全氟醚橡胶(FFKM)是一种完全不含C-H键的氟橡胶,在介质腐蚀、高温、高压、辐射环境等苛刻条件下,只有全氟醚橡胶才能适应,因此,在安全和维护要求严格的半导体生产装置中大显身手。

16家全氟醚橡胶供应商名单,半导体密封必收藏

图  全氟醚橡胶分子结构

由于在半导体制造中,停产更换密封件代价极高,半导体行业的密封件和垫圈需要非同寻常的材料。而全氟醚橡胶的高纯度和对等离子体、热和刺激性化学品的极高耐受性为半导体制造如等离子处理、热处理及湿法工艺等生产装置的密封提供了出色解决方案,可延长密封寿命,减少污染,进而提高晶圆产量,降低生产成本。而全氟醚橡胶唯一的缺点就是价格太高,市场价约3~5万元/kg。

16家全氟醚橡胶供应商名单,半导体密封必收藏图  全氟醚橡胶用于半导体,来源:成都道弘

在前文《全氟醚橡胶在半导体领域的应用》中,我们为大家介绍了全氟醚橡胶的性能特点及其在半导体领域的应用,全氟醚橡胶绝大多数被制成密封件,如O型圈、垫圈等产品,应用于泵、机械密封、阀门的阀座、连接密封件等高温、强腐蚀的使用环境下。今天我们就来认识一下全氟醚橡胶的生产企业。

16家全氟醚橡胶供应商名单,半导体密封必收藏图源:Trelleborg

1.杜邦DuPont

 

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官网:https://www.dupont.com/

商品名:Kalrez®

美国杜邦公司于1968年首次研发成功全氟醚橡胶,并在1975年以Kalrez®作为商品名投入商业化应用。目前杜邦仍是全球主要的全氟醚橡胶供应商。

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2.3M

 

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官网:https://www.3m.com.cn/

商品名:Dyneon™

3M提供各式各样的氟橡胶产品系列,适用于关键的密封和防漏应用。3M™ Dyneon™ 全氟醚橡胶的高纯度和对等离子体、热和刺激性化学品的耐受性为半导体制造或子制造工艺提供出色解决方案。

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3.索尔维

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官网:https://www.solvay.com/

商品名:Tecnoflon®

索尔维全氟橡胶Tecnoflon® PFR兼具高纯度、耐化学腐蚀性、优异的机械和密封性能,可用于如腔室、盖、窗、气体入口、配件和唇型密封圈,以及纵切阀、各种晶片传送部件等关键应用。

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4.大金工业株式会社

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官网:https://www.daikin.com/

商品名:DAI-EL

日本大金于1970年上市氟橡胶DAI-EL,产品组合涵盖全系列双酚和过氧化物硫化的共聚物和三元共聚物,包括低温FKM以及全氟橡胶 (FFKM)等。DAI-EL全氟弹性体在热水环境中长期暴露具有出色的耐受性,可用于半导体密封等领域。由原料生产,成型加工到包装,大金工业开发的全氟O型圈DUPRA,由关联公司东邦化成株式会社生产。

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5.AGC

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官网:https://www.agc.com/

商品名:AFLAS®

AGC 于1975 年推出了氟橡胶品牌 AFLAS®。2017年,AGC推出了AFLAS® FFKM系列,是以四氟乙烯(C2F4)和全氟烷基乙烯基醚(C2F3-ORf)为主要成分的全氟橡胶共聚物产品。

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6.中昊晨光化工研究院有限公司

 

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官网:http://www.chenguang.cn/

中昊晨光化工研究院始建于1965年,现隶属中国昊华化工(集团)总公司,主要从事有机氟、有机硅等新型高分子材料的研发、生产和经营。研发有全氟醚橡胶系列产品:FFKM-G80X系列。

项目

指标

FFKM-G802

FFKM-G803

FFKM-G804

FFKM-G806

生胶

门尼

MU(1+10min·121℃)

20

30

40

≥45

密度

g/cm3(20℃)

2.05

2.05

2.05

2.05

氟含量

%

72

72

72

72

硫化胶

拉伸强度

Mpa

18

18

18

18

伸长率

%

110

110

110

110

硬度

Ha

90

90

90

90

永久压缩变形

200℃×70h,%

35

35

35

35

7.俄罗斯列别捷夫合成橡胶研究所 FSUE“ISR”

