
2026年是金刚石热沉片产业化元年,2月28日,国内首条8英寸量产线投产,头部企业在产能和技术上陆续实现突破,金刚石热沉片正在经历从实验室到高端半导体产业、高功率器件产业应用的关键转折期,其发展备受瞩目。

化合积电金刚石热沉材料
01
金刚石热沉片散热
热沉片(Heat Sink)是电子器件领域的被动散热元件,主要用作热量吸收器、散热器,通常为金属铜/铝、陶瓷、碳化硅、碳化硅铝、金刚石等材料组成,直接贴近发热表面,通过热交换将热量传递至空气、冷却液或附加散热器中。对于高功率半导体激光器而言,封装材料的热导率和热膨胀系数至关重要,前者决定了能否有效降低激光器的热阻,保证热量及时、有效散出;后者将影响芯片和热沉材料之间的热应力,防止由于温度变化导致芯片开裂,从而进一步影响半导体激光器的输出功率和可靠性等。

金刚石材料具有超高热导率、高电阻率、低介电常数、膨胀系数与芯片材料相匹配、高击穿场强等特点,在电子封装及散热领域具有广泛的应用前景,是高功率半导体激光器封装的绝佳热沉材料。

02
金刚石热沉片制备工艺
1、高温高压法HPHT
高温高压法HPHT制备金刚石热沉片是最早实现金刚石工业化生产的方法,通过模拟金刚石在地下生长的环境,在高温(1300-1600°C)高压(5-6GPa)的环境下,利用六面顶压机设备,在金属催化剂的作用下以石墨为碳源,将石墨转化成金刚石的方法。能够制备大尺寸金刚石单晶,且晶体结构完整,热导率高。但产物中容易残留催化物杂质,需通过高温酸处理去除,工艺复杂,适合小尺寸、低成本产品。

图片来自:Labrilliante
高温高压法金刚石主要采用中国自主研发的六面顶压机生产,已经被中国龙头企业主导,形成了以河南为中心的超级产业集群。2026年HPHT法金刚石技术路线突破将集中在高端提升和细颗粒控制中,通过稀土复合触媒技术,黄河旋风将HPHT产品的分辨率尺寸降至1.2ppm以下,达到IIa型高纯标准。同时,根据中国报告大厅指出,HPHT法金刚石在新能源汽车钻探、光伏硅片切割等领域已经实现国产化替代,2026年出口均价预计上涨23.7%,全球市场分成提升81%至83%。
高温高压法技术相关布局企业:力量钻石 (301071)、中兵红箭 (000519)-中南钻石、黄河旋风(600172)等。
2、化学气相沉积法CVD
金刚石热沉的制备主要依赖化学气相沉积(CVD)技术,通过在高温、低压环境下分解含碳气体(如甲烷、氢气),使碳原子在衬底表面沉积生长。化学气相沉积法主要分为微波等离子体CVD(MPCVD)、热丝CVD(HFCVD)、直流电弧等离子体喷射CVD(DC-Jet CVD)等,目前MPCVD是主流方法。

深圳优普莱UP-915 大功率MPCVD设备
MPCVD通过利用微波激发产生高密度、无电极污染的等离子体,实现高质量金刚石生长。具有等离子体密度高、无放电电极污染、容易控制等特点,制备出的金刚石膜质量高、缺陷少。通过精准控制等离子体环境,可以控制金刚石膜的纯度、缺陷程度以及晶粒尺寸等,能够优化晶界。

宁波晶钻CVD大单晶金刚石热沉材料
CVD法金刚石市场正在从传统的钻石培育、切削工具向高端功能材料转变,尤其在半导体散热、高功率器件散热领域展现出较大的市场空间,正处于转型的关键时期。中国已成为全球最大的CVD金刚石生产国,产能占据全球产能约53%,同时在大尺寸CVD金刚石晶圆制备技术、核心MPCVD设备国产化、低温键合集成工艺等领域已经取得一定的进展。
03
金刚石热沉应用领域
1、半导体与集成电路
金刚石热沉材料在半导体与集成电路中主要用在AI/GPU高端芯片、微波射频器件、激光二极管等结构的散热中,能有效解决热障问题,降低芯片温度20-30℃,热阻减少 50% 以上,直接提升算力稳定性与寿命。目前国内力量钻石、沃尔德等企业已实现向头部客户送样。

金刚石芯片散热结构示意图,来自化合积电
2、宽禁带半导体功率模块
在新能源汽车SiC/GaN功率模块以及工业变频、轨道交通IGBT模块中应用金刚石散热能够允许模块在更高结温下工作,并提升电流承载能力15%-30%,能够突破当前电动汽车快充和续航性能。

金刚石在碳化硅功率模块上应用概念图(1)
3、量子通信/航空航天
金刚石材料能够量子计算机中NV色心(氮-空位中心)的载体材料以及机载/星载电子系统:相控阵雷达、卫星通信载荷等,具有优异的量子相干性和抗辐射性。

Quantum Brilliance金刚石量子计算机加速器
04
金刚石热沉片市场现状
据预测,2026年金刚石散热市场规模将突破12亿美元,复合增长率达214%。高端市场领域仍为国际巨头Element Six、Coherent、日本住友电工、美国Diamond Foundry等企业占据,在高端半导体级CVD金刚石市场掌握核心专利,产品多用在国防、航空航天、高端科研等领域。国内已具备从设备、材料到应用的完整产业链布局,中国已成为全球最大的人造金刚石生产国家,单晶产量占据全球95%以上份额,同时已实现CVD设备国产化和工艺优化。
国内CVD金刚石相关布局企业:黄河旋风(600172)、力量钻石(301071)、四方达(300179)、国机精工(002046)、沃尔德(688028)、宁波晶钻、河北普莱斯曼、惠丰钻石、晶盛机电 (300316)、湖北碳六、合肥先端晶体、恒盛能源(605580)等。
中国凭借庞大的产能和快速迭代的技术,正在金刚石全球市场中展现出全新活力。短期看,半导体散热市场是爆发点;长期看,金刚石热沉材料在宽禁带半导体器件本身的应用,有望开启一个大规模的新赛道。
来自艾邦综合整理,侵删
引用资料1:《Maximizing Power Density in SiC Inverters: Copper-Diamond Composite EmbeddedPower Modules with Advanced Local Cooling Strategy》——华中科技大学

展出2万平米、1,000个摊位、500多家展商、50,000名专业观众;汇聚IGBT/SiC功率半导体产业链;热管理材料产业链,精密陶瓷、电子陶瓷、陶瓷基板、薄膜/厚膜陶瓷电路板、陶瓷封装管壳、LTCC/HTCC/MLCC加工产业链等产业链上下游企业!



点击阅读原文,了解详情!
长按识别二维码关注公众号,点击下方菜单栏左侧“微信群”,申请加入交流群。



