【论坛预告】哈工大（深圳）：压电超声换能器系统设计方法及其在半导体领域的应用

隆志力，哈尔滨工业大学（深圳）教授，博士生导师，全国机械工程学会超声加工分会委员。长期从事功率超声、检测超声、机械振动等科研与教学工作，涉及半导体制造、精密加工等研究领域。以项目负责人主持NSFC国家基金项目2项，NSFC地方联合基金重点子项目2项，广东省与深圳市科技项目30余项；以技术骨干参加国家973基础研究项目， NSFC国家自然基金重大项目，02专项等国家芯片制造重大项目。在国内外知名期刊TIE、TIM、TASE、JSV、Sensors and Actuators, 机械工程学报等发表学术论文100余篇，授权专利10多项，出版专著1部，是多家著名期刊的审稿人。科研成果获得省科技进步一等奖等荣誉，多项超声技术实现了产业转化。

1、应用背景与研究意义

2、压电换能器建模设计与优化方法

3、压电系统控制方法

4、半导体应用案例：芯片键合、兆声波清洗、微孔加工、纳米级定位