8月10日消息，韩国金属加热器龙头企业MECARO Co., Ltd.宣布已完成韩国存储器半导体器件企业共同进行的氮化铝（AlN）陶瓷加热器联合开发项目，并成功获得了客户的质量认证，产品进入量产阶段。该项目自2024年4月启动，至2026年7月结束，历时约2年3个月。其核心技术在于为硅晶圆均匀加热的陶瓷盘加热装置的加热元件图案设计与密度调控技术。Mecaro通过与客户合作，开发出满足规格要求的产品，并经过客户评估流程和长期运行测试，获得了质量认证。
与传统的金属加热器相比，陶瓷加热器（AlN）可在更高温度下运行；随着半导体制造工艺向微型化和多层化发展，市场对该类产品的需求日益增长。然而，陶瓷粉末制造与成型等工艺复杂，设备投资大，被认为是进入门槛较高的领域。MECARO于2022年正式启动陶瓷加热器的开发。通过此次项目，MECARO进一步丰富了产品线，将业务拓展至陶瓷加热器领域。
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