2026年8月26-28日,东莞市盈鑫半导体材料有限公司将参加艾邦第八届精密陶瓷产业链展览会,展位号:C43,欢迎各位行业朋友莅临交流!

企业简介

东莞市盈鑫半导体材料有限公司成立于2021年6月, 目前拥有东莞市虎门与江苏南通两大生产基地,总面积超过10000㎡ ,并设有无尘工作车间,拥有先进的制造加工和检测设备。

盈鑫是一家专注于半导体CMP耗材研发、生产、销售为一体的高新技术企业,拥有专业的工程技术团队,为客户设计、优化产品研抛工艺。主要产品有无蜡吸附垫、阻尼布、无纺布抛光垫、边抛垫、CMP保持环等,广泛应用于半导体晶体、蓝宝石 、陶瓷、光学、金属等材料的研磨抛光。

官网:http://www.yxbdt.cn/

产品简介

耐腐蚀无蜡垫

  • 外径尺寸范围 30-572mm

  • 孔深范围 0.15-5.0mm

  • 抛光TTV效果 ≤3um

  • 应用于碳化硅、氮化镓等产品抛光

吸附式无蜡垫

  • 外径尺寸范围 30-550mm

  • 孔深范围 0.15-2.0mm

  • 抛光TTV效果 ≤5um

  • 应用于砷化镓、磷化铟、锑化镓、碲锌镉等对背浸要求产品抛光

绒布式无蜡垫

  • 外径尺寸范围 30-550mn

  • 孔深范围 0.15-16mm

  • 抛光TTV效果 ≤3um

  • 应用于玻璃晶圆、蓝宝石、硅片等产品抛光

耐酸碱无蜡垫

  • 外径尺寸范围30-550mm

  • 孔深范围 0.15-2.0mr

  • 抛光TTV效果 ≤5um

  • 应用于强酸、强碱环境下碳化硅、氮化镓等产品抛光

阻尼布抛光垫

  • 该材料具有弹性和多孔性,可传导压力、传送抛光液、排屑效果好。

  • 抛光时可以有效的含浸抛光液,提高切削力的同时避免划伤工件。

  • 可满足被加工工件表面高光洁度、高平滑性的要求。

型号
厚度(mm)
硬度(Asker-c)
密度(g/CM3)
阻尼布抛光垫
0.45-1.8
43-89
0.3-0.45
规格尺寸齐全,可以根据客户的需求背胶、压格、刻槽等加工

无纺布抛光垫

  • 该材料具有高耐磨性,不易掉毛,使用寿命长。

  • 对抛光液具有良好的保持性,同时也具有适度的刚性。

  • 抛光速率高、表面光洁度好。

  • 使用方便,可直接粘贴固定在研磨盘上,装卸方便。

  • 背面有高阻水性胶膜,易剥离、无残胶。

型号
厚度(mm)
硬度(Asker-c)
密度(g/CM3)
无纺布抛光垫
1-4
65-93
0.35-0.55
规格尺寸齐全,可以根据客户的需求背胶及刻槽.刻槽方式:方格槽、塔型槽、放射性槽、同心圆槽等

Notch Pad

  • Notch环是一项比较特殊的产品,在自动倒边机BBS金明的设备上被使用,国内很少有这种Notch Pad供应商,盈鑫所做的Notch水平和日韩相当,价格更有性价比!

Chuck Pad

  • 应用于晶圆卡盘上

  • 起到缓冲与保护wafer的作用

  • 可根据客户要求定制

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保持环

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邮箱:lirongrong@aibang.com
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作者 ab, 808