锐奇精测：半导体精密陶瓷量检测解决方案

常州锐奇精密测量技术有限公司2017年成立，专注工业精密测量与控制解决方案,掌握测量传感器与核心算法等关键技术。现厂房面积12000㎡，员工300+人，其中技术研发90人，售后120人。

主营产品：X/β射线测厚仪、线扫X射线全检测厚仪、3D光学轮廓仪，以及X射线成像检测等工业精密量检测设备。

主要市场领域：半导体设备零部件与精密陶瓷、新能源锂电池，及各种薄膜与涂覆层等。

锐奇精测各种射线类/光学类测厚仪、3D光学轮廓仪量检测设备年产能2000台以上，年销售额人民币4亿元以上，国内市场占有率行业前三。主要产品已通过CE认证和UL认证。锐奇精测在美国、德国和韩国设有常驻销售服务团队。产品已出口欧、美、韩、印度等20多个国家和地区。

• 传感器：光谱共焦，光学干涉

• 测量平台：气浮/导轨式高精度多轴测量平台

• 检测精度：≤1-5μm（气浮/导轨）

• 测量指标：厚度/TTV/平面度/平行度/翘曲度/台阶高度/等。

• 替代三坐标，实现高效测量，节省人工，降本增效。

• 应用：衬底、聚焦环，静电卡盘，陶瓷基板等几何形貌检测。

• 传感器：线光谱、白光干涉

• 测量平台：气浮式高精度多轴测量平台

• 检测精度：0.1~0.5um

• 应用场景：静电卡盘表面凸点共面度、高度、 直径、圆度、坐标位置、 表面缺陷等全自动检测。

为新品研发、精修提供全面监控和依据。

• 全幅宽线光斑X射线源，全幅宽线阵平板探测器。

• 突破传统“Z”字形点扫摸抽检的模式，实现100%全检。

• 空间分辨率 0.4*0.4mm像素。

• 全面提升面密度一致性。

• 100%面密度全检，100%全数据追溯。

• 大幅降低品控风险。

• 测量即时反馈，实现高效闭环调节 。

• 超高精度面阵3D光谱位移传感器。

• 测量指标：内电极印刷层厚度，尺寸，以及表面形貌尺寸。

• 气浮式或直线电机高精度大理石测量平台。

• 厚度测量重复精度: 2-10nm。

• 利用RAS100传感器搭配R100X物镜可清晰分辨台阶差。

• 用于石墨表面碳化硅的涂层厚度全自动测量。

• 可自动标定功能，亚微米级精密感知。

• 四点支撑方式，零损伤检测保障。

• 检测精度：10-100nm（具体根据材料特性）。

光谱断层扫描仪

• 无损穿透式检测，内部暗伤探测。

• 2D+3D同步成像，裂纹无死角呈现。

• 超强AI学习，次品同步剔除。