https://www.aibang.com/a/48710

什么是半导体陶瓷零部件?

半导体设备由腔室内和腔室外组成,陶瓷大部分用在离晶圆更近的腔室内。核心设备腔体内广泛使用的重要零部件陶瓷件是使用氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷、碳化硅陶瓷等先进陶瓷材料经精密加工后制造的半导体设备零部件。

先进陶瓷材料在强度、精度、电学性能和耐腐蚀性等方面的优异表现,能满足真空、高温等特殊环境下的半导体制造复杂性能要求。

半导体设备的先进陶瓷材料零部件主要应用于腔室内,其中部分零部件直接与晶圆接触,是集成电路制造中关键的精密零部件,可以分为圆环圆筒类、气流导向类、承重固定类、手爪垫片类、模块五大类,具体详细介绍如下:

圆环圆筒类

图 摩尔环【来源德玛克(浙江)精工科技有限公司

1.摩尔环主要应用薄膜沉积设备位于工艺腔室内与晶圆直接接触,起到增强气体导向、绝缘以及耐腐蚀的作用。

2.保护环主要应用于薄膜沉积设备刻蚀机,位于工艺腔室内,起到保护静电卡盘、陶瓷加热器等关键模组部件的作用。

3.边缘环主要应用于薄膜沉积设备刻蚀机,位于工艺腔室内,起到控制等离子体稳定不逸出的作用。

图 碳化硅聚焦环,CoorsTek

4.聚焦环主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机、离子注入设备,位于工艺腔室内,与晶圆距离<20mm起到将腔室内等离子体聚集的作用。

5.防护罩主要应用于薄膜沉积设备刻蚀机,位于工艺腔室内,起到密封并吸附工艺残留物的作用。

图源:珂玛科技

6.接地卡环主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机,位于腔室,起到固定并支撑零部件的作用。

7.内衬主要应用于刻蚀机,位于工艺腔室内,起到增强气体导向,使成膜更均匀的作用。

8.保温筒主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机、离子注入设备,位于工艺腔室内,起到提高设备控温性能的作用。

9.热电偶保护管主要应用于各类半导体前道设备,位于腔室,起到保护热电偶在相对稳定温度和理化环境下工作的作用。

(二) 气流导向类

图 刻蚀设备用喷嘴CoorsTek

1.喷嘴主要应用薄膜沉积设备、刻蚀机位于工艺腔室内,起到引导气体流向,协助工艺气体分布更均匀 且流速稳定,形成工艺环境作用

2.气流分配主要应用薄膜沉积设备、刻蚀机位于工艺腔室内,起到引导气体流向,协助工艺气体分布更均匀 且流速稳定,形成工艺环境作用

3.限制环主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机,位于工艺腔室内,起到引导气体流向,协助工艺气体分布更均匀 ,且流速稳定,形成工艺环境的作用。

4.扩散板主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机,位于工艺腔室内,起到引导气体流向,协助工艺气体分布更均匀 ,且流速稳定,形成工艺环境的作用。

5.喷嘴盖板主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机,位于工艺腔室内,起到喷嘴的安装依附部件,并可吸附工艺残留物的作用。

承重固定类

1.晶圆载台主要应用薄膜沉积设备、刻蚀机位于工艺腔室内晶圆直接接触起到承载晶圆,是静电卡盘、陶瓷加热器的重要零部件之一

2.起模顶杆主要应用氧化扩散设备、沉积设备位于工艺腔室内晶圆直接接触,起到控制晶圆在腔室内升降作用

3.轴承主要应用各类半导体前道设备位于腔室外起到连接、引导设备机械运动方向作用

4.导轨主要应用于各类半导体前道设备,位于腔室外,起到连接、引导设备机械运动方向的作用。

5.陶瓷螺杆主要应用于各类半导体前道设备,位于腔室内、腔室外,起到连接固定,替代金属零部件,起到耐腐蚀、抗氧化作用的作用

6.陶瓷帽主要应用于各类半导体前道设备,位于腔室内、腔室外,起到连接固定,替代金属零部件,起到耐腐蚀、抗氧化作用的作用。

手爪垫片类

1.机械手臂主要应用各类半导体前道设备位于腔室内、腔室外,与晶圆直接接触,起到晶圆在腔室内外传送作用

2.绝缘件主要应用各类半导体前道设备位于腔室内、腔室外,起到防止电流导通,部分亦发挥绝热功能作用

3.散热片主要应用各类半导体前道设备位于工艺腔室内,起到设备零部件冷却作用

模块

▲ 陶瓷真空吸盘(来源:韶阳科技股份有限公司

1.真空吸盘主要应用刻蚀设备位于工艺腔室内晶圆直接接触吸盘通过真空抽气吸引晶圆并保持其平整度,同时通过水路管道控温,使工艺反应效果更优作用

▲ 图源:广东精瓷

 

