2022年6月8日,华海清科股份有限公司成功登陆上交所科创板,股票代码:688120。华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。
 
半导体CMP设备制造商华海清科成功登陆科创板
 
芯片制造主要包括光刻、CMP、刻蚀、薄膜和掺杂等关键工艺技术,其中,CMP 是在芯片制造制程和工艺演进到一定程度、摩尔定律因没有合适的抛光工艺无法继续推进之时才诞生的一项新技术,是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺。
 
半导体CMP设备制造商华海清科成功登陆科创板
 
华海清科所生产 CMP 设备可广泛应用于 12 英寸和 8 英寸的集成电路大生产线,产品总体技术性能已达到国内领先水平,所生产的 CMP 设备已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外先进集成电路制造商的大生产线中。
 
此外,针对下游客户生产线控片、挡片的晶圆再生以及设备关键耗材采购、维保等需求,华海清科积极拓展晶圆再生业务、关键耗材销售和维保等技术服务业务,已成功获得业务订单并形成规模化销售。
 
本次上市拟募集10亿元用于建设高端半导体装备(化学机械抛光机)产业化项目、高端半导体装备研发项目、晶圆再生项目以及补充流动资金。
 
半导体CMP设备制造商华海清科成功登陆科创板
 
其中,高端半导体装备(化学机械抛光机)产业化项目,总投资约5.4亿元,设计产能为年产 100 台化学机械抛光机(包括减薄设备);高端半导体装备研发项目计划总投资约3.11亿元,项目通过开展系列技术研发课题,创新研发面向 14nm 及以下制程先进半导体制造 CMP、减薄多项关键技术及系统,并研发相应的成套先进工艺;晶圆再生项目计划总投资约3.58亿元,新增生产设备及仪器 46 套,项目建成后具备月加工 10 万片 12 英寸再生晶圆的生产能力。

原文始发于微信公众号(艾邦半导体网):半导体CMP设备制造商华海清科成功登陆科创板

作者 li, meiyong