国外氮化铝陶瓷加热器厂商名单

NGK 株式会社成立于1919年5月5日，1996年开始批量生产半导体制造装置用陶瓷，1997年开始生产带轴加热器和静电吸盘。NGK以氮化铝（AIN）陶瓷为主，发挥材料的特性，将半导体制造设备上需要使用的静电吸盘、加热器、各种零部件产品化。

NGK在半导体设备的陶瓷加热器产品全球市场拥有较高份额。陶瓷加热器采用高导热的氮化铝AIN，通过抵抗发热体整体烧结，产品具有卓越的均热性。大幅降低金属污染杂质的产生。

• 2026年4月，NGK宣布投资约700亿日元在石川县能美市建设新生产基地，生产用于承载晶圆的陶瓷功能部件（陶瓷加热器），计划于2029年10月投产，其半导体制造设备用陶瓷产能提升约20%。

官网：https://www.ngk-global.com/

住友电气工业株式会社创立于1897年4月，在伊丹制作所生产陶瓷加热器，结合其独有的高性能材料技术、工艺技术（如金属化、接合、密封）及热设计技术，提供具有优异热特性的热控制装置。这些技术被应用于半导体制造设备的加热器中，实现了卓越的温度均匀性以及快速升降温特性。

2021年1月，开发出用于半导体制造工艺中前段制程（在硅晶圆上形成电路的工序）的高精度温度分布控制系统SumiTune™，由分为6个区域的加热器（SumiTune™ Heater）以及能够对这6个区域进行高效且高精度的功率控制的控制器（SumiTune™ Controller）构成。

官网： https://sumitomoelectric.com/

京瓷株式会社成立于1959年4月1日，是全球最大的先进陶瓷生产企业之一。针对φ200/300mm 设备，工艺腔室中使用的晶片加热器利用了氮化铝的高导热性和等离子体阻抗。它的纯度高达99.9%以上，热量分布均匀。

• 2026年9月，京瓷谏早工厂将正式投产，生产半导体陶瓷零部件及封装产品。

• 京瓷计划在2031年3月的财年之前，投资6500亿日元扩大用于半导体制造设备的陶瓷零部件以及用于数据中心数据传输的光通信用陶瓷封装的产能。

官网：https://www.kyocera.com.cn

NTK CERATEC成立于1987年，总部设立于日本。该公司主要从事精密陶瓷产品的制造与销售，提供半导体及液晶用零部件、真空卡盘、静电卡盘等产品。NTK CERATEC是国际半导体设备厂关键零组件的知名供应厂。NTK CERATEC于2015年成为日本特殊陶业株式会社（Niterra）的全资子公司。在陶瓷内部配置金属电极，通过进行一体化熔结，可以制作静电卡盘和陶瓷加热器。NTK CERATEC运用各种材料技术，形成了可以应对客户需求的静电卡盘／陶瓷加热器系列。在等离子环境领域、电子线使用领域等，从开发、试做阶段，即可提供符合用途要求的产品。

官网：https://www.ceratech.co.jp/cn

MiCo Ceramics成立于2020年2月，是韩国一家半导体设备用陶瓷零部件专业生产企业，开发和生产陶瓷加热器、陶瓷静电吸盘(ESC)和陶瓷零件，是从MiCo中将半导体设备零部件事业部分离出来而成立的公司。

基于20年来积累的陶瓷材料设计、烧结技术、精密加工和键合技术，MiCo Ceramics已量产和供应CVD、PE-CVD、ALD和高温UV固化或Asher工艺设备中使用的氮化铝加热器。通过在京畿道安城和江原道江陵建立了韩国最大的量产设施以应对日益增长的氮化铝加热器需求。

