合肥盈锐高科联合扬州大学历经多年技术攻关，聚焦高端半导体制造装备关键部件在强腐蚀、高磨损、复杂电热应力等极端工况下的长效可靠防护行业难题，以“新材料设计—新工艺开发—新解决方案”全链条创新为核心，成功构建起具有完全自主知识产权的高性能陶瓷涂层技术体系。
经第三方权威检测及实际产业化应用验证，项目核心性能指标表现亮眼：氧化钇（Y₂O₃）和氟氧化钇（YOF）粉末纯度分别达到99.99545%和99.9930%，涂层耐刻蚀性能较传统技术提升4-5倍；Cr₂O₃基复合陶瓷涂层显微硬度达1509.1 HV，耐磨寿命提高2-3倍；中/高熵多元陶瓷介电损耗降至0.006（1 kHz），介电性能稳定性提升3-5倍。
目前，该技术成果已在多家半导体、机电装备制造企业实现规模化应用，近三年新增销售额超19.3亿元，新增利润超1.8亿元，在推动产业技术升级的同时实现显著经济效益，行业示范效应突出。
来源：盈锐高科，https://mp.weixin.qq.com/s/zNWl3jMOoVAV5V3i3_cLvg
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