2.陶瓷加热器主要应用薄膜沉积设备、激光退火设备位于工艺腔室内晶圆直接接触起到承载并使晶圆获得稳定、均匀的工艺温度及成膜条件作用

▲静电卡盘【来源:国机金刚石(河南)有限公司】

3.静电卡盘主要应用刻蚀设备、部分薄膜沉积设备位于工艺腔室内晶圆直接接触起到静电吸附晶圆,使完成刻蚀、沉积等工艺反应作用。

4.超高纯碳化硅套件主要应用氧化扩散设备位于工艺腔室内与晶圆部分直接接触为晶圆摆放提供支架和均匀热源,在1,000℃以上高温环境下保持机械强度

文章内容参考:珂玛科技招股说明书

艾邦建有半导体陶瓷产业交流群,欢迎产业链上下游的企业进入:
图片
推荐活动2025年8月26-28日,第七届精密陶瓷暨功率半导体产业链展览会将于深圳举办!

第七届精密陶瓷暨功率半导体产业链展览会

同期举办:热管理产业链展

2025年8月26日-28日  

深圳国际会展中心7号馆(宝安新馆)

展出2万平米、1,000个摊位、500多家展商、50,000名专业观众;汇聚IGBT/SiC功率半导体产业链;热管理材料产业链,精密陶瓷、电子陶瓷、陶瓷基板、薄膜/厚膜陶瓷电路板、陶瓷封装管壳、LTCC/HTCC/MLCC加工产业链等产业链上下游企业!

2025年第七届部分展商名录

展位号

公司名

主营

7A92

山西鸿煷机械设备股份有限公司

冷等静压机和温等静压机、干袋式等静压机等

7A108

湖州特思福电子科技有限公司

类半导体陶瓷平面DI直描机 - DBC AMB HTCC等陶瓷产品直接图形曝光成像设备

7A187

广东汇京智能装备有限公司

纳米砂磨机、高速分散机&分散罐、研磨介质

7A188

东莞市康柏工业陶瓷有限公司

氧化锆/氧化铝/碳化硅/氮化硅等先进结构陶瓷专业实体生产商

7B23

国机金刚石(河南)有限公司

混料装备,成型烧结装备,SPS烧结装备,磁性物检测装备

7B26

东莞市银锐精密机械有限公司

脆性材料切割、裂片设备

7B45

军瓷电子材料河北有限公司

高纯氮化铝粉、球形氮化铝粉以及氮化铝陶瓷制品、氮化铝陶瓷基板

7B46

古河电工(深圳)商贸有限公司

无氧铜板

7B47

泰灵思科技(深圳)有限公司

材料、器件的高频电参数测试系统

7B48

深圳市艾明博电子科技有限公司

AMB覆铜板

7B49

山东明辉特种陶瓷有限公司

氮化硅陶瓷

7B67

合肥圣达电子科技实业有限公司

陶瓷基板、HTCC、封装

7B68

江苏微艾诺半导体有限公司

电子烟陶瓷雾化芯真空钎焊炉

7E01

苏州科斗精密机械有限公司

玻璃基板和晶圆激光切割机、CCD对位吸贴机、辅料检测剔料补料一体机、视觉检测机、模切机等非标自动化设备

7E05

合肥韬普斯半导体科技有限公司

真空烧结,焊接设备

7C01

广东恒锦智能装备有限公司

厚膜印刷机,丝印机,移印机等

7C03

合肥申为装备有限公司

网带炉、箱式炉、钟罩炉、辊道炉、推板炉等工业电窑炉

7C05

肇庆市宏华电子科技有限公司

薄膜流延机、薄膜丝印机、薄膜叠层机、等静压机、切割机、封端机、外观检测机、测试机、编带机等

7C10

广东鑫信智能装备有限公司

5G滤波陶瓷模具,粉末冶金模具,粉末成型压机

7C12

上海住荣科技有限公司

机械冲孔机、激光打孔机、丝网印刷机、叠片机、温水等静压机、生瓷片热切机、划片机、X-ray

7C15

长沙建宇网印机电设备有限公司

厚膜印刷机、平面厚膜印刷机、圆管厚膜印刷机、CCD自动对位厚膜印刷机

7C20

常州普雷特印刷科技有限公司

NorCote感光胶、刮胶、太阳能刮胶、毛细水菲林

7C25

深圳市飞仕达机械设备有限公司

水平线设备

7C28

深圳市和兴盛光电有限公司

膜厚仪、AOI视觉检测

7C35

潍坊卓宇新材料科技有限公司

氮化硼、氮化硼制品、氮化硼陶瓷、氮化硼绝缘件、耐高温绝缘件

7C40

昆山凯科电子机械设备有限公司

多层陶瓷整套方案,包含整套设备,材料,工艺,辅材PET,丝印浆料等,流延机,裁片机,冲孔机打孔机,印刷机填孔机卷对卷印刷机,叠片机,印刷-叠片一体机,热压机,温水等静压机,切割机热切机等