• 2023年MiCo Ceramics纳入KoMiCo 从属公司

• 2025年在江陵设立第四家工厂

• 2025年设立全资子公司青岛凯盟美可科技有限公司，计划胶州新建氮化铝陶瓷加热器及陶瓷静电卡盘生产线。

官网：https://www.micoceramics.com

BOBOO HITECH成立于1994年3月，制造和销售各种材料和用途的加热器及半导体设备部件（金属加热器、陶瓷加热器、ESC、HBM阶段加热器、HBM脉冲加热器、加热套），提供半导体部件的维修和翻新服务。BOBOO HITECH不仅拥有Single Zone Heating，还具备Dual Zone Heating, 以扩大陶瓷加热器的操作温度控制范围。目前有总部工厂、江陵工厂、广州工厂3个生产工厂，并在建远三工厂，无锡设立办事处。位于龙仁市竹田洞总部生产工厂（1107m²）主要研发、生产和销售金属加热器、陶瓷加热器、ESC。

• 2026年7月BOBOO半导体关键零部件维修制造基地”项目签约西安高新区，总投资1.5亿元，分两期建设。其中，一期项目计划投资5000万元，租用约2000平方米标准厂房，开展半导体生产用静电吸盘、加热盘等部件的维修及本地化生产；二期项目计划追加投资1亿元扩大产能。

官网： http://boboohitech.co.kr/

WONIK QnC创立于1983年，是一家专门制造和供应生产半导体晶圆所使用的Quartz Ware和生产半导体及显示器所使用的Ceramic Ware的复合材料零部件专业公司。陶瓷事业部提供半导体、OLED、汽车等领域所需的精密陶瓷零部件综合解决方案。陶瓷事业部可以生产多种材料，拥有功能性陶瓷零部件(ESC,Heater,WaferTable)生产的全套工艺。

官网：https://www.wonikqnc.com/

MECARO Co.,Ltd.成立于2000年11月，是一家专业生产半导体设备用金属加热器和陶瓷加热器的公司。为配合MECARO于2021年的业务战略调整，于2022年成立了中央研究院，旨在将业务范围从原料开发拓展至功能陶瓷部件的研发。此外，还在韩国阴城设立了研发中心，以加速创新。主要研发方向是为半导体制造设备（特别是CVD工艺）开发陶瓷加热器，确保晶圆温度均匀。

官网： https://www.mecaro.com/

AMAGS TECHNOLOGY Co.,Ltd.成立于2009年，是一家专注于先进陶瓷材料及零部件制造与供应的企业。总部位于京畿道安城市，并在平泽市晋威工业园区设有生产基地，通过利用氮化铝（AlN）、氧化铝（Al2O3）、碳化硅（SiC）和氧化锆（ZrO2）等多种陶瓷材料，致力于推动尖端科技产业的发展。

研究开发半导体刻蚀用静电吸盘（ESC）、半导体CVD工艺用AlN加热器，AlN加热器材料制造与加工，烧结AlN圆盘/轴，提供维修与制造服务。

官网：https://amags.co.kr/

JUMP Technology Co.,Ltd.成立于2014年，开发了LED、LCD显示器和半导体制造设备的各种部件，生产陶瓷/聚酰亚胺静电吸盘 (ESC) 和陶瓷加热器等组件。JUMP开发的200mm氮化铝加热器具有良好的导热性、高耐用性和优异的耐腐蚀性，在各种CVD 工艺中均具有良好的晶圆温度。还提供氮化铝加热器维修服务。

官网：https://www.jumpcorp.co.kr/

TTS Co.,Ltd.成立于2000年，是一家半导体与显示热技术提供商，产品涵盖主要工艺设备的关键部件（如金属及陶瓷加热器、静电吸盘/ESC、热流体解决方案）以及精密加工零部件、先进清洗与涂层技术等。氮化铝加热器可在较宽的温度范围内（高达 800℃）保证高温下的热均匀性（<±1%）。

