





静电卡盘(图由AI生成)
随着半导体及集成电路制程设备和制程工艺的发展,传统的以有机高分子材料和阳极氧化层为电介质的静电卡盘逐步被陶瓷静电卡盘逐渐替代,陶瓷静电卡盘拥有良好的导热和耐卤素等离子气氛的性能,广泛应用于半导体及集成电路核心制程制作中,在高真空等离子体或特气环境中起到对晶圆的夹持和温度控制等作用,是离子注入、刻蚀等关键制程核心零部件之一。
昆山新莱洁净应用材料股份有限公司是于2000年在江苏省昆山市成立的中外合资企业,经过20多年的发展,已于2011年在中国A股成功上市(代码:300260),主要从事高纯及超高纯应用材料与设备的研发、生产与销售,是国内为数不多覆盖泛半导体、生物医药、食品安全三大领域的高洁净应用材料制造商。

第九届精密陶瓷产业链展览会
2027年8月25-27日
深圳国际会展中心(宝安新馆)7号馆
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展出规模:2万平方米,500+产业链企业。
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汇聚产业链上下游:IGBT/SiC功率半导体产业链;精密陶瓷、半导体设备用陶瓷零部件、电子陶瓷、陶瓷基板、薄膜/厚膜陶瓷电路板、陶瓷封装管壳、MLCC、LTCC/HTCC产业链等上下游企业。

*早鸟价截止日期:2026年12月31日
展位预定:
龙小姐:18318676293(同微信)
李小姐:18823755657(同微信)
温小姐:18126443075(同微信)
韦先生:15013454621(同微信)
采集来源:新莱应材:推进子公司方新精密总投资20亿元半导体静电吸盘等核心零部件项目落地
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