压电陶瓷是一种能将电能机械进行相互转换功能性陶瓷材料,在外加电场下可产生形变和位移,具有响应速度快、定位精度高、体积小等特点。多层叠堆压电陶瓷及其致动器基于多层结构协同作用能实现相对较低的驱动电压下,输出远超传统单层压电陶瓷的位移量和驱动力可实现纳米级精密位移,是精密流量控制、点胶控制、半导体设备微位移平台及光学器件校正等系统的重要执行部件。

用于压电式喷射点胶阀的压电陶瓷- 精密流量控制- 上海隐冠半导体技术股份有限公司

压电喷射阀示意图及多层压电叠堆,图源上海隐冠

近期数家上市公司加码压电陶瓷材料布局半导体高端设备领域。锂电隔膜龙头星源材质控股收购邦瓷电子推动扩产切入半导体级多层压电堆叠产品;凌云光代理Polatis压电路线OCS光交换机并拥有自研压电致动器,关注压电式光交换赛道矩子科技自研压电陶瓷阀用于高速点胶机助力国产高端装备自主可控能力

近年来,随着半导体设备精密化、商业航天、卫星激光通信、AI 算力光互联等高端应用的需求持续释放,压电陶瓷正迎来新一轮国产化机遇。本文将盘点国内多层叠堆压电陶瓷相关厂商,资料来源于公开网络,如有疏漏或不准确之处,欢迎指正;更多企业也欢迎在评论区补充。

01 深圳振华富电子有限公司

深圳振华富电子有限公司成立于2001年,是中国振华电子集团有限公司旗下中国振华(集团)科技股份有限公司的全资子公司,隶属于中央企业中国电子信息产业集团有限公司主要生产磁性元件、微波元件、压电元件、传感器、电子模块、功能组件等现已成为国内片式元器件领域领先企业。

振华富叠层压电驱动器利用LTCC工艺技术平台,自主开发耐高温无机粘接技术,整体通过陶瓷封装,实现刚性连接,具有较好的可靠性和一致性,目前已开发出不同规格尺寸的叠层压电驱动器,满足各种精密控制应用场景需求。同时振华富还具备叠层压电驱动器的定制化开发配套能力,能够满足用户的各种特殊需求。

产品特点

  • 纳米级分辨率

  • 微秒级响应速度

  • 无电磁干扰

  •  刚性粘接

  • 温度范围:-55-125℃

  • 单位体积出力大

应用领域

  • 自适应光学系统(变形镜、快反镜、偏摆镜等)

  • 精密点胶(点胶阀)

  • 精密机械控制(位移台、平移台、医疗机械手、微型机器人等)

  • 精密扫描定位(显微扫描台、原子力显微镜等

02 哈尔滨芯明天科技有限公司

官网https://www.coremorrow.com/cn

芯明天成立于2007年,是专注于压电纳米运动与控制系统的研发、生产和销售的高新技术企业,提供基于压电陶瓷微位移技术的纳米精度及纳弧度精度的运动控制产品、功率放大器及电容/电感传感器产品,同时提供相关解决方案,是中国压电纳米定位行业开发、创新、开拓的先锋。

产品主要应用于半导体技术、光电子、通信与集成光学、光学仪器设备、医疗生物显微设备、精密加工设备、航空航天等领域。拥有低压共烧叠堆压电陶瓷方形低压压电叠堆陶瓷方形压电陶瓷堆栈柱形高压压电叠堆陶瓷圆柱形紧凑型压电陶瓷堆栈带保险型压电陶瓷堆栈方形开孔压电陶瓷叠堆高温压电叠堆陶瓷系列叠堆压电陶瓷产品

03 上海隐冠半导体技术股份有限公司

官网https://www.ygbdt.com/

隐冠半导体(YiNGUAN)成立于2019年,是一家专注半导体装备及高端装备精密运动系统及核心零部件研发与生产的高科技创新型企业,公司正在冲刺科创板IPO上海隐冠拥有从粉料到成品全流通贯通,从压电陶瓷材料到压电陶瓷电机再到纳米精度压电运动台全产品链研发与批量生产能力。主要有精密运动台、特种电机、压电产品、关键零部件四大产品线

上海隐冠多层叠堆压电陶瓷产品有低压重载叠堆型、高压重载叠堆型、剪切型压电陶瓷叠堆、环形压电陶瓷叠堆致动器、圆形压电陶瓷叠堆致动器、方形带孔压电陶瓷叠堆致动器、方形压电陶瓷叠堆致动器

