7月13日，韩国聚变能源研究院（KFE）与韩国陶瓷技术院（KICET）签署了关于“等离子体工艺用陶瓷材料·零部件的耐等离子体特性数据开发及AI基础共同研究·利用平台构建”的相互合作协议。此次合作旨在获取用于半导体、显示器制造工艺的陶瓷材料·零部件的等离子体耐久性和反应特性数据，并为其标准化和共同利用奠定合作基础。
等离子体技术是核聚变发电的核心技术，有望一举解决人类的能源问题。作为继固态、液态、气态之后的物质第四态，它是通过原子级反应精确重塑物质的高科技产业核心基础技术。
在半导体、显示器工艺中，利用等离子体进行材料的蚀刻和沉积过程反复进行。在此过程中，由于工艺设备内部的陶瓷材料·零部件长时间暴露于高能等离子体中，评估和预测材料能多稳定地保持性能的技术至关重要。
特别是陶瓷材料·零部件的耐等离子体特性与工艺稳定性、设备寿命、产品质量密切相关。因此，系统性地积累材料在等离子体环境中的反应和变化，并建立可进行客观比较和评估的数据基础评价体系的重要性日益凸显。
两机构计划在以下方面展开合作：▷获取陶瓷耐等离子体特性数据及构建基于数据的共同利用平台 ▷发掘和推进陶瓷材料·零部件共同研究项目 ▷共享研究资料·信息及共同利用研究基础设施等。
通过此合作，将推动通过韩国技术标准院的国家参考标准中心，登记等离子体工艺用陶瓷材料·零部件的耐等离子体特性国家参考标准，并利用基于AI的分析技术，将其发展为可在半导体、显示器产业现场使用的评估·分析体系。
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