了精密陶瓷零部件制造工艺平台，开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，已批量应用于国产半导体设备中，静电卡盘产品已经通过国内头部半导体设备公司上机验证，精密陶瓷零部件销售收入同比有大幅增长。

4.富乐德（证券代码:301297）

安徽富乐德科技发展股份有限公司是一家泛半导体（半导体、显示面板等）领域设备精密洗净服务提供商，在北京建设半导体陶瓷零部件项目，旗下子公司杭州之芯布局陶瓷加热器和静电卡盘业务。

5.富创精密（证券代码:688409）

沈阳富创精密设备股份有限公司是半导体零部件领域的领军企业，代表性产品包括：腔体（按使用功能分为过渡腔、传输腔和反应腔）、内衬、匀气盘、加热盘、真空阀体、托盘轴、流量计底座以及离子注入机模组、传输腔模组、过渡腔模组、刻蚀阀体模组等。新增匀气盘、特殊涂层、加热盘、静电卡盘及阀门五大专项，并持续加大核心技术研发投入。2024年宣布收购北京亦盛精密100%股权，该公司生产半导体设备用硅部件、碳化硅部件等。

6.臻宝科技（证券代码:688797）

重庆臻宝科技股份有限公司是国内集成电路关键零部件领域的标杆企业，主要产品为硅、石英、碳化硅和氧化铝陶瓷等设备零部件产品，以及熔射再生、阳极氧化和精密清洗等表面处理服务。臻宝科技在碳化硅零部件、半导体静电卡盘等关键精密零部件和高致密涂层制备等表面处理技术等领域持续加大研发投入，自主研发半导体 12 寸刻蚀设备静电卡盘产品、氮化铝加热器、碳化硅气体分配盘。

7.先锋精科（证券代码:688605）

江苏先锋精密科技股份有限公司是国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备厂商关键精密零部件供应商。先锋精科重点强化陶瓷加热器、光刻机核心部件等关键产品的专项研发。在氮化铝加热器方面，具备从材料制备到成品制造的整套生产线，可实现在500℃及以上高温下温度均匀的加热丝设计及多层氮化铝加热器制造工艺技术。半导体设备用陶瓷静电吸盘目前正在开发中。先锋精科拟发行7.5亿元可转债，加码陶瓷静电吸盘和陶瓷加热器

8.江丰电子（证券代码:300666）

江丰电子主要专注于超高纯金属溅射靶材和半导体精密零部件的研发、生产和销售。半导体精密零部件包括金属、陶瓷、树脂等多种材料经复杂工艺加工而成的精密零部件，主要用于超大规模集成电路芯片制造领域。江丰电子布局陶瓷加热器和静电卡盘产品。

9.鼎龙股份（证券代码:300054）

湖北鼎龙控股股份有限公司是国内领先的关键大赛道领域中各类核心创新材料的平台型公司，通过其子公司湖北芯陶科技有限公司布局静电卡盘，目前项目已投产。

10.三环集团（证券代码:300408.SZ/06951.HK）

三环集团深耕先进电子陶瓷材料和零部件领域，开发应用于泛半导体行业的各类复杂结构及功能陶瓷部件，满足半导体高端客户需求，部分结构件已实现小批量交付。产品包括：静电卡盘、沉积室衬垫、刻蚀环、刻蚀窗、搬运臂、喷嘴、陶瓷劈刀等。

11.麦格米特（证券代码:002851）

深圳麦格米特电气股份有限公司是以电力电子及相关控制技术为基础的电气自动化公司，2025年战略性投资广东精瓷新材料有限公司，广东精瓷专注于半导体用陶瓷静电卡盘 ESC、精密陶瓷真空吸盘及氮化铝陶瓷发热体的研发制造。8月26日，广东精瓷新材料有限公司研发中心副主任洪于喆将出席深圳半导体陶瓷产业论坛，并做《氮化铝陶瓷加热器的研发及其在 CVD 中的应用》主题报告，地址深圳国际会展中心 7 号馆论坛2区，欢迎莅临交流。

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12.先导基电（证券代码:600641）

上海先导基电科技股份有限公司旗下子公司万业元创（衢州）陶瓷科技有限公司为特种陶瓷制品的专业制造企业，建设半导体核心零部件及系统产业化项目，陶瓷半导体零部件产品包括：碳化硅组件、ESC 、Heater 加热器等。

13.神工股份（证券代码:688233）

锦州神工半导体股份有限公司是一家植根中国本土市场的半导体材料和零部件公司，致力于中国集成电路制造核心工艺材料和零部件的国产化建设。神工股份在半导体核心零部件领域已建立成熟、持续迭代的技术研发体系，在聚焦环（FR）、托盘类等核心碳化硅零部件上已实现关键技术突破与初步产业化落地，技术先进性与产品可靠性获得下游客户认可。神工股份拟依托现有碳化硅领域的核心技术优势，通过控股子公司锦州精辰建设“碳化硅陶瓷零部件研发及产业化建设项目”。