04 邦瓷电子科技(盐城)有限责任公司

官网https://www.bc-piezo.com/

邦瓷电子科技(盐城)有限责任公司和景德镇邦瓷电子科技有限公司,简称为 (邦瓷科技),成立于2018年,是一家专门从事高性能压电陶瓷及器件研发、生产、销售、服务于一体的有限责任公司,该压电材料及器件主要用于医疗、电子、航天、兵器等高技术领域作为振动元件或者微位移控制。

邦瓷科技是国内少数同时实现单多层压电陶瓷规模化生产的高科技公司,其生产的压电陶瓷、多层叠堆等产品已在3C电子、半导体装备、新能源、航空航天和医疗器械等行业广泛应用。应用案例包括压电点胶阀、精密位移平台、压电快反镜、压电喷油嘴、涂布机、超声波清洗机等。邦瓷多层叠堆压电陶瓷产品方形圆形环形方形环氧涂覆压电叠堆

05 广东奥迪威传感科技股份有限公司

官网https://www.audiowell.net/

广东奥迪威传感科技股份有限公司成立于1999 年,总部位于广州,2022北交所上市、正在冲刺港股。奥迪威是传感器龙头企业,业务聚焦四大解决方案:智能家居、智能汽车、智能终端、智能制造。主要产品为测距传感器、流量传感器、压触传感器及执行器、雾化换能器及模组、报警发声器等。2023年推出压电叠堆产品采用多层热压粘接共烧工艺,应用于压电点胶阀

06 黑龙江迪米电淘科技有限公司

官网https://dm-pzt.cn/

黑龙江迪米电陶科技有限公司成立于2017年,总部位于哈尔滨专业从事微动与宏动类产品的研发和制造,产品覆盖科研,教学、工业等众多领域。公司主要生产经营:叠堆压电陶瓷、1-100+路压电陶瓷驱动电源、1-1500+压电陶瓷控制器、高频压电陶瓷驱动电源、大功率压电陶瓷驱动电源、高精度压电偏摆镜、微纳米压电位移平台、高速点胶阀、六自由度并联机器人、超声骨刀、纳米直线马达、压电陶瓷电机等。

拥有方形、圆形压电陶瓷叠堆,采用一体共烧技术内部电极压电陶瓷烧结在一起形成整体压电陶瓷

07 贵州万合精密电子有限公司

官网https://www.wanhejingmi.cn/

贵州万合精密电子有限公司成立于2023年,位于贵阳市经济开发区,是一家专注于多层压电陶瓷及其器件的企业。万合精密拥有国内第一条全自动叠层压电陶瓷生产线,具备从低温共烧压电陶瓷粉体到器件全生态自主知识产权、研发和生产能力,是国内多层共烧压电陶瓷的开创者和领跑者。

堆栈式压电陶瓷执行器

公司主营的压电陶瓷产品包含(但不限于)叠层压电陶瓷执行器、高温压电陶瓷单片和压电换能片。其中,叠层压电陶瓷执行器被广泛应用于半导体光学制造、工业母机、航天航空和电子显微成像等高精尖设备的定位、驱动和减震等关键零部件。产品在低温共烧、超大尺寸一体化共烧成形和高电热疲劳寿命等方面的巨大优势,与国内知名企业、高校科研单位合作探索叠层压电陶瓷在高清摄像头、低空飞行器、新能源汽车等诸多消费级产品的应用与开发。公司致力于实现压电执行器从目前90%依赖进口到全自主生产再到主动出口的三级跳跃,成为世界领先的压电陶瓷专家。

共烧型压电陶瓷执行器

08 广东德瓷技术有限公司

官网https://dc-piezo.com/

广东德瓷技术有限公司成立于2021 年,总部位于深圳,2024 年设立德瓷半导体(深圳)有限公司,向半导体器件领域拓展。公司耕压电陶瓷技术专注于高性能压电材料及器件的研发制造,构建从核心材料创新到智能系统集成的全价值链服务体系。以材料科学为根基,以精密驱动技术为纽带,为半导体、医疗健康、航空航天等战略产业提供高可靠性解决方案。

公司形成覆盖压电材料、基础元件、功能模块、系统组件的立体化产品生态。材料层:涵盖高机电耦合系数压电陶瓷、低介电损耗叠堆陶瓷等特种材料;精密器件层:纳米精度位移台实现0.1nm级运动控制,压电直线电机突破毫米级微型驱动极限,多层压电陶瓷驱动器输出效率提升40%;系统应用层:开发激光武器快反镜控制系统、卫星主动减振平台、超声探伤传感网络等定制化解决方案。

