3月4日，江苏先锋精密科技股份有限公司（简称：先锋精科，股票代码：688605）发布公告称，公司拟向不特定对象发行可转债募资不超过7.5亿元，用于半导体先进制程核心工艺金属器件扩建项目、半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发生产新建项目、半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目以及补充流动资金。
▲ 图源：先锋精科官方公告
半导体设备用陶瓷静电吸盘研发项目，主体为江苏先锋精密科技股份有限公司，项目总投资额为5,911.37万元，拟使用本次募集资金金额为5,200.00万元，将围绕高性能介电层陶瓷材料精密烧结、微纳电极图案化制备、异质材料高可靠连接、多区精准温控等核心技术难点，开展全链条技术攻关与产品研制，实现陶瓷基板孔隙率低于0.01%（4N及以上）的精密烧结工艺、高精度图案化设计以均匀分布电场，同时达到陶瓷介电层、电极层及基底层等异质材料层间在严苛热循环下的高可靠、低热阻连接，开发出超100温区的分区温控技术。
静电吸盘（ESC）作为半导体刻蚀与薄膜沉积设备中固定、控温及传导射频信号的核心部件，其技术性能直接决定先进制程工艺的精度与稳定性，属于我国半导体设备产业链中亟待突破的关键“卡脖子”环节。当前，全球半导体制造正加速向7nm及更先进制程演进，对静电吸盘的精度、可靠性及耐等离子体腐蚀性能提出了近乎苛刻的要求。
▲ 图源：先锋精科官方
江苏先锋精密科技股份有限公司成立于2008年3月20日，注册地位于江苏省靖江市经济开发区，主要从事半导体器件专用设备制造、机械零部件加工及技术进出口业务，核心产品为刻蚀设备和薄膜沉积设备的关键零部件，覆盖7nm及以下制程工艺。
文章内容来源：先锋精科官方公告
原文公告链接：
https://data.eastmoney.com/notices/detail/688605/AN202603031820231026.html
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