7C45

合肥泰络电子装备有限公司

网带炉、钟罩炉、箱式炉、推板炉、辊道炉及配套自动化设备

7C45

合肥智热装备有限公司

钟罩炉、高温气氛箱式炉、真空气氛罐式炉、中温洁净箱式炉、热风箱式炉、热风排胶炉、废气净化炉

7C50

嘉兴佳利电子有限公司

LTCC / HTCC/微波介质陶瓷元件及卫星导航组件

7C55

迈博瑞新材料(嘉兴)有限公司

滤芯

7C60

诺泽流体科技(上海) 有限公司

超高压微射流均质机

7C61

综研化学(苏州)有限公司

高分子产品/聚丙烯酸脂类涂剂 ;功能性有机粉体/聚丙烯酸脂类超微粉体

7C62

上海晶隆科技有限公司

PI+1.5u网版+激光网版+超薄0.5u感光胶网版+750网框

7C70

合肥费舍罗热工装备有限公司

实验炉、排胶炉,烧结炉、箱式炉、钟罩炉、网带炉、排蜡玻化炉,熔封炉、干燥炉、烧银炉、隧道炉等

7C70

山东宏瑞耐火材料科技有限公司

承烧板、推板、匣钵

7C75

上海煊廷丝印设备有限公司

AMB陶瓷基板印刷机,全自动LTCC印刷机,MLCC印刷机,厚膜印刷机,精密填孔/挂壁印刷机

7C82

株洲艾森达新材料科技有限公司

氮化铝粉体、氮化硅基板、氮化铝基板、结构件等

7C85

深圳市宇斯特电子有限公司

厚膜陶瓷电路

7C88

武汉宇昌激光科技有限公司

陶瓷激光切割打孔划线一体机

7C90

浙江矽瓷科技有限公司

介质陶瓷材料、生瓷带及配套浆料

7C91

深圳市鑫腾辉数控设备有限公司

精雕机

7C100

宁夏北瓷新材料科技有限公司

氮化铝粉体、基板、结构件、HTCC

7C105

昆山市广程机械设备有限公司

显影真空蚀刻退膜机,钎焊料蚀刻机,喷砂机,研磨机,清洗机等

7C105

广东首镭激光科技有限公司

精密陶瓷激光切割打孔设备、二氧化碳陶瓷切割机、MLCC/HTCC/LTCC纳秒/皮秒激光打孔切割机、光纤陶瓷切割机等产品

7C109

山东晶亿新材料有限公司

氮化硼粉体陶瓷

7C112

西安鑫乙电子科技有限公司

流延机及其配套辅助设备

7C115

广东汇成真空科技股份有限公司

PVD真空镀膜设备

7C120

东莞市华创兴智能设备有限公司

线路板设备及零件配件水平电路板设备

7C120

深圳市三力创自动化设备有限公司

电镀设备

7C130

上海晨华科技股份有限公司

真空热压烧结炉、真空双向加压热压炉、排胶炉,真空气压烧结炉,真空无压烧结炉等

7C130

天津中环电炉股份有限公司

模型机——钎焊炉;可视化高温形变分析仪;超快高温烧结炉;旋转式真空气氛管式炉;真空气氛箱式电炉;节能箱式电炉;真空气氛管式电炉

7C135

桂林华瓷电子科技有限公司

陶瓷电路板的研发与批量制造

7C140

嘉兴微知电子有限公司

丝网印刷机、厚膜印刷机

7C142

苏州纯尔净化科技有限公司

滤芯

7C145

深圳市罡峰磨具有限公司

陶瓷砂轮和继维增强高速树脂切片、研磨片,金属磨头,陶瓷磨刀石

7C148

长沙嘉热氢能源科技有限公司

陶瓷基板、SOFC固态电池片

7C150

广州盛立新材料有限公司

纳米镍粉,纳米铜粉

7C152

中铝洛阳铜加工有限公司

铜及铜合金材料

7C156

苏州茜恩特种陶瓷有限公司

氧化铝,氧化锆陶瓷

7C160

深圳市金岷江智能装备有限公司

流延机

7C165

高富瓷芯(浙江)新材料有限公司东莞分公司

各类陶瓷铣刀、陶瓷结构件、陶瓷氮化硅微珠

7C170

广州市极志测量科技有限公司

