国产化正当时，国内20家陶瓷加热器相关企业名单一览

河北中瓷电子科技股份有限公司（(证券代码：003031)成立于2009年8月6日，是专业从事电子陶瓷系列产品研发、生产和销售的高新技术企业，致力于成为世界一流的电子陶瓷产品供应商。

2022年中瓷电子布局精密陶瓷零部件领域，面向半导体设备零部件的需求，持续开发陶瓷材料体系，利用成熟的制造工艺平台，实现加热盘和静电卡盘等技术难度高的精密零部件研发生产，解决国产半导体设备行业的突出问题，拓展产品领域。

中瓷电子已开发了精密陶瓷零部件用氧化铝、氮化铝核心材料和配套的金属化体系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工艺平台，开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，实现了关键零部件的研发生产，已批量应用于国产半导体关键设备中。半导体设备用高精度陶瓷加热器已突破关键技术，实现产品小批量交付。

官网： https://www.sinopack.com.cn/

苏州珂玛材料科技股份有限公司

苏州珂玛材料科技股份有限公司（证券代码：301611）成立于2009年4月27日，是国内半导体设备用先进陶瓷材料零部件的头部企业。在陶瓷加热器方面，珂玛通过承担国家“02专项”之“PECVD设备用陶瓷加热盘的关键技术与产业化”项目课题以及多年研发，目前已开发6英寸、8英寸各2款陶瓷加热器产品，开发12英寸40多款陶瓷加热器产品，覆盖多种薄膜沉积设备（包括CVD、PVD、ALD设备）和激光退火设备，新款关键型号陶瓷加热器于2025年通过晶圆厂商验证，并在晶圆生产工艺过程中保持长时间稳定运行。

• 苏州先进生产基地在2025年逐步投入使用，集中搭建陶瓷加热器完整新产线，理论产能提高到接近200片/月。

• 2026年4月开工建设可转债募投项目“结构功能模块化陶瓷部件产品扩建项目”，达产后将新增静电卡盘产能2500只/年，陶瓷加热器产能600只/年。

官网：https://www.kematek.com

广东精瓷新材料有限公司

广东精瓷新材料有限公司具有多年HTCC研发及生产经验，专注于半导体用陶瓷静电卡盘ESC、精密陶瓷真空吸盘及氮化铝陶瓷发热体的研发制造。

公司具备年产2000套12寸& 8寸氧化铝&氮化铝静电卡盘，20000套300mm以上尺寸碳化硅&氧化铝真空吸盘的生产能力，并设立有ESC专用测试设备、SEM、三坐标、轮廓仪等多种测试设备的测试中心。

官网： https://ky-fcm.com/

8月26日，广东精瓷 高级副总裁 於定新将出席2026年半导体陶瓷产业论坛，并做《氮化铝陶瓷加热器的研发及其在 CVD 中的应用》主题报告分享，欢迎莅临交流，地址：深圳国际会展中心7号馆论坛区2。

中科金瓷(宁波)新材料技术有限公司

中科金瓷（宁波）新材料技术有限公司成立于2023年4月，专注于晶圆静电吸盘、陶瓷加热盘等半导体制程陶瓷新材料及相关元器件的研发和产业化。中科金瓷具有从原材料合成与处理、粉料制作、精密成型、烧结、精密和超高精度加工及功能化处理等特种陶瓷和陶瓷基电子元器件全流程技术与制造能力。

• 中科金瓷宁波半导体制程用精密陶瓷部件生产项目投资1890万元，建成后年产陶瓷盘5万件、精密零部件（包括陶瓷手臂、陶瓷柱塞、静电吸盘）13万件、陶瓷加热器2万件。

• 2024年9月中科金瓷完成A+轮融资。

• 2024年11月成立沈阳子公司，筹划产线建设。

官网：http://www.cerameta.cn/

无锡卓瓷科技有限公司

无锡卓瓷科技有限公司成立于2021年5月，是一家专注于半导体设备陶瓷材料结构件研发、生产和销售的高新技术企业。主营产品包括：陶瓷圆顶盖、陶瓷腔体盖、陶瓷环、喷嘴、机械手臂、真空吸盘、多孔陶瓷吸盘、陶瓷载盘、陶瓷加热器、静电卡盘等。

