
一、氮化硼的特点

膨胀系数相当于石英,但导热率却为石英的十倍,与不锈钢相同,高导热系数热压制品为33W/M.K,抗热震性能极好;
在机械特性方面拥有不磨蚀、润滑性佳、极易加工等优点; 在电气特性方面拥有介电强度佳、低介电常数、高频率下低损耗、可微波穿透、良好的电绝缘性等优点; 在热力特性方面拥有高热传导、高热容量、低热膨胀、抗热冲击、高温润滑性及高温安全性等优点; 在化学特性方面拥有化学安定性、抗腐蚀、抗氧化、低湿润、生物安定性及不沾性等优点。
二、氮化硼在陶瓷基板的应用
1、氮化硅/氮化铝基板的烧结坩埚

2、氮化硼隔离粉
推荐活动:【邀请函】2024年半导体陶瓷产业论坛(2024年4月12日·泉州)
The Semiconductor Ceramics Industry Forum
福建省泉州市晋江市滨江路999号
序号 | 暂定议题 | 拟邀请企业 |
1 | 半导体设备及陶瓷零部件的现状及发展趋势 | 拟邀请陶瓷零部件企业/高校研究所 |
2 | 半导体用高超精密陶瓷部件研制与应用 | 拟邀请陶瓷零部件企业/高校研究所 |
3 | 半导体引线键合用陶瓷劈刀制备技术 | 拟邀请劈刀企业/高校研究所 |
4 | 大功率电力电子器件用陶瓷封装基板的研究进展 | 拟邀请陶瓷基板企业/高校研究所 |
5 | 第三代功率半导体封装用AMB陶瓷覆铜基板 | 拟邀请AMB企业/高校研究所 |
6 | 多孔陶瓷的研究进展及在半导体领域的应用 | 拟邀请多孔陶瓷企业/高校研究所 |
7 | LTCC技术在半导体晶圆探针卡中的应用 | 拟邀请探针卡企业/高校研究所 |
8 | CVD用绝缘高导热氮化铝陶瓷加热器的研发 | 拟邀请陶瓷加热盘企业/高校研究所 |
9 | 耐等离子腐蚀的氧化钇陶瓷的开发与应用 | 拟邀请氧化钇陶瓷企业/高校研究所 |
10 | 高强度高耐磨的氮化硅陶瓷材料的开发 | 拟邀请氮化硅陶瓷企业/高校研究所 |
11 | 碳化硅陶瓷结构件在集成电路制造关键装备中的应用 | 拟邀请碳化硅陶瓷企业/高校研究所 |
12 | 半导体装备用陶瓷静电卡盘关键技术 | 拟邀请静电卡盘企业/高校研究所 |
13 | 高纯氧化铝陶瓷制备工艺及其在半导体领域的应用 | 拟邀请氧化铝陶瓷企业/高校研究所 |
14 | 真空钎焊设备在半导体领域的应用 | 拟邀请真空钎焊企业/高校研究所 |
15 | 高精度复杂形状碳化硅陶瓷制备工艺研究 | 拟邀请碳化硅陶瓷企业/高校研究所 |
16 | 半导体设备用陶瓷的成型工艺技术 | 拟邀请成型设备企业/高校研究所 |
17 | 高强度氮化硅粉体制备工艺技术及产业化 | 拟邀请氮化硅粉体企业/高校研究所 |
18 | 高性能氮化铝粉体连续式生产关键工艺技术 | 拟邀请氮化铝粉体企业/高校研究所 |
19 | 覆铜陶瓷基板的失效机理分析及可靠性设计 | 拟邀请陶瓷基板企业/高校研究所 |
20 | 特种陶瓷高温烧结工艺技术 | 拟邀请热工装备企业/高校研究所 |
21 | 半导体设备用陶瓷零部件表面处理技术 | 拟邀请表面处理/陶瓷零部件企业 |

原文始发于微信公众号(艾邦陶瓷展):氮化物陶瓷基板烧结的关键材料——氮化硼
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