 

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官网:https://fgupniisk.ru/

俄罗斯列别捷夫合成橡胶研究所是俄罗斯橡胶和乳胶领域基础和应用研究最大和最重要的研究中心,可试验生产全氟醚低温氟橡胶(可适用于-80℃环境)。

8. 成都道弘实业有限公司

 

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官网:http://www.dowhon.com/

商品名:Dowhon™

成都道弘实业有限公司成立于2002年,是国内外知名的氟橡胶预混胶、氟橡胶混炼胶专业生产厂家。其控股公司四川弘芯氟醚科技有限公司专业生产全氟醚橡胶及制品。道弘混炼胶生产线数10条,生产能力超过8000吨,拥有一个1万级高洁净生产车间专业生产半导体、军工用全氟醚橡胶及制品。并生产全氟醚O型圈Honseal®。

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9.氟乐泰科(厦门)新材料有限公司

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商品名:FLTECHFLON™

官网:http://www.fluotechrubber.com/

氟乐泰科(厦门)新材料有限公司致力于给客户提供技术创新和高质量的特种橡胶混炼产品,主要产品包括:氟橡胶预混胶、氟橡胶混炼胶、全氟醚橡胶混炼胶、氟硅橡胶和氢化丁腈混炼胶。

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10.中绿新材料(江苏)有限公司

 

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官网:http://www.lvpoly.com/

中绿新材料(江苏)有限公司是一家氟混炼胶供应商,基于混炼的基础,我们提供氟胶、氟硅胶、氢化丁腈、全氟醚、丁腈胶以及三元乙丙混炼胶。

11.上海道氟实业有限公司

 

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官网:http://www.dawnhon.com/about/

上海道氟实业有限公司成立于2000年,是国内领先的先进材料和特种弹性体混炼胶供应商,产品涵盖氟橡胶、硅橡胶、氟硅橡胶、丙烯酸酯橡胶、氢化丁腈橡胶、全氟聚醚橡胶和氯醇橡胶等特种胶种。

12.上海鲁聚聚合物技术有限公司

 

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官网:https://www.lanpoly.com/

鲁聚化学成立于2007年,是国内有机氟类聚合物领域领先企业,总部设在上海,工厂基地设于浙江衢州,现有4大类含氟聚合物25种型号,年产能达3000吨。全氟醚橡胶产品有:PFE9830、PFE9840。

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13.成都晨光博达新材料股份有限公司

 

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官网:http://www.cgfse.com/

成都晨光博达新材料股份有限公司是一家专业从事氟橡胶、全氟醚氟橡胶、氟硅橡胶和全氟聚醚及环保型含氟表面活性剂等氟精细化学品研发生产的企业。可提供应用于特殊要求的全氟混炼胶BDFF系列。

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14.上海创奇特种橡胶制品有限公司

 

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官网:http://www.shseal.com/

上海创奇特种橡胶制品有限公司前身是上海华明橡塑制品厂,公司成立于1988年。专业从事高性能氟橡胶、硅橡胶系列产品的研发、生产和销售。其中氟橡胶产品年产量超过200吨,是国内氟橡胶制品生产的领导者。

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15.长欣胶业(上海)有限公司

 

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官网:http://www.cxrubber.com/

长欣胶业(上海)有限公司是由美国Rotek International Group L.L.C.于2003年8月在上海市松江区投资设立的外商独资企业,从事氟素橡胶、硅胶等合成橡胶及混炼胶相关产品的开发、生产、加工,可提供全氟混炼胶。

16.孚瑞科技有限公司

 

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官网:https://www.fluorez.com.tw/

商品名:Varion™

孚瑞科技产品包含全氟橡胶(FFKM)的混炼胶与全氟橡胶标准O型圈。孚瑞科技开发了一系列的全氟橡胶FFKM混炼胶,适用于半导体产业与化工产业等有抗温耐化的特殊需求,以自有品牌Varion™进行销售。

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原文始发于微信公众号(艾邦半导体网):16家全氟醚橡胶供应商名单,半导体密封必收藏

作者 li, meiyong