8月10日消息，韩国金属加热器龙头企业MECARO Co., Ltd.宣布与韩国存储器半导体器件企业共同进行的陶瓷加热器联合开发项目已结束，并已完成客户的质量认证，产品进入量产阶段。该项目自2024年4月启动，至2026年7月结束，历时约2年3个月。其核心技术在于为硅晶圆均匀供应热能的陶瓷盘加热装置的热丝图案设计与密度调控技术。
Mecaro通过与客户合作，开发出满足规格要求的产品，并经过客户评估流程和长期运行测试，获得了质量认证。
陶瓷加热器可在比传统金属加热器更高的温度下使用，随着半导体工艺的微细化、高段化发展，其需求正在扩大。然而，陶瓷粉末制造与成型等工艺复杂，设备投资负担大，被认为是进入门槛较高的领域。Mecaro于2022年正式启动陶瓷加热器的开发。
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