官网：http://www.ttsc.co.kr/

INEXMAT CO.,LTD.成立于2016年5月4日，是一家专业从事高性能陶瓷半导体设备组件制造和维修的公司，主要经营真空吸盘、静电吸盘、加热器、SiC/Y2O3喷淋头、陶瓷零件加工、研磨/抛光服务。

INEXMAT主要提供陶瓷加热器的维修服务，包括：维修已达到使用寿命的陶瓷加热器、制造新的备件、设备改造，以及针对设备改造及问题改善需求进行的形状、结构或图案改造。

官网：https://www.inexmat.com/

CoorsTek（阔斯泰）于1910 年在美国注册成立，是全球领先的先进陶瓷制造商，在全球拥有超过50 家工厂，为航空航天、汽车、化学、电子、医疗、冶金、石油天然气、半导体等众多行业提供先进陶瓷。CoorsTek开发的Cercom®氮化铝加热器确保一致的热量分配和持久可靠的性能，可提供加热盘、基座（加热盘和支撑杆粘合）、环以及定制化产品。

• 2024年8月韩国龟尾第三工厂开业投产，扩大半导体设备用陶瓷部件生产。

官网：https://www.coorstek.com

FralockHoldings, LLC（Arsenal Capital 旗下投资组合公司）成立于1967 年，是一家集设计、工程和制造于一体的企业。2021年Fralock收购了Oasis Materials、Ceramic Tech Incorporated (CTI)和StratametAdvanced Materials (SAM). 从而构建了工程陶瓷方面的新能力。Fralock的氮化铝陶瓷加热器采用创新技术制造，加热器产品提供加热盘、带钎焊支撑杆的加热盘、一体式（共烧）连接杆三种配置，以满足不同需求。

官网： https://fralock.com/

Yerico Manufacturing INC自 2002 年起在美国德克萨斯州埃尔金市开展半导体芯片制造产品的生产、翻新和维修业务。YericoManufacturing的生产设施由四大板块构成：维修与翻新、制造、清洗以及商务。Yerico可提供翻新的ALN加热器，并有能力清洗所有ALN加热器。

• 2025年9月获得德州半导体创新基金（TSIF）130万美元拨款，用于其位于埃尔金的半导体设备材料和服务工厂，包括新建一座厂房和扩建现有厂房用于扩建工厂，扩建后将新增5万平方英尺的厂房面积，将使静电吸盘(ESC)和ESC组件的月产量从1500个增加到2500个，新工厂建成后，每月将生产多达1000件半导体制造设备。

官网：https://www.yericomfg.com/

SemiXicon（又名Cerameric）总部位于硅谷，为全球半导体、光子学和医疗等行业提供精密陶瓷加工和装配解决方案。2023年3月CERAMERIC LLC 宣布收购 WERLCHEM LLC DBA SEMIXICON 的资产。WERLCHEM LLC DBA SEMIXICON 总部位于硅谷，为全球半导体、光子学和医疗等行业提供精密陶瓷加工和组装解决方案，其核心技术包括半导体晶圆处理卡盘台（如多孔陶瓷真空卡盘台、SSiC、SiSiC 针式卡盘和 ESC）以及陶瓷加热器。SemiXicon从事静电卡盘、陶瓷加热器、真空吸盘的翻新。

官网：https://www.semixicon.com/

CeramTec GmbH（赛琅泰克）是一家总部位于德国的全球领先先进技术陶瓷制造商。CeramTec在技术陶瓷领域拥有超过120年的经验，并在半导体行业积累了多年经验，结合全面的材料和工艺专业知识以及卓越的产品特性，成为半导体行业所用陶瓷部件的主要解决方案合作伙伴之一。

CeramTec提供由 Al₂O₃、AlN、SiSiC和 Si₃N₄ 制成的高性能陶瓷，广泛应用于晶圆加工、芯片制造及晶圆搬运领域。采用氮化铝（AlN）制成的陶瓷加热盘，可实现均匀的温度分布（±0.5 °C）

官网： https://www.ceramtec-industrial.com/

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