2024年陶瓷静电卡盘产业报告分享.PDF

静电吸盘(Electrostatic Chuck),也称静电卡盘、静电夹盘,是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物的夹具,适用于真空及等离子体环境,主要作用是吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,还能够调节吸附物的温度,为 PVD 设备、刻蚀机、离子注入机等高端半导体装备的核心部件。瓷静电卡盘由于技术难度高,我国陶瓷静电卡盘长期依赖进口,属于我国集成电路制造行业“卡脖子”技术。目前陶瓷静电卡盘的市场主要掌握在美国应用材料(Applied Materials)、泛林集团(Lam Research)、日本新光电气(SHINKO)等国外企业手中,其中,应用材料和泛林生产的静电吸盘主要供应自己的半导体设备,日本新光电气、TOTO和NTK等则为第三方供应商。目前国内仅北京华卓、中电科12所等极少数企业实现了静电吸盘产品的研发和量产,国内企业在技术、产品种类、生产规模上与国外领先企业仍有较大差距。

根据公开资料,艾邦为大家整理了2024年陶瓷静电卡盘产业报告PDF,限时(截止2024.4.12)免费分享,报告内容包含静电卡盘简介(结构特点、制备工艺、市场规模等)、国内静电卡盘相关企业、国内静电卡盘相关企业(供应商),共40+页左右,需要本份资料的朋友可按照一下步骤操作即可免费领取:转发本文章链接至朋友圈,截图;②长按识别二维码,申请加群添加管理员微信,凭“文章转发截图”获取。(PS:已在群的请勿重复加群,转发后找管理员索取即可

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推荐活动:【邀请函】2024年半导体陶瓷产业论坛(2024年4月12日·泉州)

2024年半导体陶瓷产业论坛

The  Semiconductor Ceramics Industry Forum

“功率半导体封装用DBC/AMB陶瓷衬板、半导体设备精密陶瓷部件”

2024年4月12日
泉州·泉商希尔顿酒店

福建省泉州市晋江市滨江路999号

主办单位:深圳市艾邦智造资讯有限公司
协办单位:福建华清电子材料科技有限公司
媒体支持:艾邦半导体网、艾邦陶瓷展、陶瓷科技视野
 
一、暂定议题
 

序号

暂定议题

拟邀请企业

1

半导体设备中陶瓷零部件的应用现状与前景

清华大学 新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室 潘伟 教授

2

氮化铝基板和器件与半导体应用

华清电子 向其军 博士

3

先进陶瓷材料制备与智能化实验平台

北京科技大学 教授 白洋

4

高性能氮化铝和氧化铝粉体连续式生产关键工艺技术

中铝新材料 事业部总经理 吴春正

5

第三代功率半导体封装用AMB陶瓷覆铜基板

北京科技大学 教授 杨会生

6

集成电路装备关键部件用氮化物陶瓷研制与应用

成都旭瓷/宁夏北瓷

7

功率半导体封装基板用活性金属钎焊材料

湖南冶金材料研究院

8

功率器件模块封装用陶瓷基板的金属化方法

南京航天航空大学 教授 傅仁利

9

科浩热能原位排胶烧结一体化大气烧结炉在半导体陶瓷产业烧成中的应用

科浩热能 刘培新 总经理

10

多层共烧陶瓷装备的新领域新应用

中电科二所 郎新星 高级专家

11

耐等离子腐蚀的氧化钇陶瓷的开发与应用

拟邀请氧化钇陶瓷企业/高校研究所

12

高强度高耐磨的氮化硅陶瓷材料的开发

拟邀请氮化硅陶瓷企业/高校研究所

13

碳化硅陶瓷结构件在集成电路制造关键装备中的应用

拟邀请碳化硅陶瓷企业/高校研究所

14

高纯氧化铝陶瓷制备工艺及其在半导体领域的应用

拟邀请氧化铝陶瓷企业/高校研究所

15

高精度复杂形状碳化硅陶瓷制备工艺研究

拟邀请碳化硅陶瓷企业/高校研究所

演讲及赞助请联系李小姐:18124643204(同微信)

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赞助及支持企业:

福建华清电子材料科技有限公司

清华大学

北京科技大学

山东大科电子科技有限公司

中铝新材料有限公司

北京北方华创真空技术有限公司

苏州德龙激光股份有限公司

深圳市叁星飞荣机械有限公司

株洲瑞德尔智能装备有限公司

北京东方泰阳科技有限公司

广东振华科技股份有限公司

北京凝华科技有限公司

合肥恒力装备有限公司

苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司

淄博科浩热能工程有限公司

成都旭瓷新材料有限公司/宁夏北瓷新材料科技有限公司

湖南省冶金材料研究院有限公司

深圳市宇宸科技有限公司

上海儒佳机电科技有限公司

合肥费舍罗智能装备有限公司

肯朴厦门新材料有限公司

江苏微艾诺智能装备集团有限公司

山东博奥新材料技术有限公司

中国电子科技集团公司第二研究所

二、报名方式
 
 

报名方式1:加微信
李小姐:18124643204(同微信)
2024年陶瓷静电卡盘产业报告分享.PDF
邮箱:lirongrong@aibang.com
注意:每位参会者均需要提供信息;
报名方式2:长按二维码扫码在线登记报名
 

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或者复制网址到浏览器后,微信注册报名:
https://www.aibang360.com/m/100184

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作者 gan, lanjie

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