近期,晶瑞电子材料股份有限公司开发的半导体高纯电子化学品G5等级高纯硫酸面向12寸芯片厂实现首次批量出货。
 

晶瑞电材半导体高纯电子硫酸面向12寸芯片厂批量出货

 

晶瑞电材从事超净高纯试剂的研发、生产和销售近 20 年,是国内目前主要的超净高纯试剂企业之一。其超净高纯试剂水平先进,多款产品达到 G4 等级,其中超净高纯双氧水、超净高纯硫酸、超净高纯氨水三大类产品已实现整体技术突破,达到 G5 等级。

晶瑞电材半导体高纯电子硫酸面向12寸芯片厂批量出货

SEMI Grade5 标准

适用于:14纳米以上集成电路加工工艺

 

其控股子公司南通阳恒化工正建设9万吨超大规模集成电路用半导体高纯硫酸项目,该项目一期的3万吨已正式投产,现正进行二期6万吨的建设。

 

晶瑞电材半导体高纯电子硫酸面向12寸芯片厂批量出货

 

据介绍,目前,晶瑞电材的半导体高纯硫酸已获得部分主流客户的批量采购,其余部分主流客户的认证、测试工作正在有序开展中。

 

晶瑞高纯试剂产品信息
品名 产品应用
双氧水 广泛应用于半导体前道湿法清洗工艺,包括颗粒、金 属杂质和有机物残留的清洗
硫酸 应用于半导体前道光刻胶剥离和有机物残留的清洗
氨水 应用于半导体前道particle及polymer的清洗
BOE 应用于半导体前道氧化硅的湿法蚀刻工艺
硝酸 应用于半导体前道硅蚀刻液及晶圆回收清洗
盐酸 应用于半导体前道金属杂质的清洗去除
TMAH 应用于半导体前道光刻胶显影剂和硅减薄工艺

 

来源:晶瑞电材
 

原文始发于微信公众号(艾邦半导体网):晶瑞电材半导体高纯电子硫酸面向12寸芯片厂批量出货

作者 li, meiyong