• 2025年3月6日，拟建设卓瓷科技武汉研发生产基地项目，设立华中区域子公司，生产静电卡盘、陶瓷加热器等产品，服务武汉及周边晶圆制造商。

• 2025年7月完成A+轮融资。

官网：http://www.exceratec.com/

先导科技集团——广东先导元创精密科技有限公司

先导科技集团旗下子公司广东先导元创精密科技有限公司专注于高端半导体制造核心零部件的解决方案专家。产品包括半导体喷淋头showerhead、金属加热器Metal Heater、陶瓷加热器Ceramic Heater、气体质量流量控制器MFC、腔体Chamber、静电吸盘ESC、光纤光栅仪等，产品应用于半导体刻蚀和薄膜沉积设备等核心设备。

元创精密自主研发及制备关键陶瓷原材料，覆盖陶瓷制粉 -流延烧结 - 金属化 - 底座加工 - 绑定 - 表处等全工艺流程，可提供氧化铝或氮化铝材料体系，可单独提供流延陶瓷盘定制加工服务， 精密设计加工的表面凸台，快速的吸附和脱吸附响应，宽广的应用温度范围，具备L1~L4维修能力。

官网：https://www.vitalchem.com/

芜湖通潮精密机械股份有限公司

通潮精密成立于2016年3月，从事集成电路、显示面板关键设备核心材料和零部件的材料制备、加工以及表面处理，涵盖高纯硅件、石英件、金属件、先进陶瓷件等，生产基地布局安徽芜湖、合肥及四川绵阳等地。2024年子公司晶海热瓷、晶澄碳素设立，启动半导体先进陶瓷材料制备及零部件业务。

• 合肥晶海热瓷半导体有限公司建设半导体设备核心陶瓷零部件研发制造项目，设计生产能力：陶瓷加热器 1000 套，年产陶瓷结构件14000 套。

官网：https://www.tongchaotech.com/

瑞耘科技股份有限公司

瑞耘科技股份有限公司（6532.TW）创立于1998年3月，目前已成为全球半导体厂及先进设备客户的关键零组件的共同开发及代工重要伙伴。主要零组件产品已涵盖Etch、CVD/PVD、CMP、Diffusion等制程设备之关键零组件制造如上下电极、晶圆夹持环、高真空腔体、气体扩散头、腔体保护衬套、晶圆加热器、静电吸盘等，并提供其维修及清洗服务。

• 2002年起将晶圆静电吸盘(ESC)/加热器(Heater)列为公司重点研发产品。

• 2012年在完成真空焊接及陶瓷镀膜等技术开发后，正式推出静电吸盘/加热器OEM/ODM整合服务方案。

• 2016年成功开发半导体10nm单区/双区晶圆加热器。

官网：https://www.calitech.com.tw

宁波江丰电子材料股份有限公司

宁波江丰电子材料股份有限公司创建于2005年，主要专注于超高纯金属溅射靶材和半导体精密零部件的研发、生产和销售。

江丰电子积极拓展半导体精密零部件业务，现已成为国内多家知名半导体设备公司和国际一流芯片制造企业的核心零部件供应商。江丰电子建设零部件专线工厂，引育团队，聚焦核心难题，建立独立的研发、技术支持、制造体系，加快突破速度。随着产能建设突破瓶颈，半导体精密零部件产品线迅速拓展，真空阀、加热器等核心产品实现技术突破，相关产品逐步从试制阶段推进到批量生产，新品销售持续放量。

官网：https://www.kfmic.com/

沈阳富创精密设备股份有限公司

沈阳富创精密设备股份有限公司（股票代码：688409）成立于2008年，是半导体零部件领域的领军企业，产品主要为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件，主要包括：机械及机电零组件、气体传输系统，相关产品成功通过国内外龙头客户验证并实现量产。机械及机电零组件代表性产品包括：腔体（按使用功能分为过渡腔、传输腔和反应腔）、内衬、匀气盘、加热盘、真空阀体、托盘轴、流量计底座以及离子注入机模组、传输腔模组、过渡腔模组、刻蚀阀体模组等。

