堇青石陶瓷，英文名：Cordierite，是指主晶相为堇青石（2MgO·2Al2O3·5SiO2）的陶瓷材料，是最常见的低热膨胀陶瓷材料之一。由于具有低热膨胀性、高刚性、低密度、高化学稳定性、高热稳定性以及良好的红外辐射能力，堇青石陶瓷在高端制造领域的应用开始崭露头角，如太空反射镜、高端半导体设备用结构部件等。下面为大家介绍一下堇青石陶瓷七个创新应用领域。推荐阅读：一文了解堇青石陶瓷性能及应用

• CPO光模块定位基准配件

堇青石陶瓷用于PIC/ASIC承载底座和FA光纤阵列V槽定位器件，显著提高光信号对准精度，相较于石英和微晶玻璃，堇青石陶瓷的温稳和力学性能更加突出。

• 静电吸盘（ESC）陶瓷嵌入框

董青石与AIN或Al2O3陶瓷复合，提高高阶刻蚀机ESC电极与晶圆间距稳定性，降低热漂移60%，国外同类材料已应用于5 nm 刻蚀机的ESC产品中。

• 晶圆台基台

代替微晶玻璃，显著降低惯性矩，提升扫描速度，降低镜面漂移，国外同类产品已用于部分光刻机机台。

表 光刻机移动平台用低热膨胀材料性能对比

推荐阅读：ASML早已布局！堇青石陶瓷，高端光刻机的隐形基石

• 光栅编码器反射板

由于堇青石陶瓷的热导率是微晶玻璃热导率的3倍，经过千次循环（20-40°C）升降温后，堇青石陶瓷的零位回差明显小于微晶玻璃的零位回差，困外同类产品已应用于0.33 NA EUV 掩模台。

• EUV 反射镜和干式方镜

降低EUV反射镜面形误差，缩短镜面热松弛时间，国外同类产品已用于部分EUV机台的圆型镜组。

• 激光干涉仪参考镜

代替微晶玻璃，减重效果明显，降低镜面漂移约50%，国外同类产品已用于部分EUV机台的掩模台计量框架。

• 太空反射镜

堇青石陶瓷反射镜已应用于国际空间站（ISS）中的JEM 舱外“空间光通信终端”（SOLISS） 中，在轨热循环500次，面形RMS 由0.048λ（λ=632.8nm）仅升至 0.052λ，显著提高了信号传输的稳定性。

图 配备京瓷精密堇青石陶瓷镜的小型近地轨道安全激光通信终端“SeCRETS”

第九届精密陶瓷产业链展览会

2027年8月25-27日

深圳国际会展中心(宝安新馆)7号馆

• 展出规模：2万平方米，500+产业链企业。

• 汇聚产业链上下游：IGBT/SiC功率半导体产业链；精密陶瓷、半导体设备用陶瓷零部件、电子陶瓷、陶瓷基板、薄膜/厚膜陶瓷电路板、陶瓷封装管壳、MLCC、LTCC/HTCC产业链等上下游企业。

*早鸟价截止日期：2026年12月31日

展位预定：

龙小姐：18318676293（同微信）

李小姐：18823755657（同微信）

温小姐：18126443075（同微信）

韦先生：15013454621（同微信）

长按识别二维码关注公众号，点击下方菜单栏左侧“微信群”，申请加入交流群。