7月8日,江苏芯梦官微宣布,近日更是成功完成了12" Cassette-less type槽式清洗设备的出货交付,标志着其产品矩阵的进一步升级。

江苏芯梦成功交付12 Cassette-less type槽式清洗设备

 

在此之前,江苏芯梦的槽式湿法设备主要以Cassette type为主。随着Cassette-less type槽式清洗设备成功交付,相较于传统Cassette type,不仅在效率、灵活性及操作便捷性上更是实现了质的飞跃,更进一步形成了化学镀、槽式、晶圆盒清洗设备、单片湿法设备等几大产品类型产品矩阵。

 

 产品亮点 

· 高效与灵活性

Cassette-less type摒弃了传统料盒的限制,支持更为直接且高效的上料与下料方式,包括Open Cassette和FOUP,与OHT系统的无缝对接更是将生产效率推向了新的高度。其模块化设计及多样化的干燥选项,让客户能够根据具体工艺需求进行灵活配置,实现前所未有的清洗作业效率与灵活性。

 

· 高洁净度

采用先进的清洗技术,如加热、循环、兆声及浓度在线监控等,确保硅片表面达到前所未有的高洁净度标准。特别值得一提的是,Cassette-less设计减少了晶圆与额外容器的接触,进一步降低了污染风险,结合热水慢提拉+IR Dry的环保干燥方式,不仅维持了硅片的极致洁净,还提升了生产过程中的安全性。

 

· 广泛适用性

无论是4" 、6" 、8" 还是12" 等多种尺寸的晶圆,Cassette-less type槽式清洗设备都能轻松应对,广泛覆盖半导体行业的各个领域。从衬底制造到集成电路,再到先进封装,无一不展现其强大的适用性。

 

· 定制化服务

Cassette-less type槽式清洗设备不仅能够解决在半导体清洗过程中的效率和洁净度问题,还提供高度定制化的服务,通过友好的操作界面、优良的选材、高质量的做工和稳定的机械结构,能够很好地满足不同客户的特定需求

来源:江苏芯梦官微

原文始发于微信公众号(艾邦半导体网):江苏芯梦成功交付12 Cassette-less type槽式清洗设备

作者 li, meiyong

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