富创精密布局并新增了匀气盘、特殊涂层、加热盘、静电卡盘及阀门五大专项。加热盘已通过客户验证。2026年将重点发力加热盘、阀门产品的市场落地与产能释放。

官网：https://www.fortune-semi.com

意德士科技股份有限公司

意德士科技股份有限公司于1999年7月创立于台北市. 专业供应各种精密零组件,材料与制程设备于半导体, 平面显示器, 发光二极体, 被动电子元件与模组, 太阳能电池及特殊材料应用产业。2020年10月意德士科技上市，股票代号7556。

谊特科技制造工厂(YCC) 为意德士科技与日本NTK Ceratec于2008年成立的合资工厂, NTK Ceratec为日本特殊陶业株式会社Niterra集团的子公司。谊特主要产品包括半导体等级静电吸盘、半导体等级陶瓷加热器、高密度电浆熔射覆膜。

官网：https://www.yeedex.com.tw/

安徽富乐德科技发展股份有限公司

安徽富乐德科技发展股份有限公司（证券代码：301297）是一家泛半导体（半导体、显示面板等）领域设备精密洗净服务提供商，专注于为半导体及显示面板两大领域的生产厂商提供一站式设备精密洗净服务，为客户生产设备污染控制提供一体化的洗净再生解决方案。

• 2024年7月收购杭州之芯半导体有限公司，为进入高端ALN加热器和ESC新品的翻新及新品制造打下基础。杭州之芯拟建设年产960套氮化铝加热器和ESC新品制造项目项目。

• 2026年6月富乐德科技北京集成电路先进制程配套——产业集群项目启动，布局洗净、精密零部件、特种陶瓷三大主业，预计2027年7月竣工投产。可实现精密零部件月清洗10万件，设备配件月产2500套，大、小型陶瓷部品月产分别1500件、7500件。

官网： https://www.ftvas.com/

青岛凯盟美可科技有限公司

青岛凯盟美可科技有限公司成立于2025年6月10日，由韩国企业高美可（KoMiCo）投资，主要从事新一代信息技术产业中的新型材料研发。

凯盟美可科技拟投资5亿元在胶州建设半导体设备生产项目将新建氮化铝陶瓷加热器及陶瓷静电卡盘生产线，项目投产后可实现高性能氮化铝陶瓷加热器年产1500套，高性能静电吸盘年产300套，多层陶瓷静电吸盘年产300套，聚酰亚胺静电吸盘年产300套。

中山市思考电子科技有限公司

中山市思考电子科技有限公司成立于2016年6月，由深圳总公司扩迁至中山，厂房面积约9000平方米。思考电子是一家专注于半导体科技领域的创新型企业，主要产品：半导体晶圆切割刀、氮化铝陶瓷加热器、ESC静电卡盘。

• 2012年开始自主研发氮化铝加热器、ESC静电吸盘项目；

• 2022年静电卡盘事业部已掌握氮化铝陶瓷高温共烧技术；

• 2023年ESC静电卡盘进入静态装配测试阶段，准备成品。同时衍生出新产品氮化铝陶瓷加热器。

思考电子自主研发氮化铝陶瓷加热器规格尺寸可根据客户需要定做。

官网：http://www.taniss.com/

浙江创格弘芯半导体材料有限公司

浙江创格弘芯半导体材料有限公司成立于2024年，是致力于半导体陶瓷加热器（HEATER），静电吸盘(ESC)，精密陶瓷器件设计与开发的高新技术企业，产品广泛应用于半导体涂胶显影、等离子注入、PECVD等设备。宁夏工厂主要投入研发生产氮化铝HEATER/ESC，SHAFT等陶瓷零部件。上海研发团队致力于为客户提供售前、售后服务，HEATER/ESC维修等一体化解决方案。

• 2026年7月镇海产投顺利完成对浙江创格弘芯半导体材料有限公司的战略投资，成功助力半导体设备零部件核心项目落地镇海。

官网：https://www.trygoalsemi.com/

中材半导体材料（武汉）有限公司

中材半导体材料（武汉）有限公司成立于2026年2月，为中材高新氮化物陶瓷有限公司全资子公司。氮化铝加热器已通过长江存储等头部客户认证并实现小批量供货。

• 2026年6月中材半导体位于武汉未来科技城的半导体陶瓷器件生产线项目开工建设，占地面积约29亩，总投资超3亿元，项目分两期建设，一期计划建设1栋生产厂房，计划2027年上半年正式投用，主要用于半导体用陶瓷加热器的研发和制造，建成后将形成年产1000件陶瓷器件生产能力。二期计划2027年下半年开工，2028年投用。

