天眼查信息显示，无锡海古德新技术有限公司近日完成E+轮融资，投资方为国投创业、无锡润宇、鋆昊资本、蒙娜丽莎，融资金额未披露。
公开资料显示，海古德是一家集高端半导体电子陶瓷及精密零部件的设计、研发、生产与销售为一体的现代化高新技术企业，核心产品包括陶瓷静电卡盘、陶瓷基板、精密陶瓷部件等。
静电卡盘是多个半导体前道核心设备中的核心零部件，目前已经成为应用最广泛的晶圆夹持工具，是等离子刻蚀、湿法刻蚀、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）等多个半导体前道核心设备中的核心零部件。目前静电卡盘由国外厂商垄断的比例超过90%，随着美日对华半导体管制不断加码，静电卡盘存在被“卡脖子”的风险。
海古德核心业务聚焦于氮化铝、氮化硅和碳化硅三大前沿材料，凭借深厚的技术底蕴与创新能力，公司成功研发出高性能氮化铝陶瓷基板、高性能氮化硅陶瓷基板、静电卡盘、加热盘、全陶瓷加热器、高纯碳化硅精密陶瓷件等一系列半导体核心封装材料和关键零部件，目前已在多家半导体设备制造企业实现批量化供应，为国内企业提供了稳定可靠的国产替代方案。
来源：天眼查，国投创业
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