广东德瓷拥有方形方形、圆形、环形叠堆压电陶瓷多层叠堆压电剪切片闭环多层叠堆压电陶瓷共烧多层压电陶瓷等多层叠堆压电陶瓷产品

共烧多层压电陶瓷

09 苏州攀特电陶科技股份有限公司

官网https://www.pantpiezo.com/

苏州攀特电陶科技股份有限公司成立于2002年,位于江苏省昆山市,主要从事电子功能陶瓷及相关元器件的开发、生产及销售。主要产品包括蜂鸣片、换能片、超声波雾化片、触控传感器、弯曲驱动片、双晶片、传感器、叠层型致动器等,其中独石共烧一体的压电陶瓷叠层型致动器率先填补国内空白。

公司致力于成为国际知名的“多层压电陶瓷方案提供商,投入巨资自主创建了“多层压电陶瓷研发中心”,从事具有国际先进水平的电子功能陶瓷材料及元器件的开发研究拥有矩形环形外方内圆圆柱形异形压电陶瓷叠层致动器产品

10 江苏波速传感器有限公司

官网https://www.bestarsensor.com/

江苏波速传感器有限公司成立于2012 年,是汉得利(BESTAR)控股的子公司,国内领先的多层压电陶瓷及器件解决方案提供商。公司在多层压电陶瓷材料专业领域处于国内领先地位,掌握了自主知识产权的低温共烧(LTCC)技术和超高层堆叠技术,使烧结温度低于900°C,最高层数可达100层,打破了此前德国、日本在该领域的长期垄断。

产品包括单层压电陶瓷、超声传感器模组、线性马达、传统传感器、电声喇叭等多层压电陶瓷主要分为BPM 系列元件/片式,用于声学、触觉、微型驱动;和BPH 系列模组。

11 北京派和科技股份有限公司

官网http://www.phpiezo.com/

北京派和科技股份有限公司,成立于2014年,注册地为北京清华大学,是中国压电材料高端应用供应商主营产品高性能压电陶瓷材料压电点胶封装系统、微纳米压电微驱动系列产品、100Hz Mini LED巨量转移系统皮升级压电打印系列产品、超声焊接换能器、超声薄膜喷涂系列产品、压电模组(光学、声学、散热)等。

其多层压电陶瓷用于自用配套点胶阀、微动台、喷墨头等整机产品高速压电点胶封装系统及其装备,成功替代进口,已大量用于苹果Airpods蓝牙耳机、BOSS蓝牙智能眼镜、华为FreeBuds Pro无线耳机、华为手机P40、iPhone 12镜头模组等封装工艺。派和科技利用叠层压电陶瓷技术发展芯片散热模组技术,解决手机、VR、AR等移动端,笔电,超算、5G等场景散热问题。

12 淄博宇海电子陶瓷有限公司

官网https://www.yuhaidianzi.cn/

淄博宇海电子陶瓷有限公司始建于1966年前身国营淄博无线电瓷件厂,位于淄博市博山开发区,是生产压电陶瓷元件的专业厂家,是中国电子元件行业协会创始会员、山东省先进陶瓷创新创业共同体理事单位。

多层压电陶瓷叠堆点胶阀

主导产品压电陶瓷元器件与传感器,生产能力达350万件/年,经过60年的压电陶瓷专有技术沉淀,拥有30余个功能材料配方、上千个品种的产品体系能够满足用户的差异化需求,在国内压电陶瓷领域居于技术领先地位。

13 东莞西喆电子有限公司

官网http://www.xzpzt.com/

东莞市西喆电子有限公司始创于2008年,是全国较早生产压电陶瓷片及元器件的专业厂家,拥有压电陶瓷及器件的专用设备20多台(套),月产压电陶瓷晶片30万片、超声波换能器等各类产品5万件。产品多用于高频率器件、大功率超声焊接、清洗、打孔、高灵敏度、超声探伤、测距、油井测量、流量计、水声声纳、医疗B超、美容仪器、微型驱动等众多领域

