江苏国创精密：锚定“卡脖子”难题，攻坚“芯”突破

近日，在江苏国创精密技术有限公司的生产区内，一派热火朝天的生产景象。金属制品精密加工车间内，高精度数控设备高速运转，一件件真空阀体、质量流量控制器核心部件完成微米级加工，这里主攻刻蚀与沉积设备的真空系统核心部件；陶瓷制品加工车间内，CVD碳化硅聚焦环生产线加紧调试，这是刻蚀工艺中等离子体聚焦的关键部件；特种电源装配区，高端射频电源依次通过老化测试与精度校准，作为等离子刻蚀的“动力心脏”整装待发。

千级洁净车间恒温恒湿，身着无尘服的技术人员紧盯屏幕核对参数。“精密加工区温度严格控制在20±2℃，一丝温度漂移都可能影响产品精度。”车间技术人员介绍，陶瓷烧结工序对环境要求更为苛刻，采用全程闭环管控，从原料入厂到成品出库全流程可追溯。目前金属精加工、特种电源装配两条产线已率先投产，陶瓷加工车间当月即可具备量产条件。

补上清江浦区新一代信息技术产业链的关键一环，是国创精密项目落地的核心价值。当前，该区半导体产业已渐成规模，上游的澳洋顺昌MiniLED外延片出货量稳居全球前三；东煦电子打破日韩垄断实现半导体胶带国产替代，在建的年产480万片12英寸再生晶圆项目，将解决国内主流尺寸晶圆深加工对进口的依赖；还有下游的全芯微项目，产品广泛应用于机器人、AI服务器、北斗卫星等场景。

然而，芯片制造从材料走到封装，近千道刻蚀、沉积、注入工艺都依赖高端设备，特别是静电卡盘、真空系统、射频电源等设备核心部件，本地此前却是一片空白，产业链在中间环节出现了“断点”。国创精密的落地，正是精准补上了这关键一环。

核心零部件的准入门槛，取决于微米级的加工精度。以静电卡盘为例，其在刻蚀机中靠静电力牢牢吸附晶圆，12英寸卡盘的平整度误差不能超过0.05微米，仅为头发丝直径的百分之一；同时还要在真空高温环境下实现精准控温，偏差几度便可能导致整批晶圆报废。这一极高的精度门槛，曾将众多国内企业挡在门外，高端市场长期被日本NGK、美国应用材料等海外厂商垄断，单片价格动辄数万元起，且采购周期长、维护成本高。当前，国内半导体核心零部件整体国产化率不足10%，自主替代迫在眉睫。

凭借成熟的技术储备，国创精密的核心产品已通过中芯国际、中微公司、京东方等行业龙头认证，并成功进入长鑫存储等国内头部大厂供应链。其中碳化硅边缘环通过晶相调控优化耐等离子体腐蚀性能，使用寿命优于韩国等同类产品，正持续对标美国一线厂商水平。除晶圆制造核心场景外，相关技术与产品还可向医疗人工关节、高端电路板等泛半导体领域延伸拓展。

这份攻坚底气，源自投资方先导科技集团三十余年的产业积淀。作为全球规模领先的稀散材料高科技企业，先导集团深耕稀散金属与半导体材料领域，构建起“底层材料—功能器件—精密零部件—成套装备”的垂直一体化产业体系，硒、碲等六大稀散金属产量稳居全球第一。集团先后承担国家“863”计划、“02专项”等重点科研项目，攻克我国材料领域多项“卡脖子”技术难题，拥有国家稀散金属工程技术研究中心等国家级创新平台，半导体板块研发团队规模超700人。

依托全产业链布局优势，国创精密实现了核心原材料自主可控，不仅摆脱了海外采购长周期制约，还能根据产品性能需求快速迭代材料配方，在成本控制、交付效率与技术更新速度上形成差异化竞争力。按照规划，国创精密将同步建设省市级重点实验室与博士后科研工作站，年研发投入占比保持5%左右，持续向先进制程领域发起攻关。

国创精密的顺利投产，离不开地方营商环境的坚实支撑。项目签约后，清江浦区即刻组建先导项目服务专班，化身“企业临时工”驻点办公。从公司注册到立项备案，从用地规划到施工许可证办理，区科技局全程跑腿帮办。针对半导体项目图审复杂、周期长的痛点，专班推行 “并联审+容缺办”，将土地摘牌与证照办理并联推进，实现“拿地即开工”，较常规流程抢出宝贵的40天工期；精准解决建设过程中水电接入、外部杆线迁移、热力管道下地等诸多难题，保障项目高效推进。项目全面建成后，预计创造就业岗位超1000个。

凭借过硬的产品性能、高效的交付周期与贴近客户需求的技术服务，国创精密正加快把实验室的技术验证转化为车间里的量产能力，将进一步深化清江浦区与全市乃至长三角地区的产业协同与分工协作，为半导体产业链供应链自主可控持续蓄力。