今天要给大家介绍的是AMB陶瓷覆铜板。在介绍之前,我们先对概念进行解释一下,根据陶瓷基板的3维结构,可以分为平面和多层,我们熟知的LTCC,HTCC就属于是多层的。而平面的有薄膜基板,厚膜基板,陶瓷覆铜基板等。AMB活性金属焊接陶瓷基板(Active Metal Brazing Ceramic Substrate)其实是我们此前介绍的DBC直接键合铜陶瓷基板(Direct Bonded CopperCeramic Substrate)技术的提升。

 

什么是AMB直接覆铜陶瓷基板?国内厂商大全

 

 

 

(一)DBCAMB工艺的区别

所谓的DBC技术,是指在在含氧的氮气中以1063左右的高温加热,氧化铝或氮化铝陶瓷表面直接焊接上一层铜箔。其基本原理是:利用了铜与氧在烧结时形成的铜氧共晶液相,润湿相互接触的两个材料表面,即铜箔表面和陶瓷表面,同时还与氧化铝反应生成CuAlO2Cu(AlO2)2等复合氧化物,充当共晶钎焊用的焊料,实现铜箔与陶瓷的牢固结合。氮化铝是一种非氧化物陶瓷,敷接铜箔的关键是使其表面形成氧化物过渡层,然后通过上述过渡层与Cu箔敷合实现AlNCu箔的敷合。

 

什么是AMB直接覆铜陶瓷基板?国内厂商大全

AMB工艺流程 图源自网络

 

AMB活性焊铜工艺是DBC工艺技术的进一步发展,它是利用钎料中含有的少量活性元素与陶瓷反应生成能被液态钎料润湿的反应层,从而实现陶瓷与金属接合的一种方法。先将陶瓷表面印刷活性金属焊料而后与无氧铜装夹后在真空钎焊炉中高温焊接,覆接完毕基板采用类似于PCB板的湿法刻蚀工艺在表面制作电路,最后表面镀覆制备出性能可靠的产品。

 

什么是AMB直接覆铜陶瓷基板?国内厂商大全

AMB工艺的陶瓷覆铜板结构图

 

AMB基板是靠陶瓷与活性金属焊膏在高温下进行化学反应来实现结合,因此其结合强度更高,可靠性更好。但是由于该方法成本较高、合适的焊料较少、焊料对于焊接的可靠性影响较大。

 

以上两段说明了,AMBDBC的区别,关键点是,AMB工艺中,陶瓷表面印刷了活性金属焊料,焊接界面强度高,可靠性更好。

 

DBC技术仅适用于氧化物陶瓷,例如氧化铝(Al2O3)和氧化锆掺杂氧化铝(也称为HPS)。非氧化物陶瓷必须先氧化,然后才能通过DBC技术与铜键合。氮化铝(AlN)可制成DBC或AMB基板,而氮化硅(Si3N4)仅能用作AMB基板。

 

什么是AMB直接覆铜陶瓷基板?国内厂商大全

 

(二)AMB覆铜板三种材料

 

1 AMB氧化铝基板

相对地,氧化铝板材来源广泛、成本最低,是性价比最高的AMB陶瓷基板,工艺最为成熟。但由于氧化铝陶瓷的热导率低、散热能力有限,AMB氧化铝基板多用于功率密度不高且对可靠性没有严格要求的领域。

 

 什么是AMB直接覆铜陶瓷基板?国内厂商大全

2 AMB氮化铝基氮化铝板

AMB基板具有较高的散热能力,从而更适用于一些高功率、大电流的工作环境。但是由于机械强度相对较低,氮化铝AMB覆铜基板的高低温循环冲击寿命有限,从而限制了其应用范围。氮化铝AMB基板具有较高的散热能力,从而更适用于一些高功率、大电流的工作环境。但是由于机械强度相对较低,氮化铝AMB覆铜基板的高低温循环冲击寿命有限,从而限制了其应用范围。

 

什么是AMB直接覆铜陶瓷基板?国内厂商大全

图源自网络

3 AMB氮化硅基板

氮化硅陶瓷,具有 α-Si3N4和β-Si3N4两种晶型,其中α 相为非稳定相,在高温下易转化为稳定的 β 相。高导热氮化硅陶瓷内 β 相的含量一般大于40%。凭借氮化硅陶瓷的优异特性,AMB氮化硅基板有着优异的耐高温性能、抗腐蚀性和抗氧化性。

什么是AMB直接覆铜陶瓷基板?国内厂商大全

 

 

(三)AMB氮化硅基板优势

 

1 AMB氮化硅基板具有高热导率。

一方面,AMB氮化硅基板具有较高的热导率(>90W/mK),厚铜层(达800μm)还具有较高热容量以及传热性。因此,对于对高可靠性、散热以及局部放电有要求的汽车、风力涡轮机、牵引系统和高压直流传动装置等来说,AMB氮化硅基板可谓其首选的基板材料。

另一方面,活性金属钎焊技术,可将非常厚的铜金属(厚度可达0.8mm)焊接到相对较薄的氮化硅陶瓷上。因此,载流能力较高,而且传热性也非常好。客户可自定义产品布局,这一点类似于PCB电路板。

 

2 AMB氮化硅基板具有低热膨胀系数。

氮化硅陶瓷的热膨胀系数(2.4 ppm/K)较小,与硅芯片(4 ppm/K)接近,具有良好的热匹配性。因此,AMB氮化硅基板,非常适用于裸芯片的可靠封装,封装后的组件不容易在产品的生命周期中失效。

 

(四)各种陶瓷基板工艺和材料选择的依据

 

陶瓷是一种具有化学惰性的物质,并且耐腐蚀、耐湿气和耐高温,因此比在腐蚀性环境中会降解的有机电介质更受欢迎。在设计新基板时,电气、热力和机械性能同等重要。介电强度是满足隔热要求的重要影响因素,需要根据目标应用的标准、规范和规定进行设置。热导率太低不利于芯片与周围环境的热传导。当基板承受热机械应力时,其弯曲强度和断裂韧性对延长使用寿命有重要作用。

 

什么是AMB直接覆铜陶瓷基板?国内厂商大全

三种材料的部分性能对照表

如果陶瓷基板在功率半导体器件中应用,首先要计算散热量。然后,根据芯片和环境温度,计算出所需的基板热阻。但是,铜和陶瓷的组合不一定都能达到所需的热阻。一方面,隔离电压决定了陶瓷的最小厚度。另一方面,铜与陶瓷的厚度比对可靠性有很大影响。最后,适用的标准组合将十分有限。

 

什么是AMB直接覆铜陶瓷基板?国内厂商大全

 

虽然陶瓷覆铜板工艺类型和基材都有多种组合,具体应用的时候,要结合电气,热力,机械性能,成本,可靠性,尺寸厚度综合来考虑。

 

(五)AMB陶瓷基板主要厂商

国外主要有:贺利氏、日本Ferrotec、日本DOWA、日本NGK、日本京瓷、罗杰斯;国内厂商,据艾邦陶瓷基板群统计有以下:

 

上海富乐华

比亚迪

上海铠琪

深圳芯舟

浙江德汇

无锡天杨

浙江精瓷半导体有限责任公司

江西昊光

湖南艾普德

丰鹏电子

合肥圣达

淄博宋瓷

南京中江

北京漠石科技有限公司

南通威斯派尔半导体技术有限公司

原文始发于微信公众号(艾邦陶瓷展):什么是AMB直接覆铜陶瓷基板?国内厂商大全

长按识别二维码关注公众号,点击下方菜单栏左侧“微信群”,申请加入交流群。

作者 li, meiyong

zh_CNChinese