7月15日,浙江大洋生物科技集团股份有限公司(大洋生物,003017.SZ)在互动者平台上表示,参股子公司芯之纯高纯陶瓷项目已开始试生产,现有部分产品顺利送样进行客户验证。半导体设备用高纯陶瓷耗材客户验证周期普遍较长,短期尚未形成批量订单。

近年来,由于全球第三代半导体、集成电路等半导体行业保持强劲增长,碳化硅外延片、硅外延片及下游芯片、器件出货量持续创新高,外延设备的需求量及开机率持续增长,因此设备用零部件市场不断扩大。半导体设备用碳化硅零部件作为关键精密零部件,处于反应腔内,部分直接与晶圆接触,工艺难度高,对于晶圆制造、芯片制造环节至关重要。

浙江芯之纯半导体材料有限公司成立于2023 年 12 月,是一家基于半导体市场需求,专业开发高端半导体材料的企业。公司由资深材料专家领衔组成的半导体材料研发团队,专注于碳化硅涂层技术的开发和应用,主要产品为超高纯化学气相沉积法制备的石墨基碳化硅涂层及固体碳化硅材料,可广泛应用于半导体设备以及LED等外延设备的关键耗材,生产技术国内领先,产品性能达到日本、美国等世界一流的水平。为积极响应第三代半导体材料主流市场需求以及公司自身运营规划,芯之纯在建德市大洋镇下王村购置土地,建设半导体级高纯陶瓷产品项目。项目建设规划用地面积约 26702 平方米,总建筑面积19253.1 平方米,项目建成后,可达到年产63100 件套半导体级高纯陶瓷产品的生产规模。

2024年大洋生物对芯之纯进行战略投资,持有其30%股份。

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作者 ab, 808