苏大孵化创业领军企业｜硕瓷精密科技聚焦静电卡盘与碳化硅陶瓷部件多维度检测

硕瓷精密坐落于苏州大学创新生态港，是苏大“双高协同”重点孵化企业，获评2026高新区第一批创业领军人才、江苏省创业优秀企业，专注半导体静电卡盘、碳化硅特种陶瓷构件全链路国产化攻关。

企业承袭六十余年三代光学顶尖工艺积淀，核心团队曾受光学加工泰斗多年技术指导，把航天纳米级超精密成形与检测技术跨界应用于半导体制造；联合高校共建材料实验室，攻克氧化铝、氮化铝、碳化硅高纯粉体、钨浆导电电极等上游关键材料难题。

公司打造陶瓷精密加工-AI多场智能检测-ESC整机测试三位一体自研体系，可实现12寸静电卡盘、加热盘、碳化硅衬底承载件纳米级加工。内凹异形件面形PV≤0.2um，碳化硅件平面度RMS<10nm，制造成本仅进口厂商20%，已与多家行业龙头建立长期量产合作。

自研大行程非接触式亚微米AI智能检测装备，可完成厚度、膜层、面形、平行度、TTV，翘曲度、表面缺陷多维度检测，性能对标进口，性价比高，已批量供应头部半导体企业。

公司组建由3名全职博士领衔的研发队伍；创始人为苏大教授、航天重大项目核心研发人员，总经理具备深厚航天产业化运营经验，研发与市场分工明确；自有标准化洁净产线，规划布局20项发明专利。