7月23日,芜湖通潮精密机械股份有限公司在安徽证监局办理辅导备案登记,中信建投证券担任辅导券商。通潮精密成立于2016年3月,从事集成电路、显示面板关键设备核心材料和零部件的材料制备、研发制造以及表面处理,涵盖高纯硅件、石英件、金属件、先进陶瓷件等。2021年设立子公司晶纯科技,启动半导体刻蚀部件(高纯硅件、石英件、碳化硅件)业务。2024年设立子公司晶海热瓷、晶澄碳素,启动半导体先进陶瓷材料制备及零部件业务。2025年四川通潮、晶海热瓷投产。
薄膜沉积设备、刻蚀设备系集成电路、显示面板生产制造设备中难度较高、价值较大的设备,其部件开发具有较高的技术门槛。通潮精密自设立时起即围绕薄膜沉积设备、刻蚀设备腔体中的上、下电极等核心工艺部件持续研发,克服了不同工艺要求下不同类型材料加工处理的诸多难题,在材料制备、部件设计、材料精密加工、精密焊接以及表面处理等方面逐步构建一系列核心技术。

通潮精密是国内少数在集成电路领域实现干法刻蚀设备曲面电极、半导体设备用系列加热器自主生产的企业之一,也是国内少数能够自主制备部件级碳化硅材料的企业之一,在显示面板领域,在国内率先实现显示面板领域学气相沉积(CVD)设备、干法刻蚀(DryEtch)设备上、下电极国产化。
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