多层压电陶瓷包括方形方形带中圆形环形多层压电陶瓷叠堆

14 四川湃卓新材料有限公司

官网http://www.pzpiezo.com.cn/

四川湃卓新材料有限公司(简称湃卓压电,英文简称Pizo Piezo),是一家专注于压电陶瓷产品、纳米级精密定位产品研发与生产的科技型企业。

拥有从压电陶瓷粉体配方研究到压电陶瓷器件的多链条覆盖,产品主要包括:压电陶瓷驱动器、压电陶瓷叠堆、压电弯曲片、开/闭环封装压电陶瓷驱动器、开/闭环平行预紧压电陶瓷驱动器、快反镜、压电陶瓷驱动电源、压电陶瓷控制器等。目前,公司产品已广泛应用于光学、微流体控制、纳米定位、点胶阀、工业仪器仪表等领域。

压电陶瓷叠堆

方形压电陶瓷驱动器

  • 主要特点:高循环寿命(>109次)、高动态响应(亚毫秒级)、高精度(亚纳米级)、高居里温度(300℃)、驱动电压:-20~﹢120V。

  • 主要应用领域:半导体设备、光学、科学研究等。

15 成都汇通西电电子有限公司

官网https://www.htw-sensor.com/

成都汇通西电公司前身国营 715 厂成立于2007年,位于成都高新西区,致力于压电陶瓷和超声波传感器的研发生产拥有从基础材料到模块级应用产品的全套研发、生产体系。

压电致动器

公司产品包括PZT压电陶瓷器件及各种超声波传感器,包括压电致动器(即多层叠堆)、压电晶片、高频聚焦换能器、MFC 驱动器、表面声波屏陶瓷基片、触屏反馈执行器、其他压电陶瓷定制。主要应用于汽车电子、消费电子、智能家居、办公设备、医疗、精密控制、流量检测、移动机器人及国防军工领域等。

16 锐云威科技(上海)有限公司

官网https://raiven.cn/sy

锐云威科技成立于2023年,位于上海张江科学城,是一家专注于先进测控的科技创新型企业,拥有15+年测控软硬件、精密运动控制、压电陶瓷与压电台经验,覆盖研发到量产全链路。公司面向泛半导体、商业航天核心零部件领域,针对微纳米级测控应用,提供高端驱动控制、先进陶瓷及精密执行器等系列产品。

拥有自主可控全链条压电陶瓷工艺自主掌握压电陶瓷材料配方、堆栈型与一体共烧型叠堆工艺,从材料设计→粉体制备→流延成型→内电极印刷→叠层烧结→极化封装→性能测试全链条。

RM-G系列共烧型压电叠堆由陶瓷的一体化烧成,摒弃胶水层,实现更高的刚度及更多循环的服役寿命。适用极端真空、宽温域及高湿等严苛环境,无需额外的封装。

产品特点

  • 亚纳米级分辨率

  • 微秒级响应时间

  • 长交流寿命

  • 高刚度

  • 超高真空兼容

17 哈尔滨溶智纳芯科技有限公司

官网http://www.rznxkj.cn/

哈尔滨溶智纳芯科技有限公司成立于2009 年,总部位于哈尔滨,公司技术力量雄厚,专业技术人员占人员总数的比例超过百分之九十,且拥有丰富的相关工作经验。主要生产经营:叠堆压电陶瓷、1-20+路压电陶瓷驱动电源、1-20+压电陶瓷控制器、高频压电陶瓷驱动电源、大功率压电陶瓷驱动电源、高精度压电偏摆镜、微纳米压电位移平台、高速点胶阀、六自由度并联机器人、超生骨刀等。

多层叠堆压电陶瓷产品主要有方形圆形十字形、带应变片的叠堆压电陶瓷,以及开环和闭环工作的选项等。

18 武汉云智达科技有限公司

官网http://www.yunzhid.com/index.php

武汉云智达科技有限公司成立于2020 年,总部位于武汉是一家致力于高性能压电陶瓷及器件研发、生产、销售、服务于一体的高科技企业,主要产品包括:压电陶瓷元件,叠堆压电陶瓷、压电陶瓷促动器,高精度压电偏摆镜、微纳米压电位移平台、 压电陶瓷驱动电源、六自由度并联机器人等。压电叠堆产品包括方形中空、圆形方形环形叠堆压电陶瓷

