4月20日，“AI宁波”首届人工智能赋能产业大赛颁奖典礼顺利举行。沈阳产业技术研究院全资子公司盛科创投投资企业中科金瓷（宁波）新材料技术有限公司“半导体制程核心陶瓷零部件国产化项目”荣获一等奖。
中科金瓷成立于2023年4月，公司专注于晶圆静电吸盘、陶瓷加热盘等半导体制程陶瓷新材料及相关元器件的研发和产业化，具有从原材料合成与处理、粉料制作、精密成型、烧结、精密和超高精度加工及功能化处理等特种陶瓷和陶瓷基电子元器件全流程技术与制造能力。2024年10月，盛科创投联合其他社会资本完成对「中科金瓷」数千万元PreA轮增资。
陶瓷材料在强度、精度、电学性能和耐腐蚀性等方面的优异表现，能满足真空、高温等特殊环境下的半导体制造复杂性能要求，是半导体制程中多道工艺设备的重要部件。精密陶瓷零部件广泛应用于光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、CMP等多个半导体制造关键流程的核心设备中，如轴承、导轨、内衬。静电吸盘、机械搬运臂等，尤其是在设备腔体内部，发挥支撑、保护、导流等功能。在半导体设备中，精密陶瓷的价值约占16%左右。中国在半导体的设计和制造链条中起步较晚，积累相对薄弱，精密结构陶瓷受进口垄断，2015年结构陶瓷国产化率仅约为5%，2021年提高至约20%，但半导体设备用结构陶瓷零部件国产化率仍较低。
中科金瓷紧抓高端产品“国产替代”和核心技术“自主可控”的战略机遇，致力于建成为半导体制程精密陶瓷材料与部件领域的技术创新型企业。目前公司主要产品包括各类陶瓷结构件、以及晶圆静电吸盘、陶瓷加热盘等精密陶瓷零部件，广泛应用于半导体制程设备、光伏新能源等多个细分领域，目前多款国产替代产品已进入国内知名半导体设备厂验证阶段。
来源：沈阳产业技术研究院
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