2024 年 4 月 16 日，Orbray株式会社（奥比睿株式会社）宣布已成功生产出业界首款厚度为20μm、表面极其光滑的柔性氧化锆薄膜。
氧化锆陶瓷材料具有优异的耐热性、耐腐蚀性、强度、耐磨性和断裂韧性等特性。 Orbray 利用其超薄抛光技术制造柔性氧化锆薄膜，扩展了氧化锆陶瓷的潜在应用。在此过程中，Orbray 还实现了 Ra < 5 nm 的表面粗糙度，这在业内尚属首次。
这种新型材料预计将在各种应用中找到用途，例如电路板和传感器板、柔性加热器、隔热膜和隔膜。此外，柔性氧化锆薄膜的高介电常数和低介电损耗因数使其适合制造天线，支持其小型化和集成到IC卡基板中。虽然氧化锆陶瓷以其高强度而闻名，但其脆性是一个缺点，因为它在弯曲时容易破裂。然而，使用 Orbray 的超薄抛光技术对表面进行非常均匀的抛光，赋予了氧化锆薄膜柔韧性。
产品特点：
| Thickness | 20µm〜※1 |
| Surface roughness (Ra) | <5nm |
| 3-point bending strength | 1,200MPa |
| Fracture toughness | 5MPa･√m |
| Vickers' hardness | HV1,250 |
| Coefficient of linear expansion | 10.5✕10-6/K(40〜400℃) |
| Relative dielectric constant | 32(25℃, 1MHz) |
| Dielectric dissipation factor | 2.5✕10-3(25℃, 1MHｚ) |
| Heat resisting temperature | 1,200℃ |
| Thermal conductivity | 3W/m･K(20℃) |
※1 Sample ①: 15mm✕15mm✕15µm. Sample ②: 55mm✕91mm✕30µm (business card size).
来源：Orbray
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