据泰兴市融媒体中心消息，在江苏集萃半导体陶瓷材料研究所陶瓷超精密加工室，技术人员正全力加工半导体设备关键零部件——陶瓷静电卡盘。该产品曾长期被国外企业垄断，如今，研究所相关研发已达国内领先水平，成功突破多项关键技术，实现部分精密先进陶瓷部件的进口替代。研究所总投资1.1亿元，由江苏省产研院、泰州市产研院、清华大学潘伟教授团队和泰兴高新区共同投资建设，虽然只占地7.5亩，却“藏”着大能量。目前，研究所主攻陶瓷静电卡盘、陶瓷加热盘、光刻机用陶瓷导轨三大产品，目标直指为中国半导体装备装上一颗“中国制造的陶瓷心脏”。今年产值预计可达1500万元，未来3至5年力争突破10亿元。
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