在线视觉瑕疵检测设备、PCB快速检测设备、厚度测量仪

7C172

昆山永宏棋智能科技有限公司

流延机,裁片机,印刷机,叠层机,温水等静压机

7C173

赛默飞世尔电子技术研发(上海)有限公司

电子显微镜(扫描电镜-SEM、双束电镜-FIB、透射电镜-TEM)、X射线光电子能谱仪-XPS

7C180

辽源市正达新材料有限公司

碳毡、石墨毡、石墨软毡、碳绳、高纯碳纤维粉末、碳纤维复合硬毡、碳纤维保温热场异形件等。

7C181

太原忠睿合科技有限公司

冷等静压机,温等静压机,干袋式等静压机

7C182

河南三特炉业科技有限公司

1700℃排胶烧结一体炉,1100℃排胶预烧一体炉,1700℃钟罩陶瓷烧结炉,1700℃箱式陶瓷烧结炉

7C190

苏州精创光学仪器有限公司

超声波自动化设备/DBC自动缺陷检测设备/AMB陶瓷基板终检检测自动化设备

7C195

德中(天津)技术发展股份有限公司

陶瓷精密激光打孔划线设备、二氧化碳激光陶瓷精密切割划线设备、LTCC/HTCC激光精密钻孔设备

7C200

深圳品图视觉科技有限公司

AOI检测设备

7C202

深圳市光道激光技术有限公司

陶瓷精密激光设备

7C205

武汉西克智能科技有限公司

流延机、温等静压机、辊筒球磨机」等

7C206

上海金辉佳自动化科技有限公司

全自动过滤机

7C208

无锡美特新微电子材料有限公司

钨铜、钼铜、CMC、CPC等热沉材料

7C210

广州多浦乐电子科技股份有限公司

工业超声相控阵检测设备、自动化检测设备、超声换能器、定制化检测分析软件及其他检测配套零部件等

7C211

合肥恒力装备有限公司

HTCC高温气氛推板炉,先进陶瓷专用辊道炉,热风箱式排胶炉,先进陶瓷专用钟罩炉,真空回流焊炉,气氛网带炉,智能柔性电镀生产线,手工精密电镀通风柜

7C217

滨州奥诺新材料科技有限公司

96氧化铝陶瓷基板

7C219

上海热凡高温设备有限公司

HTCC烧结炉、钎焊炉;MLCC烧结炉、封端炉;陶瓷金属化真空烧结炉

7C220

东莞市志远高热机械科技有限公司

真空钎焊、真空烧结、真空脱脂、真空退火

7C225

浙江德龙科技有限公司

薄膜陶瓷,流延机,等静压机、冲孔机、生磁带切割机、球磨机、分切机

7C230

深圳市中星联技术有限公司

等静压、叠片机、整平机、引线键合机、平行缝焊机、共晶机

7C231

宁波仪表阀门厂

真空阀门

7C232

山东中临半导体新材料有限公司

氮化硅氮化铝粉体

7C235

东莞市晟鼎精密仪器有限公司

RTP快速退火炉、等离子去胶机、微波等离子清洗机、大气等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、真空等离子清洗机、接触角测量仪

7C236

重庆及锋科技有限公司

金属陶瓷刀粒、微孔吸盘、陶瓷复合材料烧结/氧化锆氧化铝氮化硅胚体或结构件

7D01

东莞励治研磨科技有限公司

Cmp 抛光垫

7D03

扬州锦润网带制造有限公司

金属丝网及网带

7D05

浙江正天新材料科技有限公司

氮化铝(ANI)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板

7D08

四川六方钰成电子科技有限公司

996氧化铝基板,生瓷带,钨浆

7D10

苏州锦业源自动化设备有限公司

东海高热:ALN粉体连续炉、SIN粉体大型台车炉、中大型真空高温炉(TV炉,TP炉)

