8月11日,成都超纯应用材料股份有限公司(简称“超纯股份”,证券代码“301717”)正式在深交所创业板挂牌上市。
成都超纯应用材料股份有限公司成立于2005年8月,是一家专注于特殊涂层工艺及其关联技术和材料的国家级专精特新重点“小巨人”企业,主要面向芯片制造、精密光学等领域,提供经材料改性、精密表面加工、精密清洗和特殊涂层工艺后的精密零部件产品及服务。主营产品覆盖了晶圆制造、封装以及硅片制造领域设备核心零部件,在刻蚀、光刻、量检测、退火和薄膜沉积设备领域取得较为突出的技术优势,并且在键合、离子注入、扩散等设备领域小批量量产或正在进行客户端验证,并为硅外延片制造设备提供关键零部件产品。公司系国内极少数 5nm 及以下制程半导体刻蚀设备核心零部件的供应商。

超纯股份本次发行拟募集资金 112,468.00 万元,用于半导体设备核心光学零部件产业化项目、半导体材料及表面处理产业化项目、眉山基地产能扩建项目、总部及研发中心建设项目和补充流动资金项目。募投项目建成投产后,“半导体设备核心光学零部件产业化项目”预计每年新增 20,000 片量检测设备及光刻设备零部件的产能,“半导体材料及表面处理产业化项目”预计每年新增 17,500 片半导体刻蚀设备零部件的产能,“眉山基地产能扩建项目”预计每年新增 10,000 片/套半导体退火、扩散、外延工艺环节设备配套零部件及精密光学零部件的产能。

半导体设备特殊涂层零部件贯穿集成电路制造产业链,从硅片外延到芯片制造前道及后道的核心设备,如刻蚀设备、薄膜沉积设备、光刻设备、量检测设备、离子注入设备等重要制程装备。这些设备的关键零部件如喷淋头、介质窗、喷嘴、内衬、刻蚀环、静电吸盘等机械类精密零部件和反射碗、反射镜、物镜等光学类精密零部件,需通过等离子喷涂、气相沉积等特殊涂层工艺涂覆一层或多层具有特殊性能(如耐等离子体腐蚀、耐化学侵蚀、耐温度冲击)的陶瓷或金属材质的特殊涂层材料,以提升其耐等离子体腐蚀、抗热冲击、低颗粒剥落性能、低微量元素污染或特定光学性能,确保设备在极端制程环境下长期稳定运行,有效支撑先进制程对良率和洁净度的严苛要求。在特殊涂层材料及陶瓷材料制备技术方向,超纯股份依托自主研发的高纯特殊涂层材料制备技术、半导体设备零部件用氧化物陶瓷制备技术等材料制备方法,提升特殊涂层零部件的基础材料工艺自主可控性。

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作者 ab, 808