14.正帆科技（证券代码:688596）

上海正帆科技股份有限公司2025年完成收购辽宁汉京半导体材料有限公司控制权（持股62.23%），业务拓展至高纯石英材料及碳化硅陶瓷材料零部件领域，产品包括碳化硅陶瓷舟、碳化硅陶瓷管及碳化硅陶瓷保温筒等。

15.大洋生物（证券代码:003017）

浙江大洋生物科技集团股份有限公司参股子公司浙江芯之纯半导体材料有限公司（持股30%）高纯陶瓷项目已开始试生产，现有部分产品顺利送样进行客户验证。半导体设备用高纯陶瓷耗材客户验证周期普遍较长，短期尚未形成批量订单。

16.中光学（证券代码:002189）

中光学集团股份有限公司隶属于中国兵器装备集团有限公司，，是国有大型军民结合型光电上市企业、国家技术企业。中光学的半导体封装用陶瓷劈刀产品实现小批量生产并交付客户。

17.中微公司（证券代码:688012）

中微半导体设备（上海）股份有限公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司。中微公司参股新美光（苏州）半导体科技股份有限公司（持有2.2703%的股份）。目前新美光已启动IPO，其核心产品包括单晶硅部件、碳化硅部件等。

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第三届半导体陶瓷产业论坛
The 3rd Semiconductor Ceramics Industry Forum

8月26日 10:00-16:00

深圳宝安国际会展中心7号馆论坛区②

序号

No.

演讲议题
Thematic Report

演讲嘉宾
Guest speaker

半导体设备中的陶瓷材料和部件
Ceramic Materials and Components in Semiconductor Equipment

清华大学教授潘伟
Pan Wei,Professor, Tsinghua University

氮化铝陶瓷加热器的研发及其在 CVD 中的应用

Research and Development of AlN Ceramic Heaters and Their Application in CVD

广东精瓷新材料有限公司研发中心副主任洪于喆

Hong Yu Zhe,Deputy Director of the R&D Center,,Fine Ceramic New Material Co.,Ltd.

碳化硅陶瓷在半导体制程中的应用

Application of Silicon Carbide Ceramics in Semiconductor Manufacturing Processes

山东国晶新材料有限公司研发总监王之腾

Wang Zhiteng, R&D Director, GLOJIN TEK

致密高强高弹性模量超低膨胀堇青石陶瓷的研究

Research on Dense, High-Strength, High-Elastic-Modulus, Ultra-Low-Expansion Cordierite Ceramics

华南理工大学材料学院教授博士生导师饶平根

Rao Pinggen, Professor,South China University of Technology

应用于先进陶瓷的助剂

Additives for advanced ceramics

毕克助剂（上海）有限公司研发总监

Dr. Hiroshi Yonehara
BYK R&D Director

静电卡盘精密制造与AI智能检测全产线开发

Development of a Full Production Line for Precision Manufacturing and AI-Based Intelligent Inspection of Electrostatic Chucks

苏州大学 (高级工程师、苏州高级技术经理人导师）吴刚祥

Wu Gangxiang, Senior Engineer, Soochow University

从陶瓷3D打印到超精密加工，构建先进陶瓷的一体化制造能力

From Ceramic 3D Printing to Ultra-Precision Machining: Building Integrated Manufacturing Capabilities for Advanced Ceramics

新东先进陶瓷中国区业务开发经理聂品旭

Nie Pinxu, BD Manager, Sinto Advanced Ceramics

科浩热能进口替代型超级大气烧结炉在泛半导体陶瓷制品烧成中的应用

Application of Ke Hao Thermal's imported alternative super large atmospheric sintering furnace in the firing of pan-semiconductor ceramic products

淄博科浩热能项目拓展部副经理刘翔宇

Liu Xiangyu ，Deputy Manager of Project Expansion Department，Kehao Thermal Energy Engineering

光固化成型技术在半导体陶瓷材料及零部件领域应用

Application of Light-Curing Forming Technology in the Field of Semiconductor Ceramic Materials and Components

武汉理工大学研究员黄志锋

Huang Zhifeng, Researcher, Wuhan University of Technology

陶瓷晶圆承载盘在集成电路关键装备中的应用以及发展方向

The application and development direction of ceramic wafer carriers in key equipment for integrated circuits

国机金刚石(河南)有限公司前沿材料事业部技术部部长宋运运

Song Yunyun，Head of Technical Department, Advanced Materials Division，Sinomach Diamond (Henan) Co., Ltd.

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【展商名单】8月26日-28日·深圳第八届精密陶瓷产业链展览会

2026-08-04

一键报名｜8月26-28日深圳精密陶瓷展十大主题论坛免费参与！

2026-08-01

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作者ab, 808

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