19 辽宁研生科技有限公司

官网https://www.eansun.com/index

辽宁研生科技有限公司专业从事压电陶瓷纳米定位系列产品的研发、生产和销售。公司产品涵盖:叠堆压电陶瓷、压电促动器、压电纳米定位台、压电纳米扫描台、压电平移台、压电升降台、压电偏摆台、压电旋转台、压电偏摆镜、压电物镜定位器、压电显微扫描台、压电千分尺、机床微进给压电平台、6轴并联纳米定位系统、压电陶瓷驱动/控制器、微位移传感器、高精度微位移测量系统及各类特殊应用定制压电陶瓷纳米台。

20 咏业科技(Unictron)

官网https://www.unictron.com/?lang=zh-hant

咏业科技Unictron Technologies Corporation (UTC) 于1988年成立于台湾台北,是一家专业的电子零组件供应商,主要产品包含无线通讯产业中所需的天线和天线模组,以及日常与工业用品所需的压电陶瓷。其压电陶瓷工程团队累积了超过30年的经验,元件被广泛运用于各种应用中,例如汽车倒车雷达,织机致动器,超声波雾化器,超声波感应器以及各种超声波转换器。

咏业科技(Unictron) 提供多元化的压电陶瓷元件与致动器解决方案,可以根据客户的特定应用需求提供客制化设计。产品包括分立式方形压电堆叠致动器和共烧压电陶瓷致动器

21 深圳市维度科技股份有限公司

官网https://www.dimension-tech.com/

维度科技成立于2007,是一家专业从事光电测试仪器的研发、生产和销售的高新技术企业,核心业务聚焦于光通信测试仪器及光通信测试装备。公司光通信测试仪器涵盖光纤端面物理特性测试系列仪器、光学传输性能测试系列仪器、电信号性能测试系列仪器,并在此基础上提供光通信测试装备,形成了完善的光通信测试产品矩阵。公司产品的应用场景光通信全产业链覆盖光器件、光模块、交换机、AI算力中心和数据中心等

压电系列拥有压电陶瓷芯片压电陶瓷堆叠压电螺钉压电镜架压电螺钉位移压电螺钉控制器产品

方形压电陶瓷堆叠

Dimension-labs的压电陶瓷堆栈由多个压电陶瓷芯片面对面堆叠组成,并使用粘合剂粘合起来。因此这些压电陶瓷堆叠拥有明显大于单个压电陶瓷芯片的自由行程,同时能保持亚毫秒级的响应时间和较低的驱动电压范围。

特性:

  • 每个堆叠含多个压电陶瓷芯片;

  • 亚纳米分辨率;

  • 大运动行程;

  • 适用于高真空环境;

  • 超长使用寿命;

  • 最高工作温度为130 °C;

22 南京晶萃光学科技有限公司

官网https://www.jcoptix.com/index

南京晶萃光学科技有限公司(简称“晶萃光学”,JCOPTIX)依托南京大学液晶与光子技术研究中心成立,是一家从事先进光学技术与产品研发、生产和销售的国家高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业。晶萃光学致力于打造中国光学人自己的产品平台,提供液晶光子学元件、精密光学元件、光机械件、光纤组件、运动控制器件等产品和系统解决方案。晶萃光学JCOPTIX提供多种尺寸标准方形压电陶瓷堆栈

23 斐墨尔(上海)光电科技有限公司

官网http://www.fullmorebuy.com/

斐墨尔(上海)光电科技有限公司自2018年成立,核心生产技术团队均来自国外知名光电领域企业。主营产品光学元件与光学系统、 压电运动控制整机、控制器与驱动、自动化芯片对准 / 自动点胶系统、压电陶瓷元件等。拥有方形压电陶瓷环形压电陶瓷柱形压电陶瓷促动器以及堆叠压电促动器压电产品

24 步研纳米位移技术(上海)有限公司

官网http://by-nm.com/

步研纳米位移技术(上海)有限公司在纳米定位及运动控制技术方面拥有近20年的产品研发技术经验团队,并具有完全的自主知识产权。产品涵盖叠堆压电陶瓷、机械封装型压电促动器、压电纳米定位台、压电纳米扫描台、压电平移台、压电偏摆台、压电Tip/Tilt平台、压电光束偏转镜、压电旋转台、压电升降台、压电显微镜样品扫描台、压电物镜聚焦定位器、压电陶瓷驱动/控制器、机床微进给压电平台、超精密加工压电平台、多自由度并联机构、压电微调千分尺、高精度微位移测量系统等系列产品。

共烧压电陶瓷叠堆

文章整理自奥迪威、东莞西喆、南京瀚洲、Piezodirect等各大公司官网,侵删,更多企业欢迎补充

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作者 ab, 808