7D12

河北东方泰阳电子科技有限公司

高精度流延机、高精度流延机、气氛保护烧结炉、全自动料带切片机

7D15

阿尔赛(苏州)无机材料有限公司

高端脱脂烧结一体炉,气氛烧结炉

7D20

北京宁远博纳电子科技有限责任公司

LTCC/HTCC/MLCC 机械、激光打孔机、丝网印刷机(含卷对卷)、膜厚测试仪、叠片机(含卷对卷)、等静压机、生切机、烧结炉(箱式链式)、端银机、划片机

7D22

龙进自動機械股份有限公司

被動元件晶片塗佈沾銀自動化設備及治具耗材

7D25

东莞市宏康机械有限公司

高精度伺服粉末成型机

7D28

山东大科电子科技有限公司

低介电陶瓷材料粉体及异形件、DPC陶瓷基板镀铜、陶瓷类镀膜基板

7D30

都匀双成机械设备有限公司

数控雕刻机

7D31

上海卓盛程新材料科技有限公司

BYK 助剂、ECKART金属颜料环氧树脂、固化剂、溶剂

7D32

广东西尼科技有限公司

视觉智能选别机

7D33

深圳市天准视觉技术有限公司

六面外观检测机

7D37

汕尾市索思电子封装材料有限公司

焊料,金属管壳及电镀,盖板,陶瓷底座

7D40

重庆陶燃新材料有限公司

氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、氮化铝陶瓷

7D45

武汉欧双光电科技股份有限公司

生陶瓷打孔机、熟陶瓷打孔机、陶瓷超快激光蚀刻机、激光锡球焊SBB、自动激光打标机、手套箱自动焊接机等

7D47

上海福讯电子有限公司

激光+PI复合丝网,精密微电铸模板,精密激光钢网

7D50

深圳市宇阳科技发展有限公司

MLCC(片式多层陶瓷电容器)生产线

7D51

宣城鸿海装备科技有限公司

工业窑炉

7D52

苏州微奈智能科技有限公司

卧式砂磨机、高速分散机、精密陶瓷三辊研磨机、混合脱泡机、封胶罐装机

7D53

宜兴市丰钰杰陶瓷科技有限公司

氧化铝陶瓷板,96氧化铝陶瓷基板,99氧化铝陶瓷片等

7D55

深圳市优三科技有限公司

透气纸,微粘膜,边框固定胶带等生产过程辅助材料

7D56

中山君铖陶瓷有限公司

氧化铝,氧化锆,氮化铝,氮化硅,碳化硅等特种陶瓷结构件

7D60

武汉赛斐尔激光技术有限公司

电子陶瓷激光划片机、电子陶瓷高速激光精密打孔机、玻璃激光精密切割机、紫外激光精密切割机

7D61

河北德欧机械科技有限公司

丝印网版、填孔版、光绘菲林

7D62

长沙西丽纳米研磨科技有限公司

砂磨机、智能单机、全自动化研磨产线及相关配套研磨设备

7D63

陕西中电华星窑炉设备有限公司

推板炉,网带炉,辊道炉,钟罩炉等工业窑炉

7D67

广州柏励司研磨介质有限公司

氧化锆珠、氮化硅珠、碳化钨珠

7D70

杭州银湖激光科技有限公司

玻璃激光切割设备、陶瓷激光加工设备、金刚石激光切割设备

7D95

合肥高歌先进电炉装备有限公司

实验电炉、工业电炉

7D96

深圳市栎新源科技有限公司

半导体涂胶显影设备、超声波无损检测

7D97

山西中电科电子装备有限公司

SiC化学气相沉积炉、TaC化学气相沉积炉

7D100

厦门钜瓷科技有限公司

氮化铝粉体及陶瓷制品

7D126

深圳市领创精密机械有限公司

跑台丝网印刷机

7D130

合肥中科岛晶科技有限公司

mems封装工艺

7D131

三叠纪(广东)科技有限公司

封装载板、晶圆

7D136

苏州远乔精密机械有限公司

自动化干燥设备

7D137

湖南高登电子有限公司

多层挠性板、柔性线路板、线路板压合、线路板钻孔等线路板加工

7D141-7D142

广东华迈智能装备有限公司

纳米、微米分散研磨设备及配套系统工程

7D159

凌云光技术股份有限公司

视觉检测设备激光加工设备

7D161

广东振华科技股份有限公司

真空镀膜设备

7D162

佛山市佛大华康科技有限公司

芯片封装设备、PCB导线高频焊接设备、晶圆/芯片贴装/玻璃镜面精密测量设备

7D167

日立高新技术(上海)国际贸易有限公司

TGV

7D168

苏州瑞霏光电科技有限公司

激光雷达曲面窗口的面型误差PV检测,表面粗糙度检测

展会预定:

龙小姐:18318676293(同微信)

邮箱:ab036@aibang.com

扫码添加微信,咨询展会详情

图片

温小姐:18126443075(同微信)

邮箱:ab057@aibang.com

扫码添加微信,咨询展会详情

图片

点击阅读原文,了解展会详情

长按识别二维码关注公众号,点击下方菜单栏左侧“微信群”,申请加入交流群。

作者 ab, 808

密码jyg000032