2026年9月09日,大连富乐德7nm及以下高制程精密洗净专线竣工投产仪式在大连保税区普洛斯智造产业园内隆重举行。
新项目总投资1.4亿元,项目实用面积11160㎡,打造面向7nm及以下高制程的精密洗净专线,建设高制程零部件新品及再生专属配套基地,承接全国7nm及以下等级产品精密洗净业务。项目配套生产及精密检测设备350台(套)。项目聚焦半导体痕量金属污染清洗技术与高端检测业务,服务能力覆盖ALD、PVD、CVD等设备领域,涵盖金属、陶瓷、石英等多种高制程核心零部件的洗净与再生。项目全面达产后,月产高端微控制半导体配套产品约18000件。
富乐德深耕半导体精密洗净领域二十余年,依托Ferrotec集团平台,聚焦洗净服务、关键零部件、半导体材料研发制造三大核心业务。伴随全球半导体产业向先进制程快速迭代,7nm及以下高制程对零部件洁净度、痕量金属污染控制提出严苛标准。半导体设备零部件新品洗净与再生服务,是保障设备运行性能、提升芯片制造良率的关键配套,也是国产高端半导体设备产业链建设中至关重要的一环。
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