日本NTK CERATEC拟新建半导体陶瓷工厂

6月7日，日本特殊陶业全资子公司NTK CERATEC CO., LTD.宣布将在宫城县富宫市高屋敷西区建设新工厂，并已签订了土地销售合同。

随着社会和经济数字化的快速发展，对半导体的需求越来越大。NTK CERATEC 通过新建工厂满足半导体需求，优化现有生产线，实现高效率、高品质制造。

据介绍，该工厂占地面积约12.4公顷，主要生产静电卡盘、结构陶瓷制品，预计将于2025年4月投产。

随着半导体及集成电路制程设备和制程工艺的发展，传统的以有机高分子材料和阳极氧化层为电介质的静电卡盘逐步被陶瓷静电卡盘逐渐替代，陶瓷静电卡盘拥有良好的导热和耐卤素等离子气氛的性能，广泛应用于半导体及集成电路核心制程制作中，在高真空等离子体或特气环境中起到对晶圆的夹持和温度控制等作用，是离子注入、刻蚀等关键制程核心零部件之一。陶静电卡盘按照主体材料材质划分，可分为氧化铝和氮化铝（一般应用于静电吸盘加热器）两大类。

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