近日，复旦大学与北京大学科研团队携手发力，在高速光互连Micro-LED技术领域取得重要突破，成功研发出适配光I/O场景的高性能金刚石衬底Micro-LED阵列。依托该核心技术，团队孵化成立商业化企业Nexliumen，目前公司已顺利完成1500万元种子轮融资，资金将全部用于技术迭代、产品研发与产业化落地工作。
该研究融合了长波长InGaN外延、三量子阱有源区设计、金刚石异质集成、转移印刷以及双光子微透镜制造等多项关键技术，成功开发出适用于高速光互连的高性能Micro-LED阵列。研究人员表示，相比传统玻璃衬底，金刚石衬底具备更优异的散热能力，可有效抑制器件自发热，在实现高速运行的同时提升能效表现。
同时，研究人员展示了黄色和红色的InGaN Micro-LED，通过超晶格应变工程和三周期量子阱设计进行了优化。这些Micro-LED被转印到金刚石上，并通过双光子光刻制造微透镜以优化耦合。
据研究团队相关报告显示，20微米的黄色Micro-LED在6.25 A/cm²电流密度下实现了2850.4 MHz的电-光带宽，而20微米的红色器件在50 A/cm²下达到了2593.4 MHz。在通过1米光纤链路的开关键控（OOK）调制下，20微米和40微米的黄色器件分别在25 µA（6.25 A/cm²）和50 µA（3.125 A/cm²）下实现了1.5 Gbps的速率，对应的能量效率分别为0.056 pJ/bit和0.110 pJ/bit。
据了解，随着AI眼镜和空间计算设备对高带宽、低功耗芯片互连需求不断增长，相关技术未来有望应用于下一代XR计算平台。
长按识别二维码关注公众号，点击下方菜单栏左侧“微信群”，申请加入交流群。
