8月3日，江苏先锋精密科技股份有限公司（股票简称：先锋精科，股票代码：688605）公告，拟向不特定对象发行可转换公司债券，发行总额为人民币 75,000.00 万元，发行数量为750,000 手（7,500,000 张），扣除发行费用后的募集资金净额将用于投入“半导体先进制程核心工艺金属器件扩建项目”、“半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发、生产新建项目”、“半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目”以及补充流动资金。
本次募投项目“半导体先进制程核心工艺金属器件扩建项目”是对现有产能的扩充升级，旨在突破现有产能瓶颈，满足下游客户持续增长的订单需求，同时通过建设高规格生产车间，满足半导体产业链升级迭代所带动的对设备零部件更高标准的生产环境和核心性能指标要求；募投项目“半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发、生产新建项目”旨在通过开发陶瓷加热器填补国内缺口，同时突破公司现有业务领域，开辟全新增长曲线，优化公司产品与盈利结构，提升细分领域市场地位；募投项目“半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目”以公司在半导体设备零部件领域十余年的技术储备为基础，围绕半导体设备中重点关键产品静电吸盘（ESC）进行研发，攻克核心部件技术壁垒，进一步巩固公司技术领先优势。
以刻蚀、薄膜沉积为代表的前道核心设备对先进制程功能器件需求持续攀升，拉动了对金属加热器、陶瓷加热器等关键功能器件的采购需求。先锋精科作为国内少数能够进入主流设备商供应链并实现批量交付的供应商，已与中微公司、北方华创、拓荆科技等行业龙头建立了稳固的合作关系。现有产品线中，金属及陶瓷加热器是先锋精科现阶段重点升级和突破方向。其中，金属加热器是成熟产品，但受限于现有厂房及洁净制造环境，亟需突破产能瓶颈；陶瓷加热器是现有成熟产品的延伸与升级，同样受制于现有生产场地的物理空间与环境控制能力，因此，建设具备高阶工艺控制能力的制造基地成为必然，以支撑先锋精科未来技术迭代。陶瓷加热器在材料纯度、高温耐受性及服役寿命方面设定了严苛标准，制造过程对热场一致性、耐腐蚀能力与长期运行可靠性提出了极高挑战。核心工艺作为决定产品性能与良率的关键环节，其技术水准与过程管控能力直接影响到芯片制造环节中的加热精度与最终产出表现。先锋精科通过长期研发构建了涵盖原料掺杂及造粒、热压烧结、冷等静压及常压烧结、多层填埋加热盘共烧成形以及陶瓷精密加工等在内的核心技术体系，在此过程中推动制造工艺不断迭代、生产效能稳步提升。
目前，先锋精科半导体设备用陶瓷静电吸盘开发项目进展 30%。已开展静电吸盘的需求调研与指标定义。已初步完成研发项目核心技术团队的搭建。已开展陶瓷静电吸盘主要工艺技术路线的行业调研，并已完成主要工艺技术路线的确定。已经与客户明确一款带加热功能的静电吸盘产品的开发任务，并已完成这一款产品的设计、模拟工作，产品开发正在进行中。
募投项目的半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目将围绕高性能介电层陶瓷材料精密烧结、微纳电极图案化制备、异质材料高可靠连接、多区精准温控等核心技术难点，开展全链条技术攻关与产品研制，实现陶瓷基板孔隙率低于 0.01%（4N 及以上）的精密烧结工艺、高精度图案化设计以均匀分布电场，同时达到陶瓷介电层、电极层及基底层等异质材料层间在严苛热循环下的高可靠、低热阻连接，开发出超 100 温区的分区温控技术。
募投项目的实施将助力先锋精科将核心技术深度应用于丰富的半导体客户场景及广泛的下游制程领域，针对先进制程需求，持续对金属加热器、陶瓷加热器、半导体静电吸盘等核心产品进行升级迭代，精准把握下游半导体设备厂商及晶圆厂的核心需求，进一步突破高端产品技术壁垒，完善核心技术体系，巩固公司核心竞争力，推动公司从单一金属零部件供应商向“金属及非金属材料+关键功能器件”一体化解决方案提供商的战略转型，助力半导体核心零部件国产化进程加速推进。
长按识别二维码关注公众号，点击下方菜单栏左侧“微信群”，申请加入交流群。
