近日，力中投资旗下力笃基金完成了对海拓创新技术（杭州）有限公司（简称“海拓创新”）的投资，布局半导体静电卡盘核心零部件赛道。本轮海拓创新融资由力中投资、超越摩尔等多家机构联合参与，助力海拓创新推进产线扩建、补充营运流动资金，加速12英寸高端静电卡盘产能释放，持续迭代离子注入、刻蚀等品类产品，推进更多头部晶圆厂的验证导入。
海拓创新作为国内静电卡盘国产化赛道的标杆企业，深耕静电卡盘领域十余年，由具备十余年行业开发经验的刘斌领衔，搭建了覆盖材料改性、陶瓷烧结、热力仿真、热复合工艺的复合型研发团队，并与浙江大学共建先进陶瓷联合研究院，构建起从“材料配方发‑多场耦合仿真‑工艺验证‑规模化制造‑翻新运维服务”的完整产业创新体系。依托聚合物分子改性、陶瓷混凝烧结、静电力学‑气液多模型仿真、异质材料热复合处理四大底层自主核心技术，实现4‑12英寸全尺寸聚合物、陶瓷静电卡盘的自研自产，攻克了氮化铝陶瓷高致密烧结、多温区温控、耐高温离子注入工况适配等一系列技术难题；产品可兼容硅晶圆与化合物晶圆，多项关键性能指标达到国内头部水平。当前海拓创新已形成离子注入、刻蚀、薄膜沉积、混合键合、量检测、显示面板六大产品矩阵，其两款离子注入静电卡盘已通过头部晶圆厂验证并获取正式订单；产品已批量导入多家头部晶圆制造及半导体装备企业，同时布局静电卡盘翻新维修业务，实现多场景商业化落地，打破海外厂商在高端离子注入静电卡盘领域的技术垄断。
未来，海拓创新将持续坚持“陶瓷+聚合物”双技术路线，持续打磨产品可靠性与批次一致性，扩大国产静电卡盘在晶圆制造产线的渗透率，推动国内静电卡盘产业从技术突破走向规模化商业落地，助力我国半导体设备核心零部件摆脱海外技术桎梏，致力于成为全球具备竞争力的静电卡盘整体解决方案供应商。
来源：力中投资
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