金刚石光学窗口相关元件是一种将金刚石优异的光学性能,与其他优异的力学、热学、电学性能和化学性能相结合,通过CVD化学气相沉积等方法合成方法制备的具有不同几何结构、可在极端条件下使用的一类光学器件。
宁波晶钻 金刚石窗口
在高端光学系统设计中,窗口材料往往是最容易被忽视、却又最常触及物理极限的一环。当激光功率突破千瓦级,当飞行器速度达到数马赫,传统红外窗口材料——硒化锌、锗、蓝宝石——逐一暴露出致命短板:热导率不足导致热透镜效应、激光损伤阈值偏低引发炸裂、热膨胀系数过大造成光束畸变。而金刚石,这种自然界最坚硬的物质,正在成为极端工况下光学窗口的“唯一解”。
金刚石与传统光学窗口材料热导率对比
01 金刚石极致性能
CVD金刚石光学窗口的核心价值,在于它将三项通常相互制约的性能推向了极致:
1、极致热导率
金刚石热导率超过2200 W/(m·K),是铜的五倍、硒化锌的一百二十余倍。这意味着当高功率激光穿过窗口时,金刚石能以极快的速度将吸收的微量热量导出,从根本上抑制“热透镜”效应——这一效应恰恰是传统材料在高功率下失效的根本原因。
2、宽谱透过
CVD金刚石的透射光谱从紫外225纳米一直延伸到远红外50微米以上,覆盖了几乎所有关键激光波长和红外探测波段,是已知单一材料中最宽的光谱透过范围。在CO₂激光核心波长10.6微米处,光学级金刚石的吸收系数低于0.07 cm⁻¹,意味着极高的透过效率。适应X射线、太赫兹等多种场景。
常见不同种类的金刚石光学窗口相关元件,来源:《金刚石光学窗口相关元件的研究进展》——王伟,代兵等;
3、高耐受力
CVD金刚石在脉冲激光下的损伤阈值达到8 J/cm²,是硒化锌的近三倍、锗的近五倍。实测数据表明,高质量CVD金刚石可承受高达66 J/cm²的激光损伤峰值能量,美国通用公司曾将其用于承受200千瓦CO₂激光输出的窗口。
这些性能的叠加,使得金刚石窗口的应用场景从实验室走向了真实战场与产线。在高功率激光武器与工业加工中,金刚石窗口解决了长期困扰行业的“功率上去、镜片下来”的困局,其亚纳米的抛光精度和增透镀膜后超过99%的透过率,使万瓦级激光的稳定输出成为可能。
02 金刚石光学窗口应用领域
  • 红外窗口/整流罩
红外搜索与跟踪系统作为一种重要的雷达辅助设备,是现代武器装备的一种关键部件,主要利用打击目标的红外特性探测跟踪目标。实现红外系统的精确制导,尤其是末制导,离不开红外成像导引头。红外光学窗口/整流罩则是导引头光电系统的重要结构功能组件,通常位于机载、弹载或舰载光电搜索与跟踪系统的前方。
图片
红外窗口/整流罩有两方面的作用:1、隔离作用,与外部的恶劣大气环境与精密的光电系统隔离开,以起到保护内部光电系统的作用;2、光学成像系统的一个结构组件,与内部其他元件一起组成光学成像系统,将目标的红外线传递到内部的红外探测器,达到追踪威胁目标的目的。
CVD制备的金刚石整流罩能在不超过700℃的高温环境中保持红外透过率稳定,更凭借其超高硬度抵御各类粒子冲击,成为高速红外装置的核心部件。
  • 高能激光武器窗口
激光武器利用高功率激光束的巨大能量所产生的热效应,对打击目标进行力学破坏与热辐射破坏,进而达到定向杀伤目标的一种武器,具有快速、灵活、精确和使用成本低等特点。
其核心部件是高功率激光器,主要包括高功率气体激光器(CO2激光武器)、高能固体激光器(如YAG,钕玻璃激光器)、高功率化学激光器(如化学氧碘激光器COIL,氟氘激光器DF)等几类。这种激光器的核心是放电管、后腔反射镜、前腔窗口组成的谐振腔,后腔反射镜通常为金属制成的全反射镜,前腔窗口则是由红外介质材料组成。
5f50f37e4b290.png

高功率X射线窗口

为了发挥高能激光武器的作用,前腔窗口必须在能够保证承受MW级别能量的同时,还不会使得高能激光束的波前发生畸变。金刚石介质窗,由于热导率很大,引起温度梯度和折射率梯度变化很小,不会产生光束畸变。