官网：https://www.sinomaceramic.com/

重庆臻宝科技股份有限公司

重庆臻宝科技股份有限公司（证券代码：688797）成立于2016年2月25日，专注于为集成电路及显示面板行业客户提供制造设备真空腔体内参与工艺反应的零部件及其表面处理解决方案。主要产品为硅、石英、碳化硅和氧化铝陶瓷等设备零部件产品，以及熔射再生、阳极氧化和精密清洗等表面处理服务。自主研发半导体12寸刻蚀设备静电卡盘产品、氮化铝加热器、碳化硅气体分配盘。目前继续在高致密涂层技术、静电卡盘和氮化铝陶瓷加热器等领域进行研发和产能布局。

• 募投投项目上海臻宝半导体装备零部件研发中心项目开展ESC静电卡盘、TCP Windows特殊涂层、金属气体分配盘和加热盘等产品的研发；同步规划中试产线，通过构建“研发-中试-量产”的快速迭代闭环，缩短技术成果转化周期，并为后续规模化量产提供全流程技术验证与工艺参数优化支持。

官网：https://www.genori.com.cn/

北京华卓精科科技股份有限公司

北京华卓精科科技股份有限公司成立于2012年5月9日，是国家高新技术企业，主要产品包括精密运动系统、静电卡盘和隔振器等超精密测控设备部件以及晶圆级键合设备、激光退火设备等超精密测控设备整机，以及主要产品和纳米精度运动及测控系统的技术开发服务。

华卓精科掌握了陶瓷加热器制造中关键核心技术，包括氮化铝材料粉体调配、精密成型、高温烧结、高温 Bonding 等技术，可实现陶瓷热导率可控、温度均匀性达到±0.5%，具备开展规模化研发与生产的技术基础。

• 2026年6月华卓精科科创板IPO获受理，募投项目“半导体关键零部件研发及制造项目”重点开展静电卡盘、氮化铝加热器等产品的研发与量产。

官网：http://www.u-precision.com

江苏先锋精密科技股份有限公司

江苏先锋精密科技股份有限公司（证券代码：688605）是国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的精密制造专家，尤其在刻蚀设备领域，是国内少数已量产供应7nm及以下国产刻蚀设备关键零部件的供应商。核心产品主要为腔体、内衬、加热器和匀气盘等关键工艺部件及各类工艺部件。先锋精密通过高端器件的设计及开发技术实现了金属加热器的自主创新突破，是国内少数已实现量产金属晶圆加热器的供应商。在氮化铝加热器方面，具备从材料制备到成品制造的整套生产线，可实现在500℃及以上高温下温度均匀的加热丝设计及多层氮化铝加热器制造工艺技术。

• 可转债募投项目中的“半导体先进制程核心工艺非金属材料及器件研发、生产新建项目”项目主要为陶瓷加热器的研发生产，目前尚未量产。

官网：https://www.sprint-tech.com/

浙江安世太电子材料有限公司

浙江安世太电子材料有限公司成立于2026年3月，为江苏迪纳科精细材料股份有限公司全资子公司。迪纳科创立于2011年7月，专注于溅射靶材的研发、生产、销售、应用推广以及靶材回收再利用。

• 2026年6月，迪纳科集团安世太高纯纳米氧化物粉体及陶瓷溅射靶材产业化与回收提纯一体化基地项目开工。项目占地约50亩，规划落地六大专业化生产线：高纯纳米氧化物粉体、靶材及含铟材料回收再利用、氧化物陶瓷靶材、金属及合金靶材、精密陶瓷部件、AlN粉体及陶瓷生产线，其中，精密陶瓷产品涵盖半导体设备静电吸盘、陶瓷加热器、真空吸盘等关键零部件，建成投产后年产300吨精密陶瓷部件。
  

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