  • 核聚变与高能物理领域
频率处于90~170 GHz范围及功率水平处于5~50 MW的电子回旋共振加热(Electron Cyclotron Resonance Heating,ECRH),是热核聚变能研究中等离子体的产生、加热、稳定和诊断的主要研究对象之一。
托卡马克示意图,来源:国际原子能机构
ECRH的核心是回旋管,即指一种能产生MW级毫米波的真空管。毫米波输出的介质窗口,一方面作为等离子体环面处的初级氚包裹边界,二是充当回旋管的输出窗口。
在技术条件方面需要满足极高的要求:出于安全需要,介质输出窗要能承受巨大的压力,如静态下能承受至少0.5 MPa的压力,并且它应该使用与聚变反应堆兼容的冷却液,其机械性能和毫米波性能不得因适度的中子和辐照而严重退化;第三,介质窗口的介质损耗与介电常数需要满足高功率毫米波输出的需要,因为这两个性能参数对毫米波的透过率与吸收率影响极大。
image
传统的毫米波输出窗介质材料包括BN、Si3N4、熔融Si、蓝宝石等,相较于上述介质材料,MPCVD金刚石由于其良好的力学性能、适度的介电常数、相对较低的损耗、优异的导热性能和对核辐射的不敏感性。金刚石窗口作为微波注入窗和同步辐射窗口,凭借其低介电损耗和抗辐射损伤能力,正在为人类“人造太阳”的梦想提供关键支撑。
  • 光刻系统核心组件
CVD金刚石光学窗口是传统光学材料的一种便捷替代品,也是唯一可实现商业化激光等离子体极紫外光刻的产品——它可以减少停机时间,提高晶圆加工能力,同时提高产能和成本效益。
在2013年SPIE展会上,英国元素六公司提到,其美国硅谷工厂已扩大了CVD金刚石光学窗口的规模化生产能力,该窗口产品被用作激光等离子体极端远紫外(EUV)光刻系统的核心组件。此外,元素六公司开发出业内最平面的窗口材料(在633 nm波长情况下,表面平整度PV值小于波长的1/20),以实现更小程度的波前畸变和更高的系统效率。

Coherent 高意为 EUV 光刻工具提供金刚石保护窗

03 技术及市场发展现状,相关布局企业
目前,MPCVD工艺凭借沉积膜层均匀性好、光学质量高的优势,成为制备大尺寸、高质量光学级金刚石膜的优选方案。曲面成型与超精密抛光是两大核心难题,目前主流技术分为“直接加工”与“曲面衬底直接沉积”两大类,后者凭借更高的效率与更低的成本,成为行业主流方向。目前行业已发展出接触式与非接触式两大抛光技术体系,多步骤复合抛光技术正成为兼顾效率、精度与成本的核心发展方向,推动金刚石光学元件的全领域普及。

 

合肥昆仑芯星半导体有限公司 金刚石光学窗口材料
长期以来,高端光学级金刚石窗口的市场被海外少数企业垄断,国产化率不足20%。供应商格局呈现"欧美主导、中国追赶"的态势。全球前五大厂商(ElementSix,Coherent, Diamond Materials GmbH, Morgan Advanced Materials, Applied Diamond Inc等)合计占约22%市场份额,欧洲作为最大生产地区占约31%。
国内布局企业包括:河北普莱斯曼、宁波晶钻、征世科技、沃尔德、国机金刚石、化和积电、合肥先端、西安英特斯克半导体科技有限公司、成都迪恩光电科技有限公司、屹持光电、合肥昆仑芯星半导体有限公司、上海续波光电技术有限公司、乾晟超硬材料(东莞)有限公司、唐山万士和电子有限公司、长春海洋光电有限公司、洛阳誉芯金刚石有限公司、成都新源汇博光电科技有限公司、天津多为莱博科技有限公司、中芯镭半导体、杭州智精等。
随着大功率MPCVD设备国产化和沉积速率提升,金刚石窗口的成本下降路径逐渐清晰,它正从“极端环境专用”走向“高功率通用”——这不仅是材料替代,更是一场光学系统设计范式的升级。
参考资料:
1.博盛量子、昆仑芯星、沃尔德半导体等公司官网;
2.《金刚石光学窗口相关元件的研究进展》——王伟,代兵等。
来自艾邦综合整理,侵删
艾邦建有金刚石散热材料产业交流群,长按识别二维码,添加管理员微信即可加入:
图片

长按识别二维码关注公众号,点击下方菜单栏左侧“微信群”,申